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ITO纳米粉体的微反应制备及性能研究
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作者 黎琦 朱归胜 +4 位作者 徐华蕊 赵昀云 许积文 龙神峰 韦婷婷 《功能材料》 北大核心 2025年第2期2120-2125,共6页
高性能的氧化铟锡(ITO)粉体是制备高性能ITO靶材的关键。利用InCl_(3)·4H_(2)O、SnCl_(4)·5H_(2)O和氨水作为原料,在微反应器中成功合成颗粒大小均匀、分散性良好的ITO纳米粉体,该粉体比表面积为36.86 m^(2)/g,颗粒尺寸为22.7... 高性能的氧化铟锡(ITO)粉体是制备高性能ITO靶材的关键。利用InCl_(3)·4H_(2)O、SnCl_(4)·5H_(2)O和氨水作为原料,在微反应器中成功合成颗粒大小均匀、分散性良好的ITO纳米粉体,该粉体比表面积为36.86 m^(2)/g,颗粒尺寸为22.75 nm。研究了不同前驱体浓度、煅烧温度和反应温度对ITO粉体性能及其在1400~1580℃下的陶瓷烧结性能。在1580℃下保温4 h烧结条件下,获得了相对密度为98.46%的ITO陶瓷,其电阻率为3.532×10^(-4)Ω·cm,陶瓷表面和断面均无气孔。研究结果显示,由于微反应通道内的剧烈碰撞和均匀的爆炸形核过程,利用微反应器共沉淀反应制备的ITO粉体颗粒具有较小的粒径、均匀的颗粒大小和更好的分散性。 展开更多
关键词 氧化铟锡粉体 微反应器 共沉淀 氧化铟锡陶瓷
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铟锡氢氧化物的煅烧温度对ITO靶材结构性能的影响
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作者 张倍维 陆映东 +3 位作者 黄作 莫斌 方志杰 黄誓成 《功能材料》 北大核心 2025年第1期1209-1216,共8页
研究发现氧化锡铟(ITO)靶材的致密度受ITO前驱粉体烧结活性影响并取决于其结构和组成。而ITO前驱粉体煅烧温度对于ITO靶材结构及其性质的影响尚未明晰。探究铟锡氢氧化物粉体的煅烧形成ITO粉体过程中,温度对于其粉体的结构以及后续制备... 研究发现氧化锡铟(ITO)靶材的致密度受ITO前驱粉体烧结活性影响并取决于其结构和组成。而ITO前驱粉体煅烧温度对于ITO靶材结构及其性质的影响尚未明晰。探究铟锡氢氧化物粉体的煅烧形成ITO粉体过程中,温度对于其粉体的结构以及后续制备的ITO靶材的烧结致密化的影响。XRD衍射分析表明铟锡氢氧化物的粉末煅烧温度和时间的增加均会导致ITO粉体晶粒尺寸变大;当煅烧温度为750℃时(2 h),ITO粉体有较高的比表面积,高的表面金属含量构成,制备的靶材具有高的相对密度,更低的电阻率,靶材断面结构紧凑,内部气孔相对较少。前驱粉体煅烧温度与ITO靶材的结构-性能关系,揭示了煅烧温度直接影响铟锡氢氧化物粉体的立方晶体的形成,改变了生成的ITO粉体结构(比表面积、表面元素构成、粒度等),影响成型的素胚密度,进而影响ITO靶材的烧结致密性及导电性能。 展开更多
关键词 铟锡氧化物 温度-结构-性能关系 锡(Sn)掺杂氧化铟(In2O3) ito靶材
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ITO沉积温度对ITO/Au透明导电薄膜光电性能的影响
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作者 侯焕然 金扬利 +3 位作者 石晓飞 张运生 王衍行 祖成奎 《表面技术》 北大核心 2025年第4期233-241,261,共10页
