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Ar气氛下快速退火对CZ-Si单晶中FPD的影响
1
作者
乔治
李同锴
+2 位作者
刘彩池
冀建利
张彦立
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期691-693,共3页
将Si片经Secco腐蚀液腐蚀,用光学显微镜和原子力显微镜(AFM)对CZ-Si单晶中的流动图形缺陷(FPD)的形貌、分布及结构进行了研究,对Si片进行了湿氧化处理并采用较新的快速退火方法(RTA),在Ar气氛下对Si片进行热处理,研究了退火温度和退火...
将Si片经Secco腐蚀液腐蚀,用光学显微镜和原子力显微镜(AFM)对CZ-Si单晶中的流动图形缺陷(FPD)的形貌、分布及结构进行了研究,对Si片进行了湿氧化处理并采用较新的快速退火方法(RTA),在Ar气氛下对Si片进行热处理,研究了退火温度和退火时间对FPD缺陷密度的影响。结果表明,FPDs缺陷在1100℃以下非常稳定;但是在1100℃以上的温度,尤其在1200℃对Si片进行RTA处理后,Si片中FPD的密度大大降低,而且随着的退火时间的延长,密度不断下降。
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关键词
快速退火
流动图形缺陷
空洞型缺陷
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职称材料
CZ-Si单晶中流动图形缺陷的本性探究
被引量:
2
2
作者
乔治
刘彩池
+1 位作者
张彦立
史严
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期257-259,共3页
CZ-Si单晶中的流动图形缺陷(FPDs)是否属于空洞型缺陷,目前尚有争议。通过光学显微镜和原子力显微镜对其结构进行了细致地研究。实验发现,FPDs外形如抛物线,在硅片中呈内高外低分布,并且在其顶端附近还存在一单型或双型的八面体空洞,其...
CZ-Si单晶中的流动图形缺陷(FPDs)是否属于空洞型缺陷,目前尚有争议。通过光学显微镜和原子力显微镜对其结构进行了细致地研究。实验发现,FPDs外形如抛物线,在硅片中呈内高外低分布,并且在其顶端附近还存在一单型或双型的八面体空洞,其尺寸、结构及类型与COPs、LSTDs缺陷都非常相似。所有这些都表明,FPDs为空洞型缺陷。本次实验结果将有助于对空洞型缺陷本性及其消除机制的进一步研究。
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关键词
CZ-SI
流动图形缺陷(
fpds
)
空洞型缺陷
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职称材料
快速退火对大直径CZSi单晶中原生微缺陷的影响
被引量:
1
3
作者
郝秋艳
乔治
+3 位作者
张建峰
任丙彦
李养贤
刘彩池
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期747-750,共4页
本文利用快速退火对φ8″直拉硅单晶片中的流动图形缺陷(FPDs)进行了研究。首先用Secco腐蚀液腐蚀了大直径直拉硅片,利用光学显微镜观察了FPDs的宏观分布,并用原子力显微镜(AFM)对原生FPDs的微观形貌进行观察,证明了FPDs是一种空位型原...
本文利用快速退火对φ8″直拉硅单晶片中的流动图形缺陷(FPDs)进行了研究。首先用Secco腐蚀液腐蚀了大直径直拉硅片,利用光学显微镜观察了FPDs的宏观分布,并用原子力显微镜(AFM)对原生FPDs的微观形貌进行观察,证明了FPDs是一种空位型原生缺陷,然后采用了高温快速热处理,分别在N2、N2/O2(3%)、Ar三种气氛中对原生直拉单晶硅片进行了处理。对比退火前后FPDs密度的变化,分析了高温快速热处理对直拉硅单晶片中FPDs的影响,实验表明1200℃快速热处理180s可以显著降低硅片表面的FPDs。
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关键词
快速退火
原生微缺陷
流动图形缺陷
原子力显微镜
直拉硅单晶片
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职称材料
搅拌摩擦焊接过程塑性流动形态与试验分析
被引量:
4
4
作者
王训宏
王快社
+1 位作者
徐可为
胡锴
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期47-50,共4页
使用FLUENT流体工程仿真软件对搅拌摩擦焊缝金属的塑性流动进行数值模拟,初步得出搅拌摩擦焊焊缝塑性流体流动规律,并进行试验分析与验证。试验结果表明:随着距轴肩和搅拌针距离的增大,速度场开始减弱,焊缝金属由顶面向底面、由搅拌区...
