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利用LIF法诊断微波等离子体鞘层
被引量:
5
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作者
邓新绿
吴桂林
+4 位作者
张家良
刘延伟
陆文琪
刘峰
马腾才
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第2期160-165,共6页
简要地阐明了利用激光诱导荧光法(LIF)诊断等离子体特性的原理,分别对二能级情况(共振荧光)与三能级情况(非共振荧光)采用饱和荧光法测量粒子浓度的公式进行了推导.在此基础上。
关键词
诊断
LIF法
能量分布
微波等离子体
鞘层
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职称材料
题名
利用LIF法诊断微波等离子体鞘层
被引量:
5
1
作者
邓新绿
吴桂林
张家良
刘延伟
陆文琪
刘峰
马腾才
机构
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
出处
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第2期160-165,共6页
基金
国家自然科学基金
文摘
简要地阐明了利用激光诱导荧光法(LIF)诊断等离子体特性的原理,分别对二能级情况(共振荧光)与三能级情况(非共振荧光)采用饱和荧光法测量粒子浓度的公式进行了推导.在此基础上。
关键词
诊断
LIF法
能量分布
微波等离子体
鞘层
Keywords
plasma
diagnostic by laser
spacial
distributions
energy distributions/microwave plasma sheath
分类号
O536 [理学—等离子体物理]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用LIF法诊断微波等离子体鞘层
邓新绿
吴桂林
张家良
刘延伟
陆文琪
刘峰
马腾才
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997
5
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