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基于MEMS的微型泵技术研究 被引量:11
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作者 崔建国 郑小林 +1 位作者 侯文生 彭承琳 《中国医疗器械杂志》 CAS 2004年第3期190-193,共4页
基于硅微结构的微流体控制系统——微型泵,是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物,医学、化工、电子、航空等领域。综述了国内外微流体控制系统中微泵技术的研究现状,介绍了几种常用微型泵的工作结构原理,并讨论现有技术... 基于硅微结构的微流体控制系统——微型泵,是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物,医学、化工、电子、航空等领域。综述了国内外微流体控制系统中微泵技术的研究现状,介绍了几种常用微型泵的工作结构原理,并讨论现有技术中存在的一些问题,以及提出了尝试解决的办法。 展开更多
关键词 微机电系统 微流体控制系统 微型泵 驱动原理 形状记忆合金
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基于压电陶瓷的光开关结构设计与实验研究 被引量:1
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作者 徐宁 朱永梅 +2 位作者 孙晓云 马正北 钱晨 《光通信研究》 北大核心 2011年第4期32-35,共4页
提出一种新型的基于压电陶瓷以及微流控技术的阵列光开关,重点研究了该光开关波导层的光功率损耗。运用Opti-FIBER软件对波导层波导的耦合损耗进行了分析与仿真,实验测量了不同情况下光开关的耦合损耗。仿真及实验研究表明,该光开关理... 提出一种新型的基于压电陶瓷以及微流控技术的阵列光开关,重点研究了该光开关波导层的光功率损耗。运用Opti-FIBER软件对波导层波导的耦合损耗进行了分析与仿真,实验测量了不同情况下光开关的耦合损耗。仿真及实验研究表明,该光开关理论最低插入损耗值为0.042 524 dB,光开关速度为100μs。该光开关具有结构简单、开关速度快和损耗低等优点。 展开更多
关键词 光开关 数值分析 微流控技术 光耦合损耗
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电磁流体动力驱动流体搅拌混合器特性研究 被引量:3
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作者 刘庆明 BATTON John AUBRY Nadine 《实验流体力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期80-85,共6页
对小型电磁流体动力搅拌混合器的特性进行了理论分析和实验研究。该小型电磁动力混合器由聚碳酸脂和黄铜采用常规机械加工方法加工而成。研究采用的流体为氯化钠水溶液。为了观察流体的搅拌混合运动,在流体中加入微量微细玻璃珠作为示... 对小型电磁流体动力搅拌混合器的特性进行了理论分析和实验研究。该小型电磁动力混合器由聚碳酸脂和黄铜采用常规机械加工方法加工而成。研究采用的流体为氯化钠水溶液。为了观察流体的搅拌混合运动,在流体中加入微量微细玻璃珠作为示踪粒子。采用显微观测及图像采集技术记录流体的搅拌混合过程,用数字图像处理技术对流体速度场进行分析。建立了搅拌混合器的理论模型,并对其动力特性进行了数值分析,理论结果与实验结果相吻合。该小型电磁动力混合器已应用于微管道流动的混合控制并可应用于其它微流体控制系统中。 展开更多
关键词 微流体芯片 微流体控制 显微测量 流体动力特性 流速测量 搅拌器
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微小型高压力流体电磁控制阀 被引量:3
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作者 范瑞丽 李勇 +2 位作者 陈旭鹏 叶雄英 周兆英 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期452-455,460,共5页
用于航空航天领域微流量控制系统中的微小型阀 ,需要具有耐高压、低泄漏、高频响和高控制精度等综合性能。本文提出了一种可控高压力微流体的常闭微小型阀的设计方案用于满足该系统需要 ,其特点在于采用以较小的致动力控制较高的流体压... 用于航空航天领域微流量控制系统中的微小型阀 ,需要具有耐高压、低泄漏、高频响和高控制精度等综合性能。本文提出了一种可控高压力微流体的常闭微小型阀的设计方案用于满足该系统需要 ,其特点在于采用以较小的致动力控制较高的流体压力的结构原理 ,并以弹性材料薄膜作为阀芯的支承结构件同时作为密封件。该阀由其本体结构和外置致动器两部分构成 ,其本体结构的设计在制作工艺上适合进一步的微小型化 ,外置致动器的设计具有较大灵活性。初步研制了采用电磁致动的小型常闭阀样机既可控气体又可控液体的特性。实验测试其工作压力范围为 0~5atm ,阀的驱动响应时间小于 5ms,流量控制分辨率达到 9μL/ pulse 。 展开更多
关键词 电磁控制阀 微小型阀 微流体控制系统 工作性能 流体压力
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基于微流控技术的新型光衰减器器件设计 被引量:2
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作者 郭安金 万静 《南京邮电大学学报(自然科学版)》 北大核心 2013年第5期45-48,共4页
采用液体作为光学器件元素,以微流控技术、电磁驱动技术及MOEMS技术相结合,提出一种新颖的可调光衰减器结构。通过电磁驱动装置控制衰减器中微流体的位置,实现光能量的可调衰减。以电磁驱动方式控制衰减器的调节,它的工作电压小、驱动... 采用液体作为光学器件元素,以微流控技术、电磁驱动技术及MOEMS技术相结合,提出一种新颖的可调光衰减器结构。通过电磁驱动装置控制衰减器中微流体的位置,实现光能量的可调衰减。以电磁驱动方式控制衰减器的调节,它的工作电压小、驱动行程大,且控制电路较为简单。该衰减器具有体积小、衰减范围大的特点,有利于光衰减器的集成化、微型化及制作。 展开更多
关键词 可调光衰减器 微流控技术 电磁驱动 MOEMS
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