使用FLUENT流体工程仿真软件对搅拌摩擦焊缝金属的塑性流动进行数值模拟,初步得出搅拌摩擦焊焊缝塑性流体流动规律,并进行试验分析与验证。试验结果表明:随着距轴肩和搅拌针距离的增大,速度场开始减弱,焊缝金属由顶面向底面、由搅拌区向旋转区的流动也随之减弱;水平方向计算结果与试验结果基本吻合。搅拌工具旋转速度是影响接头成型形貌的关键原因之一,速度过低有可能会导致隧道型孔洞缺陷。
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关键词
搅拌摩擦焊
流动形态
模拟
焊接参数
隧道型孔洞
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职称材料
不同缺陷特征对坝基防渗墙渗流性态的影响规律研究
5
作者
叶玉麟
葛元彬
+2 位作者
赵明华
宋子屹
徐方才
《南水北调与水利科技(中英文)》
2025年第S1期206-212,共7页
混凝土防渗墙是处理深厚覆盖层中坝基防渗问题的主要手段之一,其隐蔽性与服役环境的复杂性导致大埋深工况下的墙体损伤开裂一般无法仅通过物探技术实现对其损伤部位的准确定位,导致维修加固工作难以展开。本研究以四川某水电站实际工程...
混凝土防渗墙是处理深厚覆盖层中坝基防渗问题的主要手段之一,其隐蔽性与服役环境的复杂性导致大埋深工况下的墙体损伤开裂一般无法仅通过物探技术实现对其损伤部位的准确定位,导致维修加固工作难以展开。本研究以四川某水电站实际工程为研究对象,构建了精细化三维有限元渗流分析模型,揭示了不同缺陷工况下墙体与缺陷部位的渗流性态变化规律,系统分析了不同缺陷形式、尺寸、部位对墙体孔隙水压力与渗流量的影响程度;结果表明:三角形分叉缺陷与空洞缺陷工况下孔隙水压力较完整工况的变化率存在较大差异,分别约为4.0%与4.5%;此外,相较于纵向与横向缺陷,分叉缺陷与空洞缺陷引发的防渗墙断面渗流量增长倍率更大,最大可达到22.58倍和29.61倍,由以上两方面结果可以基本实现对防渗墙缺陷形式及尺度的判定,为实现基于渗流监测数据的防渗墙缺陷快速识别及定位提供技术支持。
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关键词
缺陷特征
精细化三维仿真
混凝土坝基防渗墙
缺陷识别与定位
渗流性态规律
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职称材料
题名
Ar气氛下快速退火对CZ-Si单晶中FPD的影响
1
作者
乔治
李同锴
刘彩池
冀建利
张彦立
机构
石家庄铁道学院数理系
河北工业大学信息功能材料研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期691-693,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(506225518)
文摘
将Si片经Secco腐蚀液腐蚀,用光学显微镜和原子力显微镜(AFM)对CZ-Si单晶中的流动图形缺陷(FPD)的形貌、分布及结构进行了研究,对Si片进行了湿氧化处理并采用较新的快速退火方法(RTA),在Ar气氛下对Si片进行热处理,研究了退火温度和退火时间对FPD缺陷密度的影响。结果表明,FPDs缺陷在1100℃以下非常稳定;但是在1100℃以上的温度,尤其在1200℃对Si片进行RTA处理后,Si片中FPD的密度大大降低,而且随着的退火时间的延长,密度不断下降。
关键词
快速退火
流动图形缺陷
空洞型缺陷
Keywords
rapid thermal annealing (RTA)
Bow
pattern
defects
(
fpd
)
void-type
defects
分类号
TN304.053 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
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职称材料
题名
CZ-Si单晶中流动图形缺陷的本性探究
被引量:
2
2
作者
乔治
刘彩池
张彦立
史严
机构
石家庄铁道学院数理系
河北工业大学信息功能材料研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期257-259,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(60076001)
河北省自然科学基金(50032101)
文摘
CZ-Si单晶中的流动图形缺陷(FPDs)是否属于空洞型缺陷,目前尚有争议。通过光学显微镜和原子力显微镜对其结构进行了细致地研究。实验发现,FPDs外形如抛物线,在硅片中呈内高外低分布,并且在其顶端附近还存在一单型或双型的八面体空洞,其尺寸、结构及类型与COPs、LSTDs缺陷都非常相似。所有这些都表明,FPDs为空洞型缺陷。本次实验结果将有助于对空洞型缺陷本性及其消除机制的进一步研究。
关键词
CZ-SI
流动图形缺陷(
fpds
)
空洞型缺陷
Keywords
CZ-Si
flow pattern defects(fpds)
void-type
defects
分类号
TN304.053 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
快速退火对大直径CZSi单晶中原生微缺陷的影响
被引量:
1
3
作者
郝秋艳
乔治
张建峰
任丙彦
李养贤
刘彩池
机构
天津大学电信学院
河北工业大学信息功能材料研究所
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期747-750,共4页
基金
国家自然科学基金(No.60076001
No.50032010)河北省自然科学基金资助项目(No.502061)
文摘
