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Study on electrostatic discharge(ESD)characteristics of ultra-thin dielectric film
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作者 Ronggang WANG Yurong SUN +1 位作者 Liuliang HE Jiting OUYANG 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第4期89-95,共7页
Electrostatic discharge(ESD)event usually destroys the electrical properties of dielectric films,resulting in product failure.In this work,the breakdown characteristic of machine mode(MM)ESD on three different nano si... Electrostatic discharge(ESD)event usually destroys the electrical properties of dielectric films,resulting in product failure.In this work,the breakdown characteristic of machine mode(MM)ESD on three different nano size films of head gimble assemble are obtained experimentally.The breakdown voltage and thickness parameters show a positive proportional relationship,but they are generally very low and have large discrete characteristics(~30%).The maximum and minimum breakdown voltages of the tested samples are 1.08 V and 0.46 V,which are far lower than the requirement of the current standard(25 V).In addition,the judgment criterion of product damage is given,and the relationship between discharge voltage polarity,initial resistance and breakdown voltage is studied.Finally,the theoretical analysis of the breakdown characteristic law has been given. 展开更多
关键词 ultra-thin dielectric film electrostatic discharge(esd) machine model
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Enhanced gated-diode-triggered silicon-controlled rectifier for robust electrostatic discharge (ESD) protection applications
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作者 Wenqiang Song Fei Hou +2 位作者 Feibo Du Zhiwei Liu Juin JLiou 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第9期559-563,共5页
A robust electron device called the enhanced gated-diode-triggered silicon-controlled rectifier (EGDTSCR) for electrostatic discharge (ESD) protection applications has been proposed and implemented in a 0.18-μm 5-V/2... A robust electron device called the enhanced gated-diode-triggered silicon-controlled rectifier (EGDTSCR) for electrostatic discharge (ESD) protection applications has been proposed and implemented in a 0.18-μm 5-V/24-V BCD process. The proposed EGDTSCR is constructed by adding two gated diodes into a conventional ESD device called the modified lateral silicon-controlled rectifier (MLSCR). With the shunting effect of the surface gated diode path, the proposed EGDTSCR, with a width of 50 μm, exhibits a higher failure current (i.e., 3.82 A) as well as a higher holding voltage (i.e., 10.21 V) than the MLSCR. 展开更多
关键词 electrostatic discharge(esd) enhanced gated-diode-triggered silicon-controlled rectifier(EGDTSCR) modified lateral silicon-controlled rectifier(MLSCR) failure current holding voltage
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A novel diode string triggered gated-Pi N junction device for electrostatic discharge protection in 65-nm CMOS technology 被引量:1
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作者 张立忠 王源 +2 位作者 陆光易 曹健 张兴 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第10期594-598,共5页
A novel diode string-triggered gated-Pi N junction device, which is fabricated in a standard 65-nm complementary metal-oxide semiconductor(CMOS) technology, is proposed in this paper. An embedded gated-Pi N junction... A novel diode string-triggered gated-Pi N junction device, which is fabricated in a standard 65-nm complementary metal-oxide semiconductor(CMOS) technology, is proposed in this paper. An embedded gated-Pi N junction structure is employed to reduce the diode string leakage current to 13 n A/μm in a temperature range from 25°C to 85°C. To provide the effective electrostatic discharge(ESD) protection in multi-voltage power supply, the triggering voltage of the novel device can be adjusted through redistributing parasitic resistance instead of changing the stacked diode number. 展开更多
