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碳化硅衬底超精密加工技术
被引量:
5
1
作者
袁铁军
张红蕾
张广冬
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2012年第7期26-29,39,共5页
通过对比不同的加工方法获得最佳工艺:切片采用多线切割或者多线切割与超声切割相结合;磨削采用双面研磨获得较低翘曲度的表面或ELID磨削实现高速、高效、高质量磨削;抛光工艺使用化学机械抛光方法,通过粗抛提高加工效率,精抛提高表面质...
通过对比不同的加工方法获得最佳工艺:切片采用多线切割或者多线切割与超声切割相结合;磨削采用双面研磨获得较低翘曲度的表面或ELID磨削实现高速、高效、高质量磨削;抛光工艺使用化学机械抛光方法,通过粗抛提高加工效率,精抛提高表面质量,从而获得超光滑表面。分析了碳化硅衬底加工存在的问题并指出超精密加工的发展趋势。
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关键词
多线切割
双面研磨
ELID磨削
化学机械抛光
超光滑表面
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职称材料
高精度立式磨床关键结合面动态特性研究
被引量:
2
2
作者
米洁
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2014年第2期224-228,共5页
机床的结合面是整机动态特性的薄弱环节。应用实验测试和计算机仿真,对机床结合面的动态特性进行研究,以提升整机的动态性能。针对磨床中螺栓连接的关键结合面,建立考虑法向和切向刚度的三维接触刚度模型。将实验测试结果与有限元分析...
机床的结合面是整机动态特性的薄弱环节。应用实验测试和计算机仿真,对机床结合面的动态特性进行研究,以提升整机的动态性能。针对磨床中螺栓连接的关键结合面,建立考虑法向和切向刚度的三维接触刚度模型。将实验测试结果与有限元分析相对比,验证所建结合面模型的正确性。应用该模型,采用增加螺栓个数及提高螺栓预紧力等方法,改进结合面设计,分析改进后的整机动态特性。该方法实现了机床整机结合部的非线性特性的合理处理,以支持机床设计中整机性能的预测。
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关键词
磨床
动态
分析
有限元方法
实验
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职称材料
汽车铰链磨削冷却液的研究
3
作者
刘胜峰
刘俊生
叶正东
《合肥工业大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
2002年第4期518-520,共3页
通过对汽车铰链机械加工过程中磨削冷却液研究 ,合成了 JS-3型多效合成切削液 ,这种磨削冷却液完全不含油 ,澄清透明 ,采用三乙醇胺作为防锈添加剂 ,冷却及防锈性能大大提高。该切削液在桑塔纳汽车铰链磨削加工过程中使用 ,完全能够满...
通过对汽车铰链机械加工过程中磨削冷却液研究 ,合成了 JS-3型多效合成切削液 ,这种磨削冷却液完全不含油 ,澄清透明 ,采用三乙醇胺作为防锈添加剂 ,冷却及防锈性能大大提高。该切削液在桑塔纳汽车铰链磨削加工过程中使用 ,完全能够满足汽车铰链磨削加工的特殊要求 ,其性能指标符合国家标准 ,并且较好地解决了切削冷却液易变质。
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关键词
汽车
铰链
磨削
冷却液
防锈
机械加工
车门
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职称材料
高速及超高速磨削加工参数V_s的绿色度评价
4
作者
廖兰
刘先斌
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2003年第3期7-10,共4页
高速及超高速磨削加工工艺方法是一种具有明显绿色特征的制造工艺方法 ,通过对磨削加工中的一个重要参数———砂轮速度Vs在各个区域内的绿色度值的评价 。
关键词
超高速磨削
砂轮速度
绿色度
高速磨削
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职称材料
基于柔性导向机构的重力分量传感器开发
5
作者
姜传星
江福
杨志军
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2023年第5期15-18,共4页
现有机器人打磨重力补偿需要根据姿态来计算重力分量,主要方式是通过机器人的姿态计算或者姿态传感器,存在计算复杂或者成本高的弊端。文中提出一种基于柔性铰链导向机构的重力分量传感器,通过测量柔性铰链导向方向的变形,计算在不同位...