目的研究衬底层ITO的沉积温度对ITO/Au透明导电薄膜光电性能的影响规律和机理。方法采用直流磁控溅射技术,在不同沉积温度下制备的ITO薄膜表面沉积超薄Au膜,利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、分光光度计、四探针电阻测试仪对ITO/Au薄... 目的研究衬底层ITO的沉积温度对ITO/Au透明导电薄膜光电性能的影响规律和机理。方法采用直流磁控溅射技术,在不同沉积温度下制备的ITO薄膜表面沉积超薄Au膜,利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、分光光度计、四探针电阻测试仪对ITO/Au薄膜的表面形貌、表面粗糙度、透光率及表面方阻进行表征和测试,分析ITO沉积温度对ITO/Au光电性能的影响机理。为了进一步理解超薄Au膜生长连续性改善的原因,通过几何平均法和算术平均法分别计算了ITO薄膜的表面自由能,分析了ITO薄膜表面自由能的改变对生长形貌的影响规律。结果在超薄Au膜镀制工艺相同的前提下,随着衬底层ITO薄膜沉积温度升高,ITO/Au薄膜的可见光平均透过率提升,表面方阻值降低。这是因为当沉积温度高于200℃时,ITO薄膜发生多晶化转变,多晶态的ITO相较于非结晶态具有更高的表面自由能,更有利于超薄Au膜的铺展,进而提升ITO/Au薄膜的光电性能。当ITO沉积温度提升至300℃时,ITO薄膜的表面自由能几何平均法计算结果为45.2 mJ/m^(2),算术平均法计算结果为48.1 mJ/m^(2),在其表面沉积超薄Au膜后,制备了可见光平均透过率为47.5%、表面方阻为5.65Ω/sq,高光电性能兼容的ITO/Au薄膜。结论提高衬底层ITO薄膜的沉积温度,ITO薄膜发生多晶化转变,表面自由能提升,可有效促进超薄Au膜在其表面铺展,进而提升ITO/Au薄膜的光电性能。 展开更多
关键词 沉积温度 氧化铟锡 超薄金膜 透明导电薄膜 磁控溅射 光电性能 表面自由能
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模压成型压力对氧化铟锡(ITO)靶材性能影响研究
4
作者 姜峰 谭泽旦 +5 位作者 黄誓成 方志杰 陆映东 覃立仁 王永清 曾纪术 《矿冶工程》 CAS 北大核心 2024年第1期134-137,142,共5页
以化学共沉淀-煅烧法制备的纳米ITO粉体为原料,通过模压、冷等静压成型,采用常压烧结法制备了ITO靶材,研究了模压成型压力对ITO靶材相对密度、电阻率和晶粒尺寸的影响。结果表明,模压成型压力60 MPa且烧结条件适宜时,制得的ITO靶材相对... 以化学共沉淀-煅烧法制备的纳米ITO粉体为原料,通过模压、冷等静压成型,采用常压烧结法制备了ITO靶材,研究了模压成型压力对ITO靶材相对密度、电阻率和晶粒尺寸的影响。结果表明,模压成型压力60 MPa且烧结条件适宜时,制得的ITO靶材相对密度为99.81%、电阻率为1.707×10^(-4)Ω·cm、平均晶粒尺寸为7.62μm。研究结果可为ITO靶材的致密化与大型化生产提供借鉴。 展开更多
关键词 模压成型 氧化铟锡 导电薄膜 靶材 常压烧结 电阻率 致密化
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ITO纳米线原位包覆Pt纳米粒子用于电化学检测抗坏血酸和多巴胺
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作者 索军 焦可心 +2 位作者 易健宏 方东 RUZIMURADOV Olim 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第3期747-761,共15页
L-抗坏血酸(AA,又称维生素C)和多巴胺(DA)在人类生命活动中起着重要作用,当它们的浓度异常时就会引起疾病。因此,开发一种有效地检测AA和DA水平的方法具有重要的意义。以阳极氧化铝(AAO)薄膜为模板,采用真空机械注入法制备铟锡(InSn)合... L-抗坏血酸(AA,又称维生素C)和多巴胺(DA)在人类生命活动中起着重要作用,当它们的浓度异常时就会引起疾病。因此,开发一种有效地检测AA和DA水平的方法具有重要的意义。以阳极氧化铝(AAO)薄膜为模板,采用真空机械注入法制备铟锡(InSn)合金纳米线(NWs),然后采用原位放电还原法在InSn纳米线表面涂覆Pt纳米颗粒并将复合材料暴露在空气中进行热处理,以合成PtO_(2)/ITO(氧化铟锡)纳米线。最后,在H_(2)气氛下还原PtO_(2)/ITO纳米线,得到Pt/ITO纳米线。结果表明,在Pt/ITO纳米线复合材料中,ITO纳米线直径约为40 nm,Pt纳米颗粒的粒径为2~5 nm。采用循环伏安法和差分脉冲伏安法测试了在Pt/ITO NWs电极上检测AA和DA的电化学性能。Pt/ITO NWs电极对AA(66.7μmol/L)和DA(1μmol/L)的检出限较低,表明了电极对AA和DA良好的电化学检测能力。 展开更多
