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Study of Multi-Function Micro-Plasma Spraying Technology 被引量:3
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作者 汪刘应 王汉功 +1 位作者 华绍春 曹小平 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第1期52-56,共5页
A multi-functional micro-arc plasma spraying system was developed according to aerodynamics and plasma spray theory. The soft switch IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) invert technique, micro-computer control ... A multi-functional micro-arc plasma spraying system was developed according to aerodynamics and plasma spray theory. The soft switch IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) invert technique, micro-computer control technique, convergent-divergent nozzle structure and axial powder feeding techniques have been adopted in the design of the micro-arc plasma spraying system. It is not only characterized by a small volume, a light weight, highly accurate control, high deposition efficiency and high reliability, but also has multi-functions in plasma spraying, welding and quenching. The experimental results showed that the system can produce a supersonic flame at a low power, spray Al2O3 particles at an average speed up to 430 m/s, and make nanostructured AT13 coatings with an average bonding strength of 42.7 MPa. Compared to conventional 9M plasma spraying with a higher power, the coatings with almost the same properties as those by conventional plasma spray can be deposited by multi-functional micro-arc plasma spraying with a lower power plasma arc due to an improved power supply design, spray gun structure and powder feeding method. Moreover, this system is suitable for working with thin parts and undertaking on site repairs, and as a result, the application of plasma spraying will be greatly extended. 展开更多
关键词 micro-plasma spraying soft-switch invert technology nanostructured coating high-pressure high-current plasmas (plasma spray arc welding etc.)
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Compounded Surface Modification of ZK60 Mg Alloy by High Current Pulsed Electron Beam+Micro-plasma Oxidation 被引量:3
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作者 高波 郝仪 +3 位作者 涂赣峰 石为喜 于福晓 李世伟 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第1期67-70,共4页