关键词 electrostatic discharge (esd gated-PiN junction diode string parasitic resistance redistribution
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Structure-dependent behaviors of diode-triggered silicon controlled rectifier under electrostatic discharge stress 被引量:1
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作者 张立忠 王源 何燕冬 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第12期507-513,共7页
The comprehensive understanding of the structure-dependent electrostatic discharge behaviors in a conventional diode-triggered silicon controlled rectifier (DTSCR) is presented in this paper. Combined with the devic... The comprehensive understanding of the structure-dependent electrostatic discharge behaviors in a conventional diode-triggered silicon controlled rectifier (DTSCR) is presented in this paper. Combined with the device simulation, a mathematical model is built to get a more in-depth insight into this phenomenon. The theoretical studies are verified by the transmission-line-pulsing (TLP) test results of the modified DTSCR structure, which is realized in a 65-nm complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) process. The detailed analysis of the physical mechanism is used to provide predictions as the DTSCR-based protection scheme is required. In addition, a method is also presented to achieve the tradeoff between the leakage and trigger voltage in DTSCR. 展开更多
关键词 electrostatic discharge (esd diode-triggered silicon controlled rectifier (DTSCR) transmission-line-pulsing (TLP) mathematical modeling
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Measurements of Characteristics of Electromagnetic Radiation Caused by Electrostatic Discharges in Metal Sphere Gap at Voltages Less than 1 kV 被引量:1
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作者 Ken Kawamata Shigeki Minegishi 《China Communications》 SCIE CSCD 2013年第7期29-35,共7页
In this study,the characteristics of Electromagnetic(EM) radiation caused by Electrostatic Discharges(ESDs) from metal spheres charged to voltages less than 1 kV are examined experimentally.Our experimental system con... In this study,the characteristics of Electromagnetic(EM) radiation caused by Electrostatic Discharges(ESDs) from metal spheres charged to voltages less than 1 kV are examined experimentally.Our experimental system consists of a pair of spherical electrodes of different diameters,a 1-18 GHz-bandwidth horn antenna and a 20-GHz-bandwidth digitizing oscilloscope.Polarization,waveform duration and peaks of antenna-received voltages from the EM field radiation are measured in order to clarify the EM radiation mechanism.The ratio of the received voltages between the antenna arrangements of the field polarization parallel and perpendicular to the spark pass is 18 to 20 dB.The polarities of the antenna-received voltages are the same as those of the charge voltages across the gap.Moreover,the waveform duration and the first peaks increase with an increase in the diameters of the spherical electrodes.Consequently,we find that the polarization,waveform duration and first peaks of the EM field radiation can be explained by a dipole antenna structure,which makes the spark part of the spherical electrodes a feeding point on the straight line passing through the centres of the two spheres. 展开更多
关键词 esd micro-gap discharge electromagnetic radiation polarization spherical electrode waveform duration