关键词 原位放电还原 阳极氧化铝 机械注入 氧化铟锡 PT纳米粒子
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ITO薄膜微结构对其光电性质的影响 被引量:8
6
作者 曾明刚 陈松岩 +3 位作者 陈谋智 王水菊 林爱清 邓彩玲 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期496-499,共4页
采用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积掺锡氧化铟(ITO)薄膜,用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)技术和电导率、透射光谱测试技术,研究真空低温退火后ITO薄膜微结构、薄膜电导率、光谱透射率的变化.研究表明,真空低温退火使得晶体微结构... 采用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积掺锡氧化铟(ITO)薄膜,用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)技术和电导率、透射光谱测试技术,研究真空低温退火后ITO薄膜微结构、薄膜电导率、光谱透射率的变化.研究表明,真空低温退火使得晶体微结构得到改善,晶体呈(222)择优取向,晶体的结晶颗粒变大.不同价态的Sn对In3+的替代引起晶格结构和ITO薄膜的载流子浓度的变化,从而影响到薄膜的导电性和透射率,证明了真空退火下氧化铟薄膜微结构变化是影响薄膜电导率与透射率的主要原因,为研制新型光电器件的透明电极提供了参考. 展开更多
关键词 ito薄膜 微结构 光电性质 磁控溅射 掺锡氧化铟薄膜 电导率 透射率
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制备工艺对纳米级铟锡氧化物(ITO)形貌和电性能的影响 被引量:10
7
作者 刘建玲 赖琼琳 +3 位作者 陈宗璋 何莉萍 杨天足 江名喜 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期559-562,共4页
以SnCl4·5H2O、In和浓盐酸为原料,采用化学共沉淀法制备出了纳米级锡掺杂氧化铟(ITO)导电微粉,系统地研究了掺杂量,共沉淀温度,pH值,热处理时间、温度对粉体粒度、形貌和电性能的影响规律。研究表明,合成的ITO粉体分散性较好、导... 以SnCl4·5H2O、In和浓盐酸为原料,采用化学共沉淀法制备出了纳米级锡掺杂氧化铟(ITO)导电微粉,系统地研究了掺杂量,共沉淀温度,pH值,热处理时间、温度对粉体粒度、形貌和电性能的影响规律。研究表明,合成的ITO粉体分散性较好、导电性能优异,粒径在40nm左右具有立方铁锰矿结构。在ITO纳米导电粉的制备过程中,共沉淀温度和滴定终点pH值对其形貌和性能有很大影响,当共沉淀温度在60℃左右,pH=6时制得的粉体性能最佳。煅烧条件对粉体的形貌、粒度和导电性也有较大的影响,在700℃,4h条件下可以制得导电性能良好,结晶完好,粒度分布均匀的ITO粉体。掺入Sn(Ⅳ)的量对载流子的迁移率有很大的影响,在掺杂浓度为10%左右可制得导电性极佳的纳米ITO粉体。 展开更多
关键词 纳米级ito粉体 共沉淀 煅烧 结晶 电性能
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柔性衬底ITO薄膜的制备及其光电性能研究 被引量:12
8
作者 郝雷 刁训刚 +3 位作者 胡小草 张鲁豫 郝维昌 王天民 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期256-260,共5页