现有机器人打磨重力补偿需要根据姿态来计算重力分量,主要方式是通过机器人的姿态计算或者姿态传感器,存在计算复杂或者成本高的弊端。文中提出一种基于柔性铰链导向机构的重力分量传感器,通过测量柔性铰链导向方向的变形,计算在不同位姿下的柔性铰链弹性力,与水平位置的读数相比,直接计算出重力分量。与重力角度传感器相比,不需要标定,还能计算出由于加速度引起的惯性力部分,重力补偿更加准确。
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关键词
机器人打磨
传感器
柔性铰链
重力分量
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职称材料
题名
碳化硅衬底超精密加工技术
被引量:
5
1
作者
袁铁军
张红蕾
张广冬
机构
盐城工学院机械学院
出处
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2012年第7期26-29,39,共5页
基金
江苏省光子制造科学与技术重点实验室开放基金项目(GZ201103)
文摘
通过对比不同的加工方法获得最佳工艺:切片采用多线切割或者多线切割与超声切割相结合;磨削采用双面研磨获得较低翘曲度的表面或ELID磨削实现高速、高效、高质量磨削;抛光工艺使用化学机械抛光方法,通过粗抛提高加工效率,精抛提高表面质量,从而获得超光滑表面。分析了碳化硅衬底加工存在的问题并指出超精密加工的发展趋势。
关键词
多线切割
双面研磨
ELID磨削
化学机械抛光
超光滑表面
Keywords
multi-wire sawing
double-side lapping
Electrolytic In-Process Dressing (ELID)
grinding
Chemical Mechanical Polis-
hing
(CMP)
super smooth surface
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
高精度立式磨床关键结合面动态特性研究
被引量:
2
2
作者
米洁
机构
北京信息科技大学
出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2014年第2期224-228,共5页
基金
国家科技重大专项项目(2011ZX04002-062)资助
文摘
机床的结合面是整机动态特性的薄弱环节。应用实验测试和计算机仿真,对机床结合面的动态特性进行研究,以提升整机的动态性能。针对磨床中螺栓连接的关键结合面,建立考虑法向和切向刚度的三维接触刚度模型。将实验测试结果与有限元分析相对比,验证所建结合面模型的正确性。应用该模型,采用增加螺栓个数及提高螺栓预紧力等方法,改进结合面设计,分析改进后的整机动态特性。该方法实现了机床整机结合部的非线性特性的合理处理,以支持机床设计中整机性能的预测。
关键词
磨床
动态
分析
有限元方法
实验
Keywords
calculations
computer simulation
dynamics
experiments
finite element method
grinding (mac- hing)
grinding
machines
natural frequencies
stiffness
three dimensional
analysis
分类号
TH113 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
汽车铰链磨削冷却液的研究
3
作者
刘胜峰
刘俊生
叶正东
机构
合肥工业大学化学工程学院
安徽江南机械股份有限公司
出处
《合肥工业大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
2002年第4期518-520,共3页
文摘
通过对汽车铰链机械加工过程中磨削冷却液研究 ,合成了 JS-3型多效合成切削液 ,这种磨削冷却液完全不含油 ,澄清透明 ,采用三乙醇胺作为防锈添加剂 ,冷却及防锈性能大大提高。该切削液在桑塔纳汽车铰链磨削加工过程中使用 ,完全能够满足汽车铰链磨削加工的特殊要求 ,其性能指标符合国家标准 ,并且较好地解决了切削冷却液易变质。
关键词
汽车
铰链
磨削
冷却液
防锈
机械加工
车门
Keywords
car
hing
e
grinding
coolant
anticorrosion
分类号
U463.834 [机械工程—车辆工程]
TG580.15 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
在线阅读
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职称材料
题名
高速及超高速磨削加工参数V_s的绿色度评价
4
作者
廖兰
刘先斌
机构
重庆市沙坪坝先锋街重庆工商大学机械系
出处
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2003年第3期7-10,共4页
基金
国家 8 63/CIMS主题资助项目 (863- 51 1- 942- 0 0 2 )
重庆工商大学资助项目
文摘
高速及超高速磨削加工工艺方法是一种具有明显绿色特征的制造工艺方法 ,通过对磨削加工中的一个重要参数———砂轮速度Vs在各个区域内的绿色度值的评价 。
关键词
超高速磨削
砂轮速度
绿色度
高速磨削
Keywords
hing
speed and super high speed
grinding
grinding
wheel speed Green degree
分类号
TG580.614 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
X38 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
基于柔性导向机构的重力分量传感器开发
5
作者
姜传星
江福
杨志军
机构
广东工业大学
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2023年第5期15-18,共4页
基金
国家自然科学基金项目(U20A6004,51905107,51875108)
国家重点研发计划(2022YFB4701001)
广东省自然科学基金项目(2019A1515012004)。
文摘
现有机器人打磨重力补偿需要根据姿态来计算重力分量,主要方式是通过机器人的姿态计算或者姿态传感器,存在计算复杂或者成本高的弊端。文中提出一种基于柔性铰链导向机构的重力分量传感器,通过测量柔性铰链导向方向的变形,计算在不同位姿下的柔性铰链弹性力,与水平位置的读数相比,直接计算出重力分量。与重力角度传感器相比,不需要标定,还能计算出由于加速度引起的惯性力部分,重力补偿更加准确。
关键词
机器人打磨
传感器
柔性铰链
重力分量
Keywords
robot
grinding
sensor
flexible
hing
e
gravity component
分类号
TP274 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
碳化硅衬底超精密加工技术
袁铁军
张红蕾
张广冬
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2012
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
高精度立式磨床关键结合面动态特性研究
米洁
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2014
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
汽车铰链磨削冷却液的研究
刘胜峰
刘俊生
叶正东
《合肥工业大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
2002
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
高速及超高速磨削加工参数V_s的绿色度评价
廖兰
刘先斌
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2003
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
基于柔性导向机构的重力分量传感器开发
姜传星
江福
杨志军
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2023
0
在线阅读
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职称材料
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