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Mirau干涉型微纳台阶高度测量系统的研究被引量：8: 1; 作者郭鑫施玉书 +4 位作者皮磊张树李适李东升高思田《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第2期141-144,共4页; 为了实现纳米量级到微米量级的微观三维台阶样板高度的快速测量,在普通光学显微镜的基础上改造完成了一台微纳台阶高度测量装置,设计了整体硬件结构,编写了测量控制软件和数据处理软件,并结合Hilbert变换和小波变换实现三维表面形貌测... 展开更多; 关键词计量学 Mirau干涉微纳台阶高度测量三维表面形貌测量白光显微干涉光学显微镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

微纳米台阶标准的制备和评价被引量：1: 2; 作者冯亚南李锁印 +1 位作者韩志国吴爱华《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第11期1445-1450,共6页; 台阶高度是半导体技术中重要的工艺参数,其准确度直接影响器件的整体性能。为了精确控制和表征台阶高度参数,制备了一套8 nm~50μm的台阶高度标准进行测量技术研究。首先,通过半导体热氧化工艺、反应离子刻蚀工艺制备台阶标准。其次,基... 展开更多; 关键词微纳米台阶高度制备白光干涉仪平行度粗糙度均匀性稳定性; 在线阅读下载PDF 职称材料

回转式微角度步距压电电动机被引量：1: 3; 作者胡长德赵美蓉 +2 位作者刘颖玮杨震环高娟《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第4期93-96,共4页; 介绍了一种基于尺蠖运动原理的回转式微角度步距压电电动机。借助柔性机械结构,将压电陶瓷的微位移以角度方式输送出来。在结构设计方面,采用柔性铰链放大结构,夹紧器和驱动器均采用双驱动器结构,实现推-拉接力运动。配以适当的4路驱动... 展开更多; 关键词测量与计量纳米定位微角度压电电动机柔性机构最小步距; 在线阅读下载PDF 职称材料

集成AFM测头的纳米测量机用于台阶高度的评价被引量：1: 4; 作者郭彤陈津平 +3 位作者傅星 T. Hausotte G. Jager 胡小唐《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第4期297-300,共4页; 利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm×25 mm×5 mm。文中描述了NMM和AFM的工作原理,说明了NMM的高精度定位性能,系统利用NMM实现x、y方向的扫描,AFM测头只是作... 展开更多; 关键词计量学纳米测量机原子力显微镜台阶高度标准; 在线阅读下载PDF 职称材料

白光干涉测量系统的测量不确定度评定被引量：10: 5; 作者蔡潇雨魏佳斯 +3 位作者孙恺欣刘娜张学典庄松林《计量学报》 CSCD 北大核心 2021年第6期731-737,共7页; 白光干涉测量系统(white-light interference system,WLIS)广泛用于微纳米表面形貌的精密测量,其测量不确定度评定是研究白光干涉测量系统计量特性的一项重要工作。基于微纳米线间隔和台阶,建立了WLIS测量表面形貌时的测量模型,明确了... 展开更多; 关键词计量学表面形貌测量微纳米测量白光干涉线间隔台阶高度不确定度; 在线阅读下载PDF 职称材料

纳米级Z轴坐标测量系统设计与实验被引量：1: 6; 作者冯旭刚冯同磊 +3 位作者章家岩徐驰费业泰张鹏《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期417-422,共6页; 基于最小化阿贝误差的理念,设计了带有重力补偿器的整体结构对称的Z轴测量平台,其次,使用扫面静电力显微镜组成配套的探针系统,最后,对设计的核心内容分两组进行分离测试以验证设计的合理性与有效性。测试首先验证了测量系统分别在静态... 展开更多; 关键词微纳米测量重力补偿器扫描静电力显微镜探针系统双高度法; 在线阅读下载PDF 职称材料