在室温下,采用直流反应磁控溅射法,在聚酯薄膜(PET)衬底上镀制了高性能的ITO薄膜。为了提高薄膜与基底的结合力,溅射前采用多弧离子源对PET表面进行了等离子体清洗。研究了溅射工艺参数对ITO薄膜的光电性能和红外发射率的影响规律,探讨... 在室温下,采用直流反应磁控溅射法,在聚酯薄膜(PET)衬底上镀制了高性能的ITO薄膜。为了提高薄膜与基底的结合力,溅射前采用多弧离子源对PET表面进行了等离子体清洗。研究了溅射工艺参数对ITO薄膜的光电性能和红外发射率的影响规律,探讨了ITO膜的透光和导电机理,并分析了方块电阻与红外发射率的相互关系。实验结果表明,通过等离子体清洗,ITO薄膜的结合力和光电性能都得到了改善。ITO薄膜的红外发射率和方块电阻受制备条件的影响规律具有相似之处,红外发射率随薄膜方块电阻的增大而呈增加的趋势。 展开更多
关键词 ito 直流磁控溅射 光电性能 红外发射率
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ITO透明导电薄膜的制备及光电特性研究 被引量:15
9
作者 陶海华 姚宁 +2 位作者 辛荣生 边超 张兵临 《郑州大学学报(理学版)》 CAS 2003年第4期37-40,共4页
论述了高温直流磁控反应溅射法制备ITO透明导电薄膜时氧分压、溅射气压和溅射电流等参数对其光电特性的影响 .当氧分压、溅射气压和溅射电流过高或过低时 ,会导致金属In ,InO ,SnO和Sn3 O4等物质以及晶体缺陷的生成 ,从而降低ITO薄膜的... 论述了高温直流磁控反应溅射法制备ITO透明导电薄膜时氧分压、溅射气压和溅射电流等参数对其光电特性的影响 .当氧分压、溅射气压和溅射电流过高或过低时 ,会导致金属In ,InO ,SnO和Sn3 O4等物质以及晶体缺陷的生成 ,从而降低ITO薄膜的导电性或可见光透过率 ,甚至同时降低其光电性能 .实验结果表明 ,当Ar流量为 4 0 2cm3 ·min-1、温度为 36 0℃和旋转溅射时间为 90min等参数保持不变时 ,ITO薄膜光电特性最佳溅射参数的氧流量为 0 4 2cm3 ·min-1,溅射气压为 0 5Pa ,溅射电流 0 3A(溅射电压约为 2 4 5V ) ,所得薄膜的方块电阻为 5 7Ω、波长为 5 5 0nm的绿光透过率达到 88 6 % (洁净玻璃基底的绿光透光率为 91 6 % ) . 展开更多
关键词 ito透明导电薄膜 制备 光电特性 直流磁控反应溅射法 透过率 氧化铟锡
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磁控溅射低阻ITO薄膜的气体参数优化 被引量:9
10
作者 王军 成建波 +2 位作者 饶海波 蒋亚东 杨刚 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第1期115-117,共3页
用直流磁控溅射系统在不同气压和氩氧流量比(V(Ar):V(O2),体积比)下制备铟锡氧化物(ITO)薄膜。测试了薄膜的方阻和透过率,得到不同沉积气压和V(Ar):V(O2)对薄膜电光特性的影响大小和趋势。X-射线衍射(XRD)测试表明ITO薄膜的晶粒尺寸随... 用直流磁控溅射系统在不同气压和氩氧流量比(V(Ar):V(O2),体积比)下制备铟锡氧化物(ITO)薄膜。测试了薄膜的方阻和透过率,得到不同沉积气压和V(Ar):V(O2)对薄膜电光特性的影响大小和趋势。X-射线衍射(XRD)测试表明ITO薄膜的晶粒尺寸随膜内氧的摩尔分数增加而增大,随氧气比例增加薄膜(400)晶向消失。优化参数为气压266.664 mPa,V(Ar):V(O2)=15:0,制备的ITO薄膜方阻为22Ω/□,在可见光区域平均透过率为85%。 展开更多
关键词 薄膜 氧化铟锡(ito) 直流磁控溅射 沉积气压 流量比
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溅射功率和氧分压对ITO薄膜光电性能的影响研究 被引量:8
11
作者 王生浩 张静全 +9 位作者 王波 冯良桓 蔡亚平 雷智 黎兵 武莉莉 李卫 曾广根 郑家贵 蔡伟 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期717-719,723,共4页