In this study, compounded surface modification technology-high current pulsed electron beam (HCPEB) + micro-plasma oxidation (MPO) was applied to treat ZK60 Mg alloys. The characteristics of the microstructure of... In this study, compounded surface modification technology-high current pulsed electron beam (HCPEB) + micro-plasma oxidation (MPO) was applied to treat ZK60 Mg alloys. The characteristics of the microstructure of ZK60 Mg alloy after single MPO and HCPEB+MPO compounded treatment were investigated by SEM. The results showed that the density of the ceramic layer of HCPEB+MPO-treated ZK60 Mg alloy was improved and defects were reduced compared to that under MPO treatment alone. Surface modified layer of ZK60 Mg alloys treated by HCPEB+MPO was divided into three zones, namely the top loose ceramic zone, middle compact zone and inside HCPEB-induced melted zone. Corrosion resistance of ZK60 Mg alloy before and after the compounded surface modification was measured in a solution of 3.5% NaCl by potentiodynamic polarization curves. It was found that the corrosion current density of ZK60 Mg alloys could be reduced by about three orders of magnitude, from 311μA/cm^2 of the original sample to 0.2μA/cm^2 of the HCPEB+MPO-treated sample. This indicates the great application potential of the HCPEB+MPO compounded surface modification technology in improving the corrosion resistance of ZK60 Mg alloys in the future. 展开更多
关键词 ZK60 Mg alloy high current pulsed electron beam micro-plasma oxidation compounded surface modification corrosion resistance
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Effect of Spraying Parameters on the Microstructure and Mechanical Properties of Micro-Plasma Sprayed Alumina-Titania Coatings
3
作者 刘顾 汪刘应 +3 位作者 陈桂明 魏皖宁 华绍春 朱二雷 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第4期474-479,共6页
Electrical property of a micro-plasma spray system with different working-gas feed- ing schemes was tested to optimize the plasma spray process. The arc voltage with an integrated gas injection mode is higher than tha... Electrical property of a micro-plasma spray system with different working-gas feed- ing schemes was tested to optimize the plasma spray process. The arc voltage with an integrated gas injection mode is higher than that with radial injection or axial injection modes. Thus, an integrated gas injection mode with an excellent electrical characteristic was adopted to deposit alumina-titania coating. The microstructure, bonding strength and hardness of the plasma sprayed alumina-titania coating, as a function of the spraying parameters, e.g., plasma current, gas flow rate and gas pressure, were studied. It was shown that the spraying parameters affected remarkably on the microstructure of the coating. Different tendencies in bonding strength and hardness were also shown for different spraying parameters. At an arc current of 250 A, a gas flow rate of 20 L/min and a gas pressure of 0.5 MPa, the bonding strength and micro-hardness of the coatings reach 40.6 MPa and HV1406.1, respectively. 展开更多
