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Modeling of photolithography process in semiconductor wafer fabrication systems using extended hybrid Petri nets 被引量:2
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作者 周炳海 潘青枝 +1 位作者 王世进 吴斌 《Journal of Central South University of Technology》 EI 2007年第3期393-398,共6页
To describe a semiconductor wafer fabrication flow availably, a new modeling method of extended hybrid Petri nets (EHPNs) was proposed. To model the discrete part and continuous part of a complex photolithography pr... To describe a semiconductor wafer fabrication flow availably, a new modeling method of extended hybrid Petri nets (EHPNs) was proposed. To model the discrete part and continuous part of a complex photolithography process, hybrid Petri nets (HPNs) were introduced. To cope with the complexity of a photolithography process, object-oriented methods such as encapsulation and classifications were integrated with HPN models. EHPN definitions were presented on the basis of HPN models and object-oriented methods. Object-oriented hybrid Petri subnet models were developed for each typical physical object and an EHPN modeling procedure steps were structured. To demonstrate the feasibility and validity of the proposed modeling method, a real wafer photolithography case was used to illustrate the modeling procedure. dynamic modeling of a complex photolithography process effectively The modeling results indicate that the EHPNs can deal with the dynamic modeling of a complex photolithography process effectively. 展开更多
关键词 semiconductor wafer fabrication photolithography process hybrid petri net object-oriented method
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基于时间扩展Petri网的实时嵌入式软件体系结构建模及可靠性评估 被引量:5
2
作者 许玉堂 殷永峰 +2 位作者 孙静 张弛 刘斌 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期363-373,共11页
软件可靠性是软件质量评估最重要的指标之一,随着软件工程和组件重用技术的发展,近年来基于体系结构的软件可靠性评估已经成为工程研究的热点之一。为有效地提高软件可靠性,调研现有体系结构的可靠性评估模型,给出了现有体系结构模型的... 软件可靠性是软件质量评估最重要的指标之一,随着软件工程和组件重用技术的发展,近年来基于体系结构的软件可靠性评估已经成为工程研究的热点之一。为有效地提高软件可靠性,调研现有体系结构的可靠性评估模型,给出了现有体系结构模型的分类和模型代表,并分析了现有模型的不足。由于Petri具有良好的扩展性并且对异步和并行软件有良好的描述性,因此重点研究Petri网可靠性评估模型,通过划分时间变迁和瞬时变迁,并引入时间相关的可靠度,包括延时可靠度与时序可靠度,对Petri网进行了扩展,给出了时间扩展的Petri网进行体系结构建模方法。通过研究组件状态和系统可达状态的关系,创建可达状态转移矩阵,对系统进行可靠性评估。将所研究的方法应用于某航电嵌入式系统软件中,完成了体系结构建模及可靠性评估,并通过误差分析验证了该方法的有效性及准确性。 展开更多