本文利用快速退火对φ8″直拉硅单晶片中的流动图形缺陷(FPDs)进行了研究。首先用Secco腐蚀液腐蚀了大直径直拉硅片,利用光学显微镜观察了FPDs的宏观分布,并用原子力显微镜(AFM)对原生FPDs的微观形貌进行观察,证明了FPDs是一种空位型原生缺陷,然后采用了高温快速热处理,分别在N2、N2/O2(3%)、Ar三种气氛中对原生直拉单晶硅片进行了处理。对比退火前后FPDs密度的变化,分析了高温快速热处理对直拉硅单晶片中FPDs的影响,实验表明1200℃快速热处理180s可以显著降低硅片表面的FPDs。
关键词
快速退火
原生微缺陷
流动图形缺陷
原子力显微镜
直拉硅单晶片
Keywords
CZSi
grown-in
defect
flow
pattern
defects
(
fpds
)
atomic force microscopy (AFM)
rapid thermal annealing (RTA)
分类号
O613.72 [理学—无机化学]
O77 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
搅拌摩擦焊接过程塑性流动形态与试验分析
被引量:
4
4
作者
王训宏
王快社
徐可为
胡锴
机构
西安建筑科技大学冶金工程学院
西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
西安航空发动机(集团)有限公司
出处
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期47-50,共4页
基金
陕西省科技计划项目(2003K07-G8)
陕西省教育厅产业化项目(04JC18)
西安市工业攻关项目(GG04063)资助
文摘
使用FLUENT流体工程仿真软件对搅拌摩擦焊缝金属的塑性流动进行数值模拟,初步得出搅拌摩擦焊焊缝塑性流体流动规律,并进行试验分析与验证。试验结果表明:随着距轴肩和搅拌针距离的增大,速度场开始减弱,焊缝金属由顶面向底面、由搅拌区向旋转区的流动也随之减弱;水平方向计算结果与试验结果基本吻合。搅拌工具旋转速度是影响接头成型形貌的关键原因之一,速度过低有可能会导致隧道型孔洞缺陷。
关键词
搅拌摩擦焊
流动形态
模拟
焊接参数
隧道型孔洞
Keywords
friction stir welding
flow
pattern
simulation
welding parameters
tunnel
defect
分类号
TG146.4 [金属学及工艺—金属材料]
在线阅读
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职称材料
题名
不同缺陷特征对坝基防渗墙渗流性态的影响规律研究
5
作者
叶玉麟
葛元彬
赵明华
宋子屹
徐方才
机构
天津大学水利工程智能建造与运维全国重点实验室
出处
《南水北调与水利科技(中英文)》
2025年第S1期206-212,共7页
文摘
混凝土防渗墙是处理深厚覆盖层中坝基防渗问题的主要手段之一,其隐蔽性与服役环境的复杂性导致大埋深工况下的墙体损伤开裂一般无法仅通过物探技术实现对其损伤部位的准确定位,导致维修加固工作难以展开。本研究以四川某水电站实际工程为研究对象,构建了精细化三维有限元渗流分析模型,揭示了不同缺陷工况下墙体与缺陷部位的渗流性态变化规律,系统分析了不同缺陷形式、尺寸、部位对墙体孔隙水压力与渗流量的影响程度;结果表明:三角形分叉缺陷与空洞缺陷工况下孔隙水压力较完整工况的变化率存在较大差异,分别约为4.0%与4.5%;此外,相较于纵向与横向缺陷,分叉缺陷与空洞缺陷引发的防渗墙断面渗流量增长倍率更大,最大可达到22.58倍和29.61倍,由以上两方面结果可以基本实现对防渗墙缺陷形式及尺度的判定,为实现基于渗流监测数据的防渗墙缺陷快速识别及定位提供技术支持。
关键词
缺陷特征
精细化三维仿真
混凝土坝基防渗墙
缺陷识别与定位
渗流性态规律
Keywords
defect
characterization
refined three-dimensional simulation
concrete dam foundation seepage control wall
defect
identification and localization
seepage
flow
pattern
law
分类号
TV213.4 [水利工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Ar气氛下快速退火对CZ-Si单晶中FPD的影响
乔治
李同锴
刘彩池
冀建利
张彦立
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
在线阅读
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职称材料
2
CZ-Si单晶中流动图形缺陷的本性探究
乔治
刘彩池
张彦立
史严
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006
2
在线阅读
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职称材料
3
快速退火对大直径CZSi单晶中原生微缺陷的影响
郝秋艳
乔治
张建峰
任丙彦
李养贤
刘彩池
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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职称材料
4
搅拌摩擦焊接过程塑性流动形态与试验分析
王训宏
王快社
徐可为
胡锴
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
2006
4
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职称材料
5
不同缺陷特征对坝基防渗墙渗流性态的影响规律研究
叶玉麟
葛元彬
赵明华
宋子屹
徐方才
《南水北调与水利科技(中英文)》
2025
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