关键词 micro-plasma spray voltage-current characteristic spraying parameters micro-structure mechanical properties
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Methane conversion into higher hydrocarbons with dielectric barrier discharge micro-plasma reactor 被引量:4
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作者 Baowei Wang Wenjuan Yan +1 位作者 Wenjie Ge Xiaofei Duan 《Journal of Energy Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第6期876-882,共7页
We reported a coaxial,micro-dielectric barrier discharge(micro-DBD)reactor and a conventional DBD reactor for the direct conversion of methane into higher hydrocarbons at atmospheric pressure.The effects of input powe... We reported a coaxial,micro-dielectric barrier discharge(micro-DBD)reactor and a conventional DBD reactor for the direct conversion of methane into higher hydrocarbons at atmospheric pressure.The effects of input power,residence time,discharge gap and external electrode length were investigated for methane conversion and product selectivity.We found the conversion of methane in a micro-DBD reactor was higher than that in a conventional DBD reactor.And at an input power of 25.0 W,the conversion of methane and the total C2+C3 selectivity reached 25.10% and 80.27%,respectively,with a micro-DBD reactor of 0.4 mm discharge gap.Finally,a nonlinear multiple regression model was used to study the correlations between both methane conversion and product selectivity and various system variables.The calculated data were obtained using SPSS 12.0 software.The regression analysis illustrated the correlations between system variables and both methane conversion and product selectivity. 展开更多
关键词 dielectric barrier discharge hydrocarbons METHANE MICRO-REACTOR PLASMA
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微束水蒸气等离子弧焊在空调铜管钎焊中的应用
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作者 李冉 曾申波 +2 位作者 梅乾龙 周玲 孟浩 《制冷与空调》 2024年第8期38-43,共6页
铜管是制冷设备的重要原材料,生产中通常采用气体火焰钎焊对铜管接头进行焊接。但传统的气体火焰钎焊存在诸多缺点,故引入微束水蒸气等离子弧焊工艺方法,探究其焊接铜管的可行性并确定出合适的焊接工艺参数。通过对5组不同规格的铜管接... 铜管是制冷设备的重要原材料,生产中通常采用气体火焰钎焊对铜管接头进行焊接。但传统的气体火焰钎焊存在诸多缺点,故引入微束水蒸气等离子弧焊工艺方法,探究其焊接铜管的可行性并确定出合适的焊接工艺参数。通过对5组不同规格的铜管接头在6个焊接电流档位下分别进行焊接试验,对试验样本焊后的外观和内部结构进行观察、分析、对比,验证了该方法相比于气体火焰钎焊方法的有效性,并获得了各类铜管接头合适的焊接电流档位。与气焊相比,使用微束水蒸气等离子弧焊工艺在合适的焊接工艺参数下进行焊接,具有较高的效率、稳定性、易用性和安全性,能够为空调铜管的焊接和维修提供一种新的工艺方法。 展开更多
关键词 水蒸气等离子弧焊接 铜管钎焊 焊接试验 焊接工艺参数
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烧蚀Z箍缩脉冲等离子体推进系统实验研究
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作者 王骥勤 刘裴栩 +2 位作者 刘伟 高俊 王伟宗 《空间控制技术与应用》 CSCD 北大核心 2024年第5期92-100,共9页