采用直流反应磁控溅射法制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,通过四探针、紫外可见分光光度计、X射线衍射(XRD)、霍尔效应仪、扫描电镜(SEM)等对薄膜样品进行了表征,研究了溅射功率和氧分压对ITO薄膜微观结构和光电性能的影响,结果表明:... 采用直流反应磁控溅射法制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,通过四探针、紫外可见分光光度计、X射线衍射(XRD)、霍尔效应仪、扫描电镜(SEM)等对薄膜样品进行了表征,研究了溅射功率和氧分压对ITO薄膜微观结构和光电性能的影响,结果表明:溅射功率对ITO的光电性能影响较小,沉积速率随着溅射功率的增大而加快;随着氧分压的升高,载流子浓度降低,霍尔迁移率先增大后减小,电阻率逐渐增大。在优化的工艺条件下,制备了在可见光区平均透过率达85%、电阻率为1×10-4Ω.cm的光电性能优良的ITO薄膜。 展开更多
关键词 氧化铟锡 直流磁控溅射 电阻率 透光率
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室温射频磁控溅射沉积ITO薄膜的研究 被引量:8
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作者 纪安妮 孙书农 +1 位作者 柳兆洪 刘瑞堂 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期221-224,共4页
报道透明导电膜不加衬底温度、无需沉积后的退火工艺、用射频磁控溅射沉积氧化铟、锡(ITO)薄膜获得电阻率3×10-4Ω·cm,在可见光区平均透光率84%的优良性能.
关键词 磁控溅射 ito薄膜 晶体结构 结晶形貌 扫描电镜
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硫化沉淀法分离ITO废靶浸出液中铟锡的研究 被引量:12
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作者 刘志宏 李玉虎 +2 位作者 李启厚 艾侃 张多默 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期53-56,共4页
铟锡复合氧化物(ITO,Indium and Tin Oxide)膜是铟的主要应用领域。在其制备工艺中,产出大量的ITO废靶需回收处理。研究了硫化沉淀法分离ITO废靶硫酸浸出液中铟、锡的工艺。平衡计算证明了硫化沉淀分离铟、锡的可行性。试验研究了温度... 铟锡复合氧化物(ITO,Indium and Tin Oxide)膜是铟的主要应用领域。在其制备工艺中,产出大量的ITO废靶需回收处理。研究了硫化沉淀法分离ITO废靶硫酸浸出液中铟、锡的工艺。平衡计算证明了硫化沉淀分离铟、锡的可行性。试验研究了温度、酸度及反应时间对分离过程的影响,正交试验得出最佳工艺条件:温度323 K,反应时间20 min,溶液起始酸度100 g H2SO4/L。在此条件下,除锡率可达100%,铟在渣中的损失率仅为0.47%。 展开更多
关键词 ito废靶 回收 铟锡分离 硫化沉淀法
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铟锡氧化物(ITO)纳米颗粒的制备及表征 被引量:10
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作者 赵燕熹 何宝林 +1 位作者 强世伟 彭程 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1033-1037,共5页