三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征被引量：2: 7; 作者王陈孟宪昱 +2 位作者于瀛洁孔明刘维《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第6期651-658,共8页; 三维微纳米台阶光学显微测量信息为多维形貌数据,其数据量庞大复杂、多维相关性低、表征难度大,且通常存在测量坏点影响关键尺寸表征精度。本文提出了一种三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征方法。首先,针对三维微纳米台阶的结... 展开更多; 关键词三维纳米结构台阶高度光学显微测量参数表征三维形貌; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Mirau干涉型微纳台阶高度测量系统的研究被引量：8: 1; 作者郭鑫施玉书皮磊张树李适李东升高思田; 机构中国计量大学计量测试工程学院中国计量科学研究院天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第2期141-144,共4页; 基金国家重点研发计划(2016YFF0200602) 中国计量科学研究院基本科研业务费(AKY1605); 文摘为了实现纳米量级到微米量级的微观三维台阶样板高度的快速测量,在普通光学显微镜的基础上改造完成了一台微纳台阶高度测量装置,设计了整体硬件结构,编写了测量控制软件和数据处理软件,并结合Hilbert变换和小波变换实现三维表面形貌测量。使用不同高度的台阶样品进行测试,测试结果表明:系统测量准确度较高,测量重复性较好,垂直测量范围大于50 μm。; 关键词计量学 Mirau干涉微纳台阶高度测量三维表面形貌测量白光显微干涉光学显微镜; Keywords metrology Mirau interference micro/nano step height measurement 3D surface topography measurement white light microscope interference optical microscope; 分类号 TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微纳米台阶标准的制备和评价被引量：1: 2; 作者冯亚南李锁印韩志国吴爱华; 机构中国电子科技集团公司第十三研究所计量维修部; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第11期1445-1450,共6页; 文摘台阶高度是半导体技术中重要的工艺参数,其准确度直接影响器件的整体性能。为了精确控制和表征台阶高度参数,制备了一套8 nm~50μm的台阶高度标准进行测量技术研究。首先,通过半导体热氧化工艺、反应离子刻蚀工艺制备台阶标准。其次,基于白光干涉仪评估台阶上下表面平行度、表面粗糙度、均匀性和稳定性四项质量参数。结果表明,台阶上下表面平行度为0.4′~2.7°,标准台阶表面粗糙度为0.46 nm~6.50 nm,台阶两侧表面粗糙度为0.44 nm~0.46 nm;均匀性为0.5 nm~5.9 nm,稳定性为0.2 nm~11.2 nm。最后,与美国VLSI相同标称高度的台阶标准相比,标称高度为50μm的台阶标准表面粗糙度较差,均匀性略好,其余质量参数均相当。; 关键词微纳米台阶高度制备白光干涉仪平行度粗糙度均匀性稳定性; Keywords micro-nano step height develop white light interferometer parallelism roughness uniformity stability; 分类号 TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名回转式微角度步距压电电动机被引量：1: 3; 作者胡长德赵美蓉刘颖玮杨震环高娟; 机构装备指挥技术学院士官系天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室军事科学院研究生院; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第4期93-96,共4页; 基金国家自然科学基金项目(50105016); 文摘介绍了一种基于尺蠖运动原理的回转式微角度步距压电电动机。借助柔性机械结构,将压电陶瓷的微位移以角度方式输送出来。在结构设计方面,采用柔性铰链放大结构,夹紧器和驱动器均采用双驱动器结构,实现推-拉接力运动。配以适当的4路驱动信号,实现了压电驱动装置的单步、多步连续匀速转动。最后对样机行了实验测试。实验结果表明:所设计的回转压电电动机结构紧凑、分辨力高且运动稳定。同时,动体没有缠绕,使得驱动器可以在任意位置启动,并可在360°范围内连续匀速转动。最小步距优于3,″在160 V的驱动电压下速度达到430.4″/s.; 关键词测量与计量纳米定位微角度压电电动机柔性机构最小步距; Keywords measurement and metrology nano-positioning micro-angle piezoelectric motor flexible machinery minimum step; 分类号 TM282 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名集成AFM测头的纳米测量机用于台阶高度的评价被引量：1: 4; 作者郭彤陈津平傅星 T. Hausotte G. Jager 胡小唐; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室伊尔梅瑙工业大学过程测量与传感技术研究所; 出处《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第4期297-300,共4页; 基金国家863计划(2006AA04Z327) 教育部博士点基金(新教师基金)(20070056072); 文摘利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm×25 mm×5 mm。文中描述了NMM和AFM的工作原理,说明了NMM的高精度定位性能,系统利用NMM实现x、y方向的扫描,AFM测头只是作为零点传感器,通过将AFM的悬臂梁反馈控制信号引入到NMM的数字信号控制器中,NMM实现在z方向的辅助测量,这种测量模式减小了AFM的PZT扫描器固有特性对测量的影响。根据ISO 5436—1:2000的评价方法对经过标定的台阶高度进行评价,14次测量的标准偏差为0.52 nm。