脉冲等离子体推力器(PPT)是最早用于空间任务的电推力器.烧蚀Z箍缩脉冲等离子体推力器(AZPPT)因其同轴前后式和阳极尖锥的特殊构型可以在较小体积和功率下实现较高的推功比和比冲.研究阳极尖锥长度、充电电压、放电次数对AZPPT性能的影... 脉冲等离子体推力器(PPT)是最早用于空间任务的电推力器.烧蚀Z箍缩脉冲等离子体推力器(AZPPT)因其同轴前后式和阳极尖锥的特殊构型可以在较小体积和功率下实现较高的推功比和比冲.研究阳极尖锥长度、充电电压、放电次数对AZPPT性能的影响,试验表明随着充电电压的升高,推力器放电电流峰值、羽流等离子体电子温度、元冲量等参数升高,证明可通过改变电压实现推力的宽范围调节.阳极尖锥高度增加时,推力器的元冲量有少量下降,比冲有明显上升,相比没有尖锥时,比冲最高提升23.7%,总体效率最高提升7.3%,证明该结构在小功率AZPPT中的性能优化作用.基于以上结果,设计开发了一款1 U小型化、模块化推进系统.推进系统点火成功,5 J放电能量下元冲量达193.72μN·s,具有小功率、综合性能好、结构紧凑等特点. 展开更多
关键词 脉冲等离子体推力器 Z箍缩 电源处理单元 微推力测量
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ICP深硅刻蚀工艺研究
7
作者 赵洋 高渊 宋洁晶 《电子工业专用设备》 2024年第5期42-46,共5页
深硅刻蚀工艺是MEMS器件制造过程中的关键工艺之一。加速度计的梳齿结构、滤波器及压力传感器的硅腔结构都是决定器件性能的关键工艺,均需要通过深硅刻蚀制备。梳齿的垂直度以及硅腔的侧壁平整度均会对器件的性能产生直接影响。针对深... 深硅刻蚀工艺是MEMS器件制造过程中的关键工艺之一。加速度计的梳齿结构、滤波器及压力传感器的硅腔结构都是决定器件性能的关键工艺,均需要通过深硅刻蚀制备。梳齿的垂直度以及硅腔的侧壁平整度均会对器件的性能产生直接影响。针对深硅刻蚀工艺中出现的形貌问题进行分析,找到影响硅草、侧壁垂直度差、底部横向钻蚀、侧壁钻蚀等问题的工艺参数。最后通过工艺参数优化,对这些问题进行改善,从而获得理想形貌,满足器件性能要求。 展开更多
关键词 深硅刻蚀 微机电系统 刻蚀形貌 感应耦合等离子刻蚀
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微细电火花加工中的放电能量分布研究
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作者 姜东升 刘庆玉 +1 位作者 陈志恒 姜芙林 《青岛理工大学学报》 CAS 2024年第4期139-145,共7页
微细电火花加工技术已经广泛应用于精密制造领域,然而由于尺度效应的存在,其加工机理特别复杂,对于放电蚀除过程中的放电能量分布尚未明确。开展了微细电火花单脉冲放电实验,并考虑到熔化潜热和汽化潜热的影响,对传统的电热模型进行了修... 微细电火花加工技术已经广泛应用于精密制造领域,然而由于尺度效应的存在,其加工机理特别复杂,对于放电蚀除过程中的放电能量分布尚未明确。开展了微细电火花单脉冲放电实验,并考虑到熔化潜热和汽化潜热的影响,对传统的电热模型进行了修正,基于微细电火花的放电持续时间,计算了分布到工件中的能量分布比。结果发现,由于放电初期有相当一部分的放电能消耗于放电通道的形成,所以传入工件中的能量分数随着放电持续时间的增加而增大,在放电持续时间0.63~20.5μs时,分布到工件上的放电能量分数为7.1%~16.3%。伴随着放电持续时间的持续增加放电等离子体通道半径将会一定程度增大,放电等离子体通道半径随放电持续时间的变化范围是5.9~23.2μm。 展开更多
关键词 微细电火花加工 能量分布 放电等离子体通道半径 放电持续时间
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等离子随即引燃火炬技术应用与研究
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作者 郭伟 石涵 +2 位作者 韩笑 左敏 李红军 《石油化工安全环保技术》 CAS 2024年第6期42-46,I0003,共6页
南海东部某气田分别于2021年、2022年对某平台、终端原有3套传统长明火炬进行了等离子随即引燃火炬技术改造,收到了良好的效果。原有火炬存在点火系统故障频繁、性能不稳定、吹扫燃料气消耗量高等问题。通过改造,自动化水平大大提高、... 南海东部某气田分别于2021年、2022年对某平台、终端原有3套传统长明火炬进行了等离子随即引燃火炬技术改造,收到了良好的效果。原有火炬存在点火系统故障频繁、性能不稳定、吹扫燃料气消耗量高等问题。通过改造,自动化水平大大提高、点火系统稳定可靠、操作简便;降低了火炬运行安全风险,减少大量的碳排放。 展开更多
关键词 长明火炬 等离子随即引燃 碳排放 微正压
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磷酸盐对钛合金微等离子体氧化陶瓷膜结构和耐蚀性的影响 被引量:14
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作者 姜兆华 姚忠平 +2 位作者 李延平 吕彦冬 孙学通 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2004年第1期75-79,共5页
研究了3种磷酸盐分别作为电解质交流微等离子体氧化TC4钛合金所制得的陶瓷膜的耐蚀性,其中3号磷酸盐的效果最好.并在铝酸钠体系和硅酸钠体系下,进一步研究了3号磷酸盐对微等离子体氧化陶瓷膜的结构、形貌、成分和耐蚀性能的影响:磷在陶... 研究了3种磷酸盐分别作为电解质交流微等离子体氧化TC4钛合金所制得的陶瓷膜的耐蚀性,其中3号磷酸盐的效果最好.并在铝酸钠体系和硅酸钠体系下,进一步研究了3号磷酸盐对微等离子体氧化陶瓷膜的结构、形貌、成分和耐蚀性能的影响:磷在陶瓷膜中不形成晶相,而是以非晶相物质沉积在膜层中;铝酸钠体系,磷元素由膜内层向外层逐渐减少;硅酸钠体系,磷元素在膜内、外两层含量高,中间处含量低;两体系下,3号磷酸盐的用量适当增加,陶瓷膜耐点蚀性提高. 展开更多
关键词 磷酸盐 钛合金 微等离子体氧化 陶瓷膜 耐蚀性 铝酸钠 硅酸钠
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(NaPO_3)_6-NaAlO_2体系铝合金微等离子体氧化研究 被引量:9
