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10 kV SiC LBD-MOSFET结构设计与特性研究 被引量:3
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作者 文译 陈致宇 +3 位作者 邓小川 柏松 李轩 张波 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第4期520-526,共7页
针对SiC MOSFET体二极管双极退化效应,该文提出了一种集成低势垒二极管的10 kV SiC MOSFET器件新结构(LBD-MOSFET)。该结构通过在一侧基区上方注入N阱,降低了漏源间的电子势垒,从而在元胞中形成一个低势垒二极管(LBD)。当LBD-MOSFET在... 针对SiC MOSFET体二极管双极退化效应,该文提出了一种集成低势垒二极管的10 kV SiC MOSFET器件新结构(LBD-MOSFET)。该结构通过在一侧基区上方注入N阱,降低了漏源间的电子势垒,从而在元胞中形成一个低势垒二极管(LBD)。当LBD-MOSFET在第三象限工作时,低的电子势垒使LBD以更低的源漏电压开启,有效避免了体二极管开通所导致的双极退化效应。二维数值分析结果表明,SiC LBD-MOSFET的击穿电压达13.5 kV,第三象限开启电压仅为1.3 V,相比传统结构降低48%,可有效降低器件第三象限导通损耗。同时,由于LBD-MOSFET具有较小的栅漏交叠面积,其栅漏电容仅为1.0 pF/cm^(2),器件的高频优值为194 mΩ·pF,性能相比传统结构分别提升了81%和76%。因此,LBD-MOSFET适用于高频高可靠性电力电子系统。 展开更多
关键词 击穿电压 栅漏电容 低势垒 碳化硅 第三象限
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多晶硅薄膜晶体管的栅电容模型 被引量:2
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作者 邓婉玲 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期178-182,共5页
多晶硅薄膜晶体管具有独特的栅电容特性,即泄漏区中栅源电容的反常增大和饱和区中栅漏电容由于kink效应的增大。基于Meyer模型,考虑了泄漏产生效应和kink效应,对多晶硅薄膜晶体管的栅漏电容和栅源电容特性进行了建模研究。对实验数据进... 多晶硅薄膜晶体管具有独特的栅电容特性,即泄漏区中栅源电容的反常增大和饱和区中栅漏电容由于kink效应的增大。基于Meyer模型,考虑了泄漏产生效应和kink效应,对多晶硅薄膜晶体管的栅漏电容和栅源电容特性进行了建模研究。对实验数据进行拟合发现,提出的模型与实验数据符合得较好,能准确地预测多晶硅薄膜晶体管的栅电容特性。 展开更多
关键词 多晶硅薄膜晶体管 栅漏电容 栅源电容 模型
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复合多晶硅栅LDMOS的特性研究
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作者 洪琪 陈军宁 +3 位作者 柯导明 刘磊 高珊 刘琦 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期227-230,共4页
提出了一种应用于射频领域的复合多晶硅栅LDMOS结构(DMG-LDMOS),并给出了工艺实现方法。此结构采用了栅工程的概念,所设计的栅电极由S-栅和D-栅两块电极并列组成,其中,S-栅采用功函数较高的p+多晶硅;D-栅采用功函数较低的n+多晶硅。MED... 提出了一种应用于射频领域的复合多晶硅栅LDMOS结构(DMG-LDMOS),并给出了工艺实现方法。此结构采用了栅工程的概念,所设计的栅电极由S-栅和D-栅两块电极并列组成,其中,S-栅采用功函数较高的p+多晶硅;D-栅采用功函数较低的n+多晶硅。MEDICI对n沟道DMG-LDMOS和n沟道普通LDMOS的模拟结果表明,该结构能够提高器件的沟道载流子速度,从而增加器件的跨导值,并且该结构在提高器件击穿电压的同时还能提高器件的截止频率。 展开更多
关键词 复合栅 截止频率 功函数 横向扩散金属氧化物 栅源电容 栅漏电容
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基于有源网络和受控辅助电阻支路的有源电感 被引量:1
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作者 吕晓强 张万荣 +5 位作者 谢红云 金冬月 杨坤 王娜 温晓伟 杜成孝 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第6期436-440,447,共6页
针对传统共漏-共栅-共源(CD-CG-CS)有源电感的不足,结合有源网络和受控辅助电阻支路,设计了一款具有大电感值,且可在不同频率下获得高Q峰值和在同一频率下对Q峰值进行大范围调谐的新型有源电感。基于TSMC 0.18μm CMOS工艺,利用安捷伦... 针对传统共漏-共栅-共源(CD-CG-CS)有源电感的不足,结合有源网络和受控辅助电阻支路,设计了一款具有大电感值,且可在不同频率下获得高Q峰值和在同一频率下对Q峰值进行大范围调谐的新型有源电感。基于TSMC 0.18μm CMOS工艺,利用安捷伦公司的射频电路设计工具ADS软件对其进行仿真验证。仿真结果表明:当调节有源网络偏置时,在2.48~2.87 GHz的工作频带内,取得了10.89~13.16 nH的大电感值,在2.48,2.74和2.87 GHz三个不同频率下,分别取得了9 997,4 015和2 717的高Q峰值。当调节受控辅助电阻支路偏置时,在工作频率为3.10 GHz下,取得了11.65~17.61 n H的大电感值,Q峰值可在616~3 823之间进行大范围调谐。用Cadence Virtuoso工具进行版图设计,新型有源电感的版图面积较小,仅为21.5μm×34.4μm。 展开更多
关键词 共漏-共栅-共源(CD-cg-CS) 有源电感 有源网络 受控辅助电阻支路 高Q值
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新型低栅源漏电容射频LDMOS器件设计
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作者 马荣晶 刘斯扬 +1 位作者 魏家行 孙伟锋 《电子器件》 CAS 北大核心 2015年第6期1228-1231,共4页
为了降低栅源寄生电容C_(gs),提出了一种带有阶梯栅n埋层结构的新型射频LDMOS器件;采用Tsuprem4软件对其进行仿真分析,重点研究了n埋层掺杂剂量和第二阶梯栅氧厚度对栅源寄生电容C_(gs)的影响,并结合传统的射频LDMOS基本结构对其进行优... 为了降低栅源寄生电容C_(gs),提出了一种带有阶梯栅n埋层结构的新型射频LDMOS器件;采用Tsuprem4软件对其进行仿真分析,重点研究了n埋层掺杂剂量和第二阶梯栅氧厚度对栅源寄生电容C_(gs)的影响,并结合传统的射频LDMOS基本结构对其进行优化设计。结果表明:这种新型结构与传统的射频LDMOS器件结构相比,使得器件的栅源寄生电容最大值降低了15.8%,截止频率提高了7.6%,且器件的阈值电压和击穿电压可以维持不变。 展开更多
关键词 射频LDMOS 栅源寄生电容cgs Tsuprem4 优化
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