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基于MEMS光栅平动式光调制器信号处理分析被引量：2: 1; 作者张洁黄尚廉 +2 位作者张智海孙吉勇史玲娜《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期2314-2318,共5页; 依据傅里叶光学理论,采用在频谱面上放置两种空间滤波器的方法进行信号处理,分析了光栅平动式光调制器在成像面上的强度分布情况,实现了对光能量的调制.分析表明:当滤出±1级谱时,像面上可以得到完全均匀的暗场;但是由于边框和悬臂... 展开更多; 关键词衍射光栅傅里叶光学光栅平动式光调制器信号处理; 在线阅读下载PDF 职称材料

蟹型悬臂梁对光栅平动式光调制器性能的影响被引量：2: 2; 作者张洁黄尚廉 +2 位作者张智海孙吉勇付红桥《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期315-320,共6页; 基于MOEMS(Micro-opto-electro-mechanical Systems)的光栅平动式光调制器依靠结构中的蟹型悬臂梁在静电力作用下的上下运动来改变可动光栅和下反射面的距离,从而实现对光能量的调制。本文依据傅里叶光学对光栅平动式光调制器(Grating M... 展开更多; 关键词衍射光栅傅里叶光学 MEMS 光栅平动式光调制器; 在线阅读下载PDF 职称材料

波长扫描方法测试光栅平动式光调制器的微间距被引量：2: 3; 作者张洁黄尚廉 +1 位作者张智海孙吉勇《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1764-1767,共4页; 基于MEMS的光栅平动式光调制器(GratingMovingLightModulator,简称GMLM)是通过改变结构中可动光栅上表面和下反射面之间的微间距来实现光能量的调制.对GMLM工艺进行了简单的介绍,采用波长扫描方法对GMLM测试样品的可动光栅上表面和下反... 展开更多; 关键词光栅调制器波长扫描峰值波长; 在线阅读下载PDF 职称材料

MOEMS光栅平动式光调制器的吸合电压分析与实验被引量：1: 4; 作者张智海黄尚廉 +2 位作者张洁金珠王宁《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期1368-1372,共5页; 通过研究提出了一种新颖的利用微光机电系统技术(MOEMS)制造的光栅平动式光调制器GMLM,它可以利用衍射原理对光进行动态调制,其设计适宜形成二维光调制器阵列。针对GMLM,分析并给出了其准静态下的吸合电压计算公式。考虑到MEMS器件的尺... 展开更多; 关键词光栅平动式光调制器微光机电系统吸合电压边缘场效应; 在线阅读下载PDF 职称材料