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作者 姜兆华 辛世刚 +1 位作者 王福平 吴晓宏 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期40-42,共3页
研究了六聚偏磷酸钠 -偏铝酸钠溶液中 ,L Y12铝合金微等离子体氧化过程、陶瓷膜的形成特点以及偏铝酸钠的浓度对氧化过程的影响。通过
关键词 铝合金 微等离子体氧化 陶瓷模 表面处理
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旁路耦合微束等离子弧增材制造 被引量:7
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作者 黄健康 杨茂鸿 +3 位作者 李挺 于永龙 石玗 樊丁 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期1906-1909,1914,共5页
在分析旁路耦合电弧焊的基础上,提出了旁路耦合微束等离子弧焊(DE-MPAW)方法.该方法以微束等离子弧焊炬为主路,填充焊丝为旁路,通过可调电阻调节旁路电流大小.在不降低成形效率的基础上,减小成形件的热输入,从而有利于电弧增材制造.在... 在分析旁路耦合电弧焊的基础上,提出了旁路耦合微束等离子弧焊(DE-MPAW)方法.该方法以微束等离子弧焊炬为主路,填充焊丝为旁路,通过可调电阻调节旁路电流大小.在不降低成形效率的基础上,减小成形件的热输入,从而有利于电弧增材制造.在此基础上开展了DE-MPAW焊接方法的初步研究.在DE-MPAW焊实验系统及测控的基础上,对比研究了不同旁路电流下DE-MPAW焊熔滴过渡情况;分析了母材热输入随旁路电流的变化规律,研究了焊缝成形的变化情况;初步开展了DE-MPAW增材制造单道多层的堆垛研究.结果表明:随着旁路电流的增大,其熔滴过渡频率、母材热输入、熔深都相应地减小,且DE-MPAW方法能够较好适用于增材制造. 展开更多
关键词 旁路耦合 微束等离子弧焊 增材制造 熔滴过渡 热输入
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微等离子体氧化法制备TiO_2薄膜的性能研究 被引量:6
13
作者 李宣东 刘惠玲 +1 位作者 姜兆华 吴晓宏 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2004年第1期95-98,共4页
选用TA1钛合金,运用微等离子体氧化技术在其表面原位生长TiO2薄膜.在(Na3PO4-Na2B4O7)电解液体系中,采用XRD、SEM对钛合金表面成膜的微观结构进行测试研究,结果表明:当配比为4:1,成膜时间60min,电流密度10A/dm2条件下制得的薄膜,该膜层... 选用TA1钛合金,运用微等离子体氧化技术在其表面原位生长TiO2薄膜.在(Na3PO4-Na2B4O7)电解液体系中,采用XRD、SEM对钛合金表面成膜的微观结构进行测试研究,结果表明:当配比为4:1,成膜时间60min,电流密度10A/dm2条件下制得的薄膜,该膜层中TiO2主要为锐钛矿晶型,膜层均匀,表面粗糙多孔,孔洞大小适中;同时,在电解液中掺杂一定浓度的Fe3+、Si4+离子,当掺杂量分别为0 1~0 2g/L、0 5~1 0g/L条件下制备的薄膜,用于光催化氧化降解水中的罗丹明B,可以提高其光催化活性. 展开更多
关键词 微等离子体氧化法 二氧化钛薄膜 TA1钛合金 微观结构 电流密度 光催化活性
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钛合金微等离子体氧化表面陶瓷膜耐腐蚀性研究 被引量:6
14
作者 吴晓宏 姜兆华 +1 位作者 辛世刚 石蕾 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第7期80-82,共3页
为提高钛合金的耐腐蚀性能 ,在其表面用微等离子体氧化法生长一层陶瓷膜。经扫描电镜 (SEM)测试 ,发现在钛基体上生长了一层厚为 1 5 μm的均匀膜层 ;通过循环伏安和电偶电流法对有无膜层的钛合金进行测试 ,发现有陶瓷膜层的钛合金的耐... 为提高钛合金的耐腐蚀性能 ,在其表面用微等离子体氧化法生长一层陶瓷膜。经扫描电镜 (SEM)测试 ,发现在钛基体上生长了一层厚为 1 5 μm的均匀膜层 ;通过循环伏安和电偶电流法对有无膜层的钛合金进行测试 ,发现有陶瓷膜层的钛合金的耐腐蚀能力明显增强 。 展开更多
关键词 钛合金 微等离子体 陶瓷膜 耐腐蚀性能 表面氧化
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磷酸盐—重铬酸钾体系中钛合金微等离子体表面陶瓷化 被引量:3
15
作者 姜兆华 吴晓宏 +2 位作者 王福平 辛世刚 李益民 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期34-36,共3页
采用微等离子体氧化技术在钛合金表面原位生长一层陶瓷膜。在以磷酸盐体系为电解液的基础之上 ,为进一步提高膜层的抗腐蚀性能 ,尝试向电解液中添加重铬酸钾 ,对所得陶瓷膜与前者进行比较膜层的致密性增加 ;经 XPS分析 ,发现膜层中磷元... 采用微等离子体氧化技术在钛合金表面原位生长一层陶瓷膜。在以磷酸盐体系为电解液的基础之上 ,为进一步提高膜层的抗腐蚀性能 ,尝试向电解液中添加重铬酸钾 ,对所得陶瓷膜与前者进行比较膜层的致密性增加 ;经 XPS分析 ,发现膜层中磷元素增加而且有少量的铬元素出现 ;经循环伏安测试 ,表明陶瓷膜的抗点腐蚀能力明显增强 ,并分析了重铬酸钾对所得陶瓷膜的影响作用。 展开更多
关键词 磷酸盐-重铬酸钾体系 钛合金 表面陶瓷化 陶瓷膜 微等离子体氧化 抗腐蚀能力
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微束等离子焊接电弧光学特征的试验研究 被引量:5
16
作者 马春伟 徐培全 +1 位作者 任江伟 何建萍 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期149-151,共3页