关键词 计算机软件 软件体系结构 可靠性评估 时间扩展petri
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一种不确定时段的扩展时段时序逻辑:时间Petri网模型表示和线性推理 被引量:13
3
作者 林闯 刘婷 曲扬 《计算机学报》 EI CSCD 北大核心 2001年第12期1299-1309,共11页
针对点 -时段时序逻辑的不足 ,提出了一种新的时段时序逻辑——扩展时段时序逻辑 ,对不确定时间段发生的事件具有较好的描述能力 .时间 Petri网模型表示的引入 ,增强了扩展时段时序逻辑的描述直观性及分析能力 ,为进行线性推理提供了有... 针对点 -时段时序逻辑的不足 ,提出了一种新的时段时序逻辑——扩展时段时序逻辑 ,对不确定时间段发生的事件具有较好的描述能力 .时间 Petri网模型表示的引入 ,增强了扩展时段时序逻辑的描述直观性及分析能力 ,为进行线性推理提供了有利的工具 .同时还提出了几种变迁间的实施推理规则 .运用这些规则可以简化复杂时序关系的 Petri网模型 ,并在线性时间复杂度内定量地得到各变迁间的时序逻辑关系 。 展开更多
关键词 点-时段时序逻辑 扩展时段时序逻辑 时间Peter网 线性推理 人工智能
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时序逻辑电路的Petri网分析方法 被引量:4
4
作者 司玉娟 王万树 +2 位作者 郎六琪 郭殿龙 戴逸松 《计算机学报》 EI CSCD 北大核心 1996年第7期492-498,共7页
本文应用带抑止弧的增广Petri网,建立了基本门电路和常用触发器的Petri网模型,讨论了运用该模型描述同步和异步时序逻辑电路,给出了此增广Petri网的矩阵描述和状态转移方程,在此基础上提出了同步和异步时序逻辑电路... 本文应用带抑止弧的增广Petri网,建立了基本门电路和常用触发器的Petri网模型,讨论了运用该模型描述同步和异步时序逻辑电路,给出了此增广Petri网的矩阵描述和状态转移方程,在此基础上提出了同步和异步时序逻辑电路统一分析的Petri网方法. 展开更多
关键词 时序电路 petri 逻辑分析 逻辑电路
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MPI通信函数的增广Petri网模型 被引量:6
5
作者 崔焕庆 吴哲辉 韩丛英 《系统仿真学报》 CAS CSCD 2003年第z1期26-28,39,共4页
MPI是目前最流行的并行编程消息传递标准之一,它提供了多种点到点通信函数和集群通信函广Petri网模型,有利于解决此问题,并更好地利用它们编写并行程序。
关键词 增广petri MPI 点到点通信 集群通信
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基于着色Petri网的工作流建模和合理性分析 被引量:17
6
作者 陈翔 夏国平 《计算机集成制造系统-CIMS》 EI CSCD 北大核心 2004年第4期381-387,共7页
针对工作流模型表达能力较差,以及合理性不容易验证的问题,将工作流管理联盟定义的工作流模型映射为工作流网络。通过应用统一的资源管理器和引入着色Petri网,得到着色工作流网模型,这种模型更简单、更容易计算机化。在定义并证明两种... 针对工作流模型表达能力较差,以及合理性不容易验证的问题,将工作流管理联盟定义的工作流模型映射为工作流网络。通过应用统一的资源管理器和引入着色Petri网,得到着色工作流网模型,这种模型更简单、更容易计算机化。在定义并证明两种不会破坏原工作流网络结构特性和系统行为的调整映射的基础上,将该工作流网络调整为完全的扩展自由选择网,使所有工作流模型的合理性问题都可以在多项式时间里得到解决。 展开更多
关键词 工作流模型 着色petri 扩展自由选择
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基于HTCPN和Extend的装备保障系统建模与仿真 被引量:5
7
作者 彭英武 李庆民 +1 位作者 王睿 毛德军 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2539-2545,共7页