以金属 In 和 SnCl4·5H2O 为主要原料, 加入保护剂 PVP, 利用化学共沉淀法合成了球形的铟锡氧化物(ITO)纳米颗粒。分别对 PVP 的用量、溶液的 pH 值、热处理温度等因素对 ITO 纳米颗粒粒径的影响进行了分析。并且借助透射电镜(TEM)... 以金属 In 和 SnCl4·5H2O 为主要原料, 加入保护剂 PVP, 利用化学共沉淀法合成了球形的铟锡氧化物(ITO)纳米颗粒。分别对 PVP 的用量、溶液的 pH 值、热处理温度等因素对 ITO 纳米颗粒粒径的影响进行了分析。并且借助透射电镜(TEM)、X 射线衍射(XRD)对所合成的 ITO 纳米颗粒进行了表征。XRD 分析说明本文合成了金刚砂型结构的铟锡氧化物纳米颗粒, 并且其晶型结构随着热处理温度的升高而转变为铁锰矿型。 展开更多
关键词 铟锡氧化物 纳米颗粒 XRD
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膜厚对ITO薄膜的电学与光学性质的影响 被引量:6
15
作者 罗远晟 陈松林 +4 位作者 马平 蒲云体 朱基亮 朱建国 肖定全 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1024-1026,共3页
用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备不同薄膜厚度氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。利用X线衍射(XRD)、透射光谱、四探针法和扫描电子显微镜(SEM)分析薄膜厚度(沉积时间)对ITO薄膜的结晶取向情况、透过率、电导率和表面形貌的影响。试验结果表... 用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备不同薄膜厚度氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。利用X线衍射(XRD)、透射光谱、四探针法和扫描电子显微镜(SEM)分析薄膜厚度(沉积时间)对ITO薄膜的结晶取向情况、透过率、电导率和表面形貌的影响。试验结果表明,在适当的沉积时间(5 min)下制备的ITO薄膜具有良好的光学性能和电学性能,其方阻为17Ω/□,在可见光区域内的平均透过率为84%。 展开更多
关键词 薄膜 氧化铟锡(ito) 磁控溅射 薄膜厚度
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磁控溅射ITO薄膜的退火处理 被引量:4
16
作者 王军 成建波 +4 位作者 陈文彬 杨刚 蒋亚东 蒋泉 杨健君 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期264-266,共3页
采用直流磁控溅射方法在室温下玻璃基板上制备ITO(Indium tin oxide)薄膜,并在真空中不同温度(100℃-400℃)下退火处理。研究了退火对薄膜表面形貌、电光特性的影响。XRD测试发现薄膜在200℃退火后结晶,优选晶向为(222)。随退... 采用直流磁控溅射方法在室温下玻璃基板上制备ITO(Indium tin oxide)薄膜,并在真空中不同温度(100℃-400℃)下退火处理。研究了退火对薄膜表面形貌、电光特性的影响。XRD测试发现薄膜在200℃退火后结晶,优选晶向为(222)。随退火温度升高,方块电阻迅速下降,表面更加平整,薄膜在可见光范围平均透过率提高到85%。 展开更多
关键词 薄膜 氧化铟锡(ito) 退火 直流磁控溅射 方阻
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ITO导电玻璃表面直接电沉积Au的机理 被引量:9
17
作者 汤儆 田晓春 +2 位作者 周富庆 刘跃强 林建航 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2011年第3期641-646,共6页