; 关键词计量学纳米测量机原子力显微镜台阶高度标准; Keywords Metrology nano measuring machine Atomic force microscope step height standard; 分类号 TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名白光干涉测量系统的测量不确定度评定被引量：10: 5; 作者蔡潇雨魏佳斯孙恺欣刘娜张学典庄松林; 机构上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海市计量测试技术研究院上海计测信息科技有限公司; 出处《计量学报》 CSCD 北大核心 2021年第6期731-737,共7页; 基金国家重点研发计划(2019YFB2004900) 上海市市场监督管理局科研项目(2019-02) 上海市科学技术委员会科研计划项目(19YF1441700)。; 文摘白光干涉测量系统(white-light interference system,WLIS)广泛用于微纳米表面形貌的精密测量,其测量不确定度评定是研究白光干涉测量系统计量特性的一项重要工作。基于微纳米线间隔和台阶,建立了WLIS测量表面形貌时的测量模型,明确了测量不确定度来源;以5000 nm的线间隔和180 nm的台阶高度为例,利用WLIS进行了测量,并分析WLIS的测量重复性、光学组件特性、传感器特性、运动模块性能、测试方法及环境等因素产生的不确定度分量,最终评定该WLIS测量线间隔和台阶高度的合成测量不确定度分别为21 nm和0.4 nm。对WLIS的不确定度评定确保了其测量结果的准确性、溯源性,并提出了提高系统整体计量特性的途径。; 关键词计量学表面形貌测量微纳米测量白光干涉线间隔台阶高度不确定度; Keywords metrology surface morpography measurement micro-nano measurement white-light interference pitch step height uncertainty; 分类号 TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名纳米级Z轴坐标测量系统设计与实验被引量：1: 6; 作者冯旭刚冯同磊章家岩徐驰费业泰张鹏; 机构安徽工业大学电气与信息工程学院合肥工业大学仪器科学与光电工程学院安徽工业大学机械工程学院; 出处《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期417-422,共6页; 基金国家自然科学基金项目(51405003) 安徽省教育厅自然科学基金重点项目(KJ2015A058); 文摘基于最小化阿贝误差的理念,设计了带有重力补偿器的整体结构对称的Z轴测量平台,其次,使用扫面静电力显微镜组成配套的探针系统,最后,对设计的核心内容分两组进行分离测试以验证设计的合理性与有效性。测试首先验证了测量系统分别在静态和动态下重力补偿器的可行性,然后验证经过双高度法补偿后的扫描静电力显微镜探针系统的有效性,实验结果表明,设计的纳米级Z轴坐标测量系统可实现超高精度空间分辨率,具有50 mm的有效行程范围,同时具有对部分非导体的测量能力,使得微纳米测量机的适用范围得到延伸,具有较高的应用价值。; 关键词微纳米测量重力补偿器扫描静电力显微镜探针系统双高度法; Keywords micro-nano measurement gravity compensator scanning electrostatic force microscopy double height method; 分类号 TH721 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征被引量：2: 7; 作者王陈孟宪昱于瀛洁孔明刘维; 机构上海大学机电工程与自动化学院中国计量大学计量测试工程学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第6期651-658,共8页; 基金上海市青年科技英才扬帆计划资助项目(No.20YF1412800) 新型显示技术及应用集成教育部重点实验室资助课题。; 文摘三维微纳米台阶光学显微测量信息为多维形貌数据,其数据量庞大复杂、多维相关性低、表征难度大,且通常存在测量坏点影响关键尺寸表征精度。本文提出了一种三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征方法。首先,针对三维微纳米台阶的结构特征选取测量系统并设计测量方法,获取其三维形貌点云数据信息;其次,建立三维形貌实测数据维度重构方法,将复杂的多维面形数据降维至有序二维空间;基于K-means聚类算法和数据映射,创建台阶高度参数量化表征模型,实现识别离群值的同时将二维数据点集中的质心距离映射为台阶高度值;最后,通过迭代收敛设计,进一步提高算法表征的准确度和鲁棒性。对两种微纳台阶标准物质进行实验,结果表明,在测量存在离群值等坏点情况下,本方法能够高精度表征出台阶高度参数,与校准值比对,误差小于1.5%。; 关键词三维纳米结构台阶高度光学显微测量参数表征三维形貌; Keywords 3D nano structures step height optical microscopic measurement parameterization areal topography; 分类号 TP391.4 [自动化与计算机技术—计算机应用技术] TH742 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	Mirau干涉型微纳台阶高度测量系统的研究	郭鑫施玉书皮磊张树李适李东升高思田	《计量学报》 CSCD 北大核心	2017	8	在线阅读下载PDF 职称材料
2	微纳米台阶标准的制备和评价	冯亚南李锁印韩志国吴爱华	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2022	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	回转式微角度步距压电电动机	胡长德赵美蓉刘颖玮杨震环高娟	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2011	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	集成AFM测头的纳米测量机用于台阶高度的评价	郭彤陈津平傅星 T. Hausotte G. Jager 胡小唐	《计量学报》 EI CSCD 北大核心	2008	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	白光干涉测量系统的测量不确定度评定	蔡潇雨魏佳斯孙恺欣刘娜张学典庄松林	《计量学报》 CSCD 北大核心	2021	10	在线阅读下载PDF 职称材料
6	纳米级Z轴坐标测量系统设计与实验	冯旭刚冯同磊章家岩徐驰费业泰张鹏	《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	1	在线阅读下载PDF 职称材料
7	三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征	王陈孟宪昱于瀛洁孔明刘维	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2022	2	在线阅读下载PDF 职称材料