构建支撑装备保障问题分析和决策的仿真平台是装备保障研究和实践的一条必由之路。装备保障系统仿真模型是仿真平台的重要组成部分。针对装备保障系统的运行流程及其层次性特点,基于层次时间着色Petri网(HTCPN)提出了一种建立在层次化... 构建支撑装备保障问题分析和决策的仿真平台是装备保障研究和实践的一条必由之路。装备保障系统仿真模型是仿真平台的重要组成部分。针对装备保障系统的运行流程及其层次性特点,基于层次时间着色Petri网(HTCPN)提出了一种建立在层次化、模块化和标准化基础上的保障系统Petri建模思路,在此基础上,基于Extend平台设计了装备保障系统仿真模型,说明了基本功能组成模块。最后,以舰艇海上巡航任务条件下的装备保障系统为例,实现了仿真模型NEISSM,开展参数敏感性分析仿真试验,获得了较好的结论,证明了仿真模型设计的合理性和可行性。 展开更多
关键词 HTCPN extend 装备保障系统 建模仿真 模型
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基于Petri网的关键路径求解算法 被引量:4
8
作者 叶双 叶剑虹 刘传才 《计算机科学》 CSCD 北大核心 2012年第6期201-203,221,共4页
首先把工程规划中有向网络转换成带时间状态的Petri网,利用Petri网的分析方法对其不合理之处加以剖析,修正其中可能蕴含的错误,接着运行该网络并进行剪枝优化,自动获取关键路径。该方法比传统算法的执行效率要高,更易于实现。
关键词 带时间状态petri 关键路径 分析 算法
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基于扩展Petri网的ECA规则集表示及终止性分析 被引量:2
9
作者 张立臣 王小明 窦文阳 《通信学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第3期157-164,共8页
为了提高ECA规则集可终止性分析的准确性,建立了一种可描述ECA规则集的扩展Petri网(EPN,extended Petri net)模型,在此基础上研究并提出了一种ECA规则集终止性判定算法。该算法充分利用EPN所包含ECA规则特性的丰富信息,综合分析了ECA规... 为了提高ECA规则集可终止性分析的准确性,建立了一种可描述ECA规则集的扩展Petri网(EPN,extended Petri net)模型,在此基础上研究并提出了一种ECA规则集终止性判定算法。该算法充分利用EPN所包含ECA规则特性的丰富信息,综合分析了ECA规则特性对规则集可终止性的影响。理论分析和实验结果表明,所提出的算法具有更高的准确性和更低的时间复杂度。 展开更多
关键词 ECA规则 petri 终止性分析 EPN 模型表示
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计算一类递归方程的增广Petri网模型 被引量:3
10
作者 崔焕庆 吴哲辉 张广胜 《系统仿真学报》 CAS CSCD 2003年第z1期40-42,共3页
递归方程的计算一直是一个较为复杂的问题,为更好的解决这一问题,建立各种模型是十分必要的。斐波那契数列是一个著名的递归方程,在这个方程的基础上,针对同类的递归方程建立了增广Petri网模型,并对模型的运行进行了分析。
关键词 增广petri 递归方程 变迁发生序列 矩阵
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时序逻辑电路设计的Petri网方法 被引量:4
11
作者 张继军 吴哲辉 《计算机科学》 CSCD 北大核心 2002年第12期186-189,共4页
A new method for designing sequential logic circuits is put forward in this paper. The method is that driv-ing condition for flip-flops is obtained by means of the transition firing condition of petri net and that des... A new method for designing sequential logic circuits is put forward in this paper. The method is that driv-ing condition for flip-flops is obtained by means of the transition firing condition of petri net and that designing asyn-chronous sequential circuits and synchronous sequential circuits can be unified. 展开更多