在大量试验的基础上,给出了超小电流微束等离子焊接电弧形态特征及光谱的频域测试结果.根据试验结果可以看出,焊接电弧形态变化取决于焊接参数的变化,谱线的波长范围在750~850 nm;微束等离子焊接电弧光谱分布并不随焊接规范的变化而变化... 在大量试验的基础上,给出了超小电流微束等离子焊接电弧形态特征及光谱的频域测试结果.根据试验结果可以看出,焊接电弧形态变化取决于焊接参数的变化,谱线的波长范围在750~850 nm;微束等离子焊接电弧光谱分布并不随焊接规范的变化而变化.但是,随着焊接电流强度的增加,电弧中出现近紫外线谱线. 展开更多
关键词 微束等离子 焊接电弧 光谱分布
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微脉冲等离子体推力器放电过程和性能初探 被引量:13
17
作者 王尚民 田立成 +4 位作者 张家良 张天平 冯玮玮 陈新伟 高军 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 2017年第5期24-32,共9页
针对平板烧蚀型微脉冲等离子体推力器(μ-PPT),开展了放电过程研究和性能表征。根据放电过程的电学测量和等离子体区域的发光行为分析,研究了μ-PPT的基本放电特点和放电形态演变。从空间分布看,μ-PPT放电空间可分为3个区域(阴极区、... 针对平板烧蚀型微脉冲等离子体推力器(μ-PPT),开展了放电过程研究和性能表征。根据放电过程的电学测量和等离子体区域的发光行为分析,研究了μ-PPT的基本放电特点和放电形态演变。从空间分布看,μ-PPT放电空间可分为3个区域(阴极区、弧柱区和阳极区),随着放电间隙的减少,阳极区逐渐消失。从时间分布看,μ-PPT放电是由多个幅度不同的脉冲放电构成,放电回路和放电间隙的阻抗分布决定放电脉冲的数量,一定条件下可以发生单脉冲放电。根据μ-PPT等离子体区的电流片模型,估算了μ-PPT元冲量和推力等基本性能参数。结果表明,放电间隙和烧蚀量对μ-PPT性能参数有重要的影响,相同脉冲放电能量时,放电间隙越大,元冲量越大,烧蚀量也越大,导致比冲越小。放电时空形态是影响μ-PPT的元冲量和比冲的关键因素,因此,开展放电回路和放电间隙的阻抗优化研究是提高μ-PPT性能的有效途径。 展开更多
关键词 微脉冲等离子体推力器 电学特性 光学特性 性能预估 微电推进
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旁路耦合微束等离子弧焊增材制造的热过程 被引量:6
18
作者 余淑荣 程能弟 +2 位作者 黄健康 李楠 樊丁 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期162-166,共5页
针对旁路耦合微束等离子弧焊电弧增材制造中的热物理过程,利用K型热电偶测量堆垛过程中不同焊接速度、不同旁路电流和不同堆垛顺序下的热循环曲线,分析研究堆垛成型时各参数对热过程的影响。结果表明:随着焊接速度的增大,母材热输入减小... 针对旁路耦合微束等离子弧焊电弧增材制造中的热物理过程,利用K型热电偶测量堆垛过程中不同焊接速度、不同旁路电流和不同堆垛顺序下的热循环曲线,分析研究堆垛成型时各参数对热过程的影响。结果表明:随着焊接速度的增大,母材热输入减小;在合适的旁路电流区间内,增加旁路电流,母材热输入减少;且同向堆垛散热性要优于往复堆垛。精确控制旁路电流、合理规划堆垛路径可较好地控制旁路耦合微束等离子弧焊电弧增材制造的热过程。 展开更多
关键词 电弧增材制造 旁路耦合微束等离子弧焊 热过程
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金刚石刻蚀技术研究 被引量:8
19
作者 冯明海 方亮 +3 位作者 刘高斌 侯爱国 张勇 王万录 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期101-103,108,共4页
金刚石因其卓越的物理和化学性能一直蕴涵着巨大的应用潜力,但其极高的硬度和优异的化学稳定性使其难以被加工成型,因此,在作为新型电子功能材料走向实际应用过程中,金刚石的微细加工技术非常关键。对近年来国内外采用等离子体刻蚀技术... 金刚石因其卓越的物理和化学性能一直蕴涵着巨大的应用潜力,但其极高的硬度和优异的化学稳定性使其难以被加工成型,因此,在作为新型电子功能材料走向实际应用过程中,金刚石的微细加工技术非常关键。对近年来国内外采用等离子体刻蚀技术加工金刚石的基本工艺特点和最新进展进行了较系统的比较和总结,重点分析了功率、气体种类、气体流量、偏压、掺杂类型、离子注入、掩膜等因素对刻蚀过程的影响,以期为工艺参数的进一步优化提供参考。 展开更多
关键词 金刚石 微细加工 刻蚀 等离子体
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微弧等离子喷涂制备空心莫来石隔热涂层研究 被引量:3
20
作者 侯平均 王汉功 +2 位作者 汪刘应 华绍春 吴永发 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1108-1113,共6页
采用微弧等离子喷涂方法制备了空心微珠莫来石隔热涂层。研究了涂层的结合强度、隔热性能和抗热震性能。实验结果表明:拉伸断裂发生在莫来石涂层内,涂层的平均结合强度约为5.63MPa;稳态测量涂层隔热温度,当涂层表面温度为400℃~80... 采用微弧等离子喷涂方法制备了空心微珠莫来石隔热涂层。研究了涂层的结合强度、隔热性能和抗热震性能。实验结果表明:拉伸断裂发生在莫来石涂层内,涂层的平均结合强度约为5.63MPa;稳态测量涂层隔热温度,当涂层表面温度为400℃~800℃时,涂层的隔热温度变化范围为11.5℃~40℃;热震温度为400℃~800℃间隔100℃时,涂层的抗热震次数分别为165、135、117、81和34次;涂层先从试样边沿开始剥落,并呈加速剥落的趋势。涂层失效主要原因是由于热震过程中残余应力积聚造成的。 展开更多
关键词 材料表面与界面 微弧等离子喷涂 莫来石 隔热涂层 结合强度 抗热震性能
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