用循环伏安和电位阶跃法研究Au在氧化铟锡(ITO)透明导电膜玻璃表面的电沉积过程的初期阶段.发现在ITO表面Au的电沉积经历成核过程以及受[AuCl4]-扩散控制的晶核生长过程.通过改变扫描速率分析循环伏安曲线的变化,当扫描速率较快时,发现A... 用循环伏安和电位阶跃法研究Au在氧化铟锡(ITO)透明导电膜玻璃表面的电沉积过程的初期阶段.发现在ITO表面Au的电沉积经历成核过程以及受[AuCl4]-扩散控制的晶核生长过程.通过改变扫描速率分析循环伏安曲线的变化,当扫描速率较快时,发现Au在ITO表面的沉积过程经历[AuCl4]-→[AuCl2]-→Au两步进行;当扫描速率较慢时,受歧化反应作用影响而只表现为一步沉积[AuCl4]-→Au.通过电位阶跃实验,验证了Au的两步沉积过程,并求得[AuCl4]-的扩散系数为1.3×10-5cm2·s-1.将成核曲线与理论曲线对照,得出Au在ITO表面的沉积符合瞬时成核理论.通过场发射扫描电镜(FE-SEM)对Au核形貌进行分析,根据扫描电镜图可以得到阶跃时间和阶跃电位对电沉积Au的形貌的影响. 展开更多
关键词 氧化铟锡导电玻璃 金纳米粒子 电沉积 成核机理
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ITO用作铁电薄膜电极的研究 被引量:6
18
作者 李金华 陈汉松 +2 位作者 李坤 汤国英 陈王丽华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期64-66,共3页
研究了sol -gel掺锡氧化铟 (ITO)溶胶在SiO2 /Si衬底和光学玻璃衬底上的成膜及结晶性能 ,并与CVD法生长的ITO薄膜作了对比。结论是 ,sol -gelITO膜 ,虽然具有与CVDITO膜相似的结晶性能和较高的导电性 ,但以sol -gelITO膜作下电极 ,无法... 研究了sol -gel掺锡氧化铟 (ITO)溶胶在SiO2 /Si衬底和光学玻璃衬底上的成膜及结晶性能 ,并与CVD法生长的ITO薄膜作了对比。结论是 ,sol -gelITO膜 ,虽然具有与CVDITO膜相似的结晶性能和较高的导电性 ,但以sol -gelITO膜作下电极 ,无法使PLT、PZT的sol -gel膜具有明显的结晶取向。因漏电太大 ,sol -gelITO也无法作sol -gel铁电膜 (如PLT ,PZT)的上电极。但在CVDITO膜上 ,sol -gel铁电膜能很好结晶 ,且Au/PLT/ITO电容 ,具有良好的电学性能。 展开更多
关键词 ito薄膜 铁电电容电极 SOL-GEL法 FERAM 随机存
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机械活化强化ITO废料中铟浸出的动力学研究 被引量:10
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作者 黎铉海 李秀敏 潘柳萍 《金属矿山》 CAS 北大核心 2006年第3期46-48,共3页
研究了ITO经机械活化后与盐酸反应的动力学规律。研究结果表明,ITO在搅拌磨中经机械活化后,化学活性提高,与HCl的反应速度加快,活化30min后与HCl反应的活化能由未活化时的90.6kJ/mol降至53.0kJ/mol,反应级数由原来的2.30降至1.31。
关键词 铟锡氧化物 机械活化 浸出 动力学
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HIT太阳电池中ITO薄膜的结构和光电性能 被引量:10
20
作者 任丙彦 刘晓平 +2 位作者 许颖 王敏花 廖显伯 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期504-507,共4页
采用射频磁控溅射技术在不同射频功率下沉积了ITO薄膜,并将其应用于HIT太阳电池.分析了薄膜的结构、光电特性.结果表明,在120W时制备的薄膜很好地兼顾了电阻率和光透过率,其电阻率为3.48×10^-4Ω·cm、在350~800 nm波段的平... 采用射频磁控溅射技术在不同射频功率下沉积了ITO薄膜,并将其应用于HIT太阳电池.分析了薄膜的结构、光电特性.结果表明,在120W时制备的薄膜很好地兼顾了电阻率和光透过率,其电阻率为3.48×10^-4Ω·cm、在350~800 nm波段的平均光透过率为87.1%,将其应用于HIT太阳电池上,电池的转换效率可达13.38%. 展开更多
关键词 氧化铟锡薄膜 射频磁控溅射 陶瓷靶 HIT太阳电池
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