关键词 时序逻辑电路 电路设计 petri 触发器
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基于UML和对象Petri网的分布式工作流系统建模方法研究 被引量:5
12
作者 柳青 胡金柱 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2004年第5期58-60,63,共4页
提出了一种融合UML和对象Petri网优点的分布式工作流系统的建模方法,利用UML的扩展机制进行了有关工作流特性的扩展:定制了合同、端口、通信协议块等版类,建立了合同化的层次体系结构;为了对建立的模型进行严密的数学分析和模拟,又提供... 提出了一种融合UML和对象Petri网优点的分布式工作流系统的建模方法,利用UML的扩展机制进行了有关工作流特性的扩展:定制了合同、端口、通信协议块等版类,建立了合同化的层次体系结构;为了对建立的模型进行严密的数学分析和模拟,又提供了从UML模型到对象Petri网的转换机制。 展开更多
关键词 UML扩展 对象petri 分布式工作流 合同设计
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基于Petri网的分布式多媒体同步模型研究 被引量:3
13
作者 张明 张正兰 《小型微型计算机系统》 CSCD 北大核心 2001年第6期732-735,共4页
Petri网作为一种描述系统行为的形式化工具 ,在各类多媒体系统中有着较多的应用 ,尤其擅长于描述多媒体的同步问题 ,出现了诸如 OCPN(对象组合 Petri网 )等多媒体同步模型 ,然而 ,这些模型却不足以处理分布式环境中的多媒体同步问题 .... Petri网作为一种描述系统行为的形式化工具 ,在各类多媒体系统中有着较多的应用 ,尤其擅长于描述多媒体的同步问题 ,出现了诸如 OCPN(对象组合 Petri网 )等多媒体同步模型 ,然而 ,这些模型却不足以处理分布式环境中的多媒体同步问题 .本文提出了一种新的扩充 Petri网模型并分析了其模型化的能力和性质 ,利用该模型可以较好地解决分布式环境中的多媒体同步问题 . 展开更多
关键词 分布式多媒体 同步模型 petri 同步控制
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基于Petri网的设备故障诊断研究 被引量:2
14
作者 陆宝春 夏敬华 张世琪 《南京理工大学学报》 EI CAS CSCD 1999年第6期522-526,共5页
基于设备故障诊断知识的特点,采用层次树结构统一表示故障深浅知识。对普通Petri 网进行拓展定义,并用拓展Petri 网综合实现故障知识的表示和故障的诊断推理。诊断时首先基于拓展Petri 网模型的正向可达性分析进行正... 基于设备故障诊断知识的特点,采用层次树结构统一表示故障深浅知识。对普通Petri 网进行拓展定义,并用拓展Petri 网综合实现故障知识的表示和故障的诊断推理。诊断时首先基于拓展Petri 网模型的正向可达性分析进行正向不确定推理,限定可能的故障模块,然后基于Petri 网模型的反向推理功能在故障模块内具体诊断出故障原因。基于FMS故障诊断知识的分析,文中给出了一个利用拓展Petri 网进行知识表示和推理的实例,证明了方法的可行性。 展开更多
关键词 故障诊断 知识表示 petri 可达性分析 设备
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同步时序电路的增广Petri网分析 被引量:3
15
作者 司玉娟 王万树 +1 位作者 郭殿龙 戴逸松 《电子科学学刊》 CSCD 1995年第5期529-534,共6页
本文应用带抑制弧的增广Petri网建立了基本门电路和常用触发器的Petri网模型;并运用该模型描述了同步时序电路;提出了增广Petri网的授权矩阵、状态转移方程和触发器次态与变迁授权条件的关系。在此基础上可对同步时序电路描述和分析,并... 本文应用带抑制弧的增广Petri网建立了基本门电路和常用触发器的Petri网模型;并运用该模型描述了同步时序电路;提出了增广Petri网的授权矩阵、状态转移方程和触发器次态与变迁授权条件的关系。在此基础上可对同步时序电路描述和分析,并用实例证明了该方法的有效性。 展开更多
关键词 时序电路 增广petri 逻辑分析
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基于Petri网的供需链设计优化研究 被引量:1
16
作者 王润孝 贾燕 +1 位作者 盛义军 高琳 《计算机集成制造系统-CIMS》 EI CSCD 北大核心 2003年第10期868-872,共5页