MOEMS阿达玛变换光谱仪的可动光栅光开关阵列: 5; 作者岳秋琴张智海余华《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1489-1493,共5页; 根据微弱光谱信号的快速检测原理,构建了一种适用于阿达玛变换光谱仪的MOEMS(微光机电系统)可动光栅光开关阵列。对一种适用于补偿光栅光调制器件加工误差的阿达玛变换算法进行了分析,设计了以Al膜为主的表面微加工工艺流程,制作出MOEM... 展开更多; 关键词阿达玛变换光谱仪微光机电系统可动光栅光开关阵列误差补偿算法; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于MEMS光栅平动式光调制器信号处理分析被引量：2: 1; 作者张洁黄尚廉张智海孙吉勇史玲娜; 机构重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期2314-2318,共5页; 基金国家自然科学基金(60578023) 重庆市院士基金(8883)资助; 文摘依据傅里叶光学理论,采用在频谱面上放置两种空间滤波器的方法进行信号处理,分析了光栅平动式光调制器在成像面上的强度分布情况,实现了对光能量的调制.分析表明:当滤出±1级谱时,像面上可以得到完全均匀的暗场;但是由于边框和悬臂梁的影响,得不到完全均匀的亮场;当滤出零频谱时,由于边框和悬臂梁的影响,得不到完全均匀的暗场和亮场.设计时,为了要在像面上得到更高的亮度均匀性,需要满足可动光栅栅条宽度为光栅周期的一半,同时应尽量减少悬臂梁和边框的宽度.; 关键词衍射光栅傅里叶光学光栅平动式光调制器信号处理; Keywords Diffraction grating Fourier optics grating moving light modulator Signal processing; 分类号 TN761 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名蟹型悬臂梁对光栅平动式光调制器性能的影响被引量：2: 2; 作者张洁黄尚廉张智海孙吉勇付红桥; 机构重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期315-320,共6页; 基金重庆市院士基金(No.8883) 国家自然科学基金项目(No.60578023); 文摘基于MOEMS(Micro-opto-electro-mechanical Systems)的光栅平动式光调制器依靠结构中的蟹型悬臂梁在静电力作用下的上下运动来改变可动光栅和下反射面的距离,从而实现对光能量的调制。本文依据傅里叶光学对光栅平动式光调制器(Grating Moving Light Modulator,GMLM)工作状态的光学特性进行了详细的理论分析和计算机仿真。分析了可动光栅的光栅周期数为偶数和奇数时,由于几何中心的不同,使得采用傅里叶光学分析时透过率函数不同的问题,并对GMLM衍射光能量的分布进行了详细的理论推导;重点讨论了GMLM结构中边框和蟹型悬臂梁对对比度的影响。结果表明,为了得到较高的对比度,应减小边框宽度、悬臂梁的宽度和长度,文章用图形给出了直观说明。; 关键词衍射光栅傅里叶光学 MEMS 光栅平动式光调制器; Keywords diffraction grating Fourier optics MEMS grating moving light modulator; 分类号 TN761 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名波长扫描方法测试光栅平动式光调制器的微间距被引量：2: 3; 作者张洁黄尚廉张智海孙吉勇; 机构重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1764-1767,共4页; 基金重庆市院士基金资助(8883); 文摘基于MEMS的光栅平动式光调制器(GratingMovingLightModulator,简称GMLM)是通过改变结构中可动光栅上表面和下反射面之间的微间距来实现光能量的调制.对GMLM工艺进行了简单的介绍,采用波长扫描方法对GMLM测试样品的可动光栅上表面和下反射面之间的微间距进行了测试.重点分析了微间距的测试方法,并提出了双峰法和多峰法的数据处理方法.结果表明:采用多峰法使微间距测试精度提高了k倍,波长扫描方法测试结果和理论结果吻合.与VEECO公司测量结果(h=1.24μm)对比,利用波长扫描方法的相对测试误差小于1%;该测试方法精度达到纳米量级.; 关键词光栅调制器波长扫描峰值波长; Keywords diffraction grating wavelength scanning peak wavelength grating moving light modulator; 分类号 TN761 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MOEMS光栅平动式光调制器的吸合电压分析与实验被引量：1: 4; 作者张智海黄尚廉张洁金珠王宁; 机构重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期1368-1372,共5页; 基金国家自然科学基金(60708017) 重庆市院士基金(CSTC2008BC3002)资助项目; 文摘通过研究提出了一种新颖的利用微光机电系统技术(MOEMS)制造的光栅平动式光调制器GMLM,它可以利用衍射原理对光进行动态调制,其设计适宜形成二维光调制器阵列。针对GMLM,分析并给出了其准静态下的吸合电压计算公式。考虑到MEMS器件的尺寸效应,对电容的边缘场效应影响不能忽略。文中对GMLM器件的边缘场效应影响因子进行了公式推导,并针对GMLM修正了传统的平行板执行器吸合电压计算公式。实验结果证明,修正后的理论公式可以较好地预测GMLM的吸合电压值,与实际测量值的误差为4.3%。; 关键词光栅平动式光调制器微光机电系统吸合电压边缘场效应; Keywords grating moving light modulator MOEMS pull-in voltage fringing field effect; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MOEMS阿达玛变换光谱仪的可动光栅光开关阵列: 5; 作者岳秋琴张智海余华; 机构重庆电子工程职业学院重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1489-1493,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(61074177); 文摘根据微弱光谱信号的快速检测原理,构建了一种适用于阿达玛变换光谱仪的MOEMS(微光机电系统)可动光栅光开关阵列。对一种适用于补偿光栅光调制器件加工误差的阿达玛变换算法进行了分析,设计了以Al膜为主的表面微加工工艺流程,制作出MOEMS可动光栅光开关阵列。实验测试结果表明,可动光栅光开关阵列可以在低至8.1V的电压下进行光调制,开关频率达到140Hz,完全可以满足阿达玛变换光谱仪调制速度快、光谱范围宽、机械磨损小和误差小等要求。; 关键词阿达玛变换光谱仪微光机电系统可动光栅光开关阵列误差补偿算法; Keywords Hadamard transform spectrometer micro- opto- electro- mechanical systems （MO-EMS） line array of grating moving light modulators error compensation algorithm; 分类号 TH744 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于MEMS光栅平动式光调制器信号处理分析	张洁黄尚廉张智海孙吉勇史玲娜	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	蟹型悬臂梁对光栅平动式光调制器性能的影响	张洁黄尚廉张智海孙吉勇付红桥	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	波长扫描方法测试光栅平动式光调制器的微间距	张洁黄尚廉张智海孙吉勇	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2006	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	MOEMS光栅平动式光调制器的吸合电压分析与实验	张智海黄尚廉张洁金珠王宁	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	MOEMS阿达玛变换光谱仪的可动光栅光开关阵列	岳秋琴张智海余华	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	0	在线阅读下载PDF 职称材料