供需链设计优化问题由于其自身的复杂性而成为一个极具挑战性的研究课题。本文把Petri网与遗传算法结合起来,用于研究供需链设计优化,构建一个供需链原型测试系统,并对小汽车制造供需链系统进行了实例分析。
关键词 供需链设计 遗传算法 扩展petri
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扩展Petri网在实时数据库并发控制中的应用 被引量:2
17
作者 韩耀军 罗雪梅 蒋昌俊 《系统仿真学报》 CAS CSCD 2003年第z1期63-66,共4页
提出了初始化弧的概念,并将这一概念引入高级时间Petri网中,从而给出了扩展的高级时间Petri网(Extended High-Level Time Petri Nets-EHLTPN)。此外,在EHLTPN模型中,变迁所附加的常量时间区间扩展为变量时间区间。用EHLTPN对实时数据库... 提出了初始化弧的概念,并将这一概念引入高级时间Petri网中,从而给出了扩展的高级时间Petri网(Extended High-Level Time Petri Nets-EHLTPN)。此外,在EHLTPN模型中,变迁所附加的常量时间区间扩展为变量时间区间。用EHLTPN对实时数据库系统的并发事务进行了建模,所建模型不仅可以描述并发事务在数据存取中所出现的各种现象,而且还可以实现2PL-LW协议所具有的可避免并发事务的无用重启、无用等待、无死锁的等功能。 展开更多
关键词 初始化弧 扩展高级时间petri 实时数据库系统 并发控制 建模 分析
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有色Petri网的扩展使用控制策略模型设计 被引量:1
18
作者 李沛武 雷金娥 《计算机工程与应用》 CSCD 2012年第33期96-100,共5页
为解决目前UCON模型和策略规范存在系统应用功能与安全策略集成性差、缺少事后义务和无并发性控制问题,通过定义行为、安全和并发规则,提出了一种扩展的使用控制策略,采用有色Petri网技术,达到形式化定义、分析的目的,为将来的研究工作... 为解决目前UCON模型和策略规范存在系统应用功能与安全策略集成性差、缺少事后义务和无并发性控制问题,通过定义行为、安全和并发规则,提出了一种扩展的使用控制策略,采用有色Petri网技术,达到形式化定义、分析的目的,为将来的研究工作提供基础。 展开更多
关键词 使用控制 形式化分析 有色petri 扩展使用控制策略模型
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基于事件消息驱动的Petri网的类族测试用例生成技术的研究 被引量:3
19
作者 龚红仿 李军义 邹北骥 《计算机应用》 CSCD 北大核心 2005年第1期65-68,共4页
在类族交互测试的正交阵列测试系统(OATS)生成测试用例的方法中,存在类的状态盲目组合而导致测试用例"爆炸"以及标准正交阵列不易扩充的问题。提出了基于EMDPN的类的状态组合的标记关联递推算法,通过类族之间的层次级别与状... 在类族交互测试的正交阵列测试系统(OATS)生成测试用例的方法中,存在类的状态盲目组合而导致测试用例"爆炸"以及标准正交阵列不易扩充的问题。提出了基于EMDPN的类的状态组合的标记关联递推算法,通过类族之间的层次级别与状态级别的优选组合产生交互路径,在证明生成交互路径数定理的基础上,得到了基于EMDPN模型的扩展的正交阵列测试系统(EOATS)的类族交互测试用例的生成方法,优化OATS。在讨论类族交互测试的覆盖率问题时,给出了类族交互测试的同步消息序列测试标准(SMSC),阐明了新的EOATS方法具有良好的覆盖性。 展开更多
关键词 类族交互测试 测试用例生成 事件消息驱动petri 扩展的正交阵列测试系统 标记关 联递推法 同步消息序列 测试覆盖标准
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基于扩展Petri网的EEPC测试模型研究 被引量:1
20
作者 殷锋 《计算机应用》 CSCD 北大核心 2007年第5期1245-1247,共3页
在构件集成测试过程中,为减少测试成本,以扩展的Petri网和EEPC模型为基础,充分融合了两者在结构表达、定性定量分析等方面的优点,通过对构件的使用频度等指标进行定量的分析,对构件的测试进行优先级排队,将测试重点安排在优先级高的构... 在构件集成测试过程中,为减少测试成本,以扩展的Petri网和EEPC模型为基础,充分融合了两者在结构表达、定性定量分析等方面的优点,通过对构件的使用频度等指标进行定量的分析,对构件的测试进行优先级排队,将测试重点安排在优先级高的构件上。以此达到在网格的集成测试中降低测试整体成本的目的。 展开更多
关键词 Petrl网 EEPC 网格 软件测试
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