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一种具有高ESD泄放电流的AlGaN/GaN HEMT器件
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作者 吴家旭 成建兵 +2 位作者 孙旸 周成龙 姜圣杰 《固体电子学研究与进展》 CAS 2024年第4期289-294,共6页
为满足AlGaN/GaN HEMT器件的高静电放电(Electrostatic discharge, ESD)防护需求,提出了一种用于泄放静电电荷的具有掺杂沟槽的GaN HEMT防护结构。通过在沟道层下方引入沟槽,提高了GaN HEMT在面对ESD事件时的电流泄放能力,同时将沟槽设... 为满足AlGaN/GaN HEMT器件的高静电放电(Electrostatic discharge, ESD)防护需求,提出了一种用于泄放静电电荷的具有掺杂沟槽的GaN HEMT防护结构。通过在沟道层下方引入沟槽,提高了GaN HEMT在面对ESD事件时的电流泄放能力,同时将沟槽设置在栅极与漏极之间,降低了沟槽对栅极控制的影响,保证了栅极的稳定性。对所提结构在ESD条件下的电流泄放能力进行了仿真验证,结果表明,相比于常规的GaN HEMT结构,沟槽结构GaN HEMT的泄放电流提高了32.7%,并且当沟槽与栅极距离大于0.3μm时,沟槽对阈值电压几乎没有影响。 展开更多
关键词 高电子迁移率晶体管 静电放电 高泄放电流 沟槽
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高压GGNMOS器件结构及工艺对ESD防护特性的影响
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作者 傅凡 万发雨 +1 位作者 汪煜 洪根深 《固体电子学研究与进展》 CAS 2024年第2期178-182,共5页
基于高压CMOS工艺,对高压栅极接地N型金属氧化物半导体(Highvoltagegrounded-gate N-metal-oxide-semiconductor, HV-GGNMOS)的静电放电(Electrostatic discharge, ESD)防护性能进行研究。由于强折回特性以及失效电流低,HV-GGNMOS在实... 基于高压CMOS工艺,对高压栅极接地N型金属氧化物半导体(Highvoltagegrounded-gate N-metal-oxide-semiconductor, HV-GGNMOS)的静电放电(Electrostatic discharge, ESD)防护性能进行研究。由于强折回特性以及失效电流低,HV-GGNMOS在实际应用中受到限制。本文通过计算机辅助设计技术仿真及传输线脉冲实验研究了工艺参数及版图结构对器件ESD防护性能的影响。结果表明,增加漂移区掺杂浓度可以有效提高器件失效电流;加强体接触和增加漂移区长度可以提高器件的维持电压,但失效电流会有所下降,占用版图面积也会更大。 展开更多
关键词 静电放电防护 栅极接地NMOS 维持电压 失效电流
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基于工业数据挖掘的ESD软失效分析
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作者 刘祖耀 张海贝 +3 位作者 颜志强 汪中博 司立娜 刘路 《现代电子技术》 北大核心 2024年第10期69-72,共4页
针对电子产品出货后出现ESD软失效而导致的退货现象,文章通过机器学习算法分析产品ICT电性能测试参数、生产线ESD防护监控数据和产品ESD软失效的相关性。集成算法模型经过优化,分类准确率达到0.88,可以用于量产电子产品的ESD软失效的识... 针对电子产品出货后出现ESD软失效而导致的退货现象,文章通过机器学习算法分析产品ICT电性能测试参数、生产线ESD防护监控数据和产品ESD软失效的相关性。集成算法模型经过优化,分类准确率达到0.88,可以用于量产电子产品的ESD软失效的识别和出货风险管控。同时,利用ESD防护监控点风险指数数据集可以提高产品ESD软失效的识别准确率(8.6%)。安装部署基于物联网技术的静电放电防护监控系统,对管控电子产品生产过程中的ESD软失效风险以及控制出货风险是很有帮助的,可以提高电子制造业防静电管控的智慧化水平。 展开更多
关键词 esd软失效 工业数据挖掘 在线测试仪(ICT) 电性能测试 静电放电 监控系统
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0.18μm CMOS工艺下的新型ESD保护电路设计 被引量:7
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作者 刘红侠 刘青山 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期867-870,926,共5页
为了有效地保护0.18μm CMOS工艺下箝位器件的栅极,设计了一款新型的电源和地之间的静电保护电路.该电路在检测电路部分加了一个NMOS反馈器件,同时在检测电路的下一级使用了动态传输结构.反馈器件能够提高电路中各器件工作状态的转换速... 为了有效地保护0.18μm CMOS工艺下箝位器件的栅极,设计了一款新型的电源和地之间的静电保护电路.该电路在检测电路部分加了一个NMOS反馈器件,同时在检测电路的下一级使用了动态传输结构.反馈器件能够提高电路中各器件工作状态的转换速度,使得保护电路能够及时关闭,避免箝位器件栅极电流保持过长时间,保护了箝位器件的栅极.此外,该电路采用0.18μm CMOS工艺下的普通器件,节省了电路的成本. 展开更多
关键词 静电放电 保护电路 反馈 动态传输
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小规模在线演化组合电路的ESD主动防护特性 被引量:3
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作者 满梦华 原亮 +3 位作者 巨政权 常小龙 施威 谢方方 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1077-1082,共6页
利用电磁环境效应实验与行为级失效建模方法,研究了在线演化组合逻辑电路的静电放电(ESD)主动防护特性。首先,基于内进化虚拟重配置技术和笛卡儿遗传编码思想,提出了一种门级在线可重构组合电路系统模型,结合非支配多目标演化算... 利用电磁环境效应实验与行为级失效建模方法,研究了在线演化组合逻辑电路的静电放电(ESD)主动防护特性。首先,基于内进化虚拟重配置技术和笛卡儿遗传编码思想,提出了一种门级在线可重构组合电路系统模型,结合非支配多目标演化算法和演化策略实现了组合电路的多目标演化设计方法。进而,参照国际电工委员会静电放电抗扰度测试标准分析了电路单元的受扰规律并建立了行为级失效模型。最后,选择2位乘法器、2位加法器及北卡罗莱纳微电子中心(MCNC)基准库中的小规模组合逻辑电路为对象,在多种ESD干扰环境下实验证明了演化电路具有高可靠和强容错的主动防护特性。 展开更多
关键词 电磁防护仿生 静电放电(esd) 组合逻辑 演化电路 主动防护
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几种应用于触摸感应电路的ESD保护结构设计 被引量:4
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作者 居水荣 陆建恩 张海磊 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期254-258,278,共6页
电容式触摸感应检测按键电路是一类对静电特别敏感的电路,因此静电放电(ESD)保护结构的选择问题对这一类电路显得特别重要。一方面要确保所选择的ESD保护结构有足够的抗静电能力,另一方面这种ESD保护结构又不能使芯片的面积和成本增加太... 电容式触摸感应检测按键电路是一类对静电特别敏感的电路,因此静电放电(ESD)保护结构的选择问题对这一类电路显得特别重要。一方面要确保所选择的ESD保护结构有足够的抗静电能力,另一方面这种ESD保护结构又不能使芯片的面积和成本增加太多,基于此要求,介绍了3种应用在电容式触摸感应检测按键电路中的ESD保护结构。主要描述了这3种结构的电路形式和版图布局,着重阐述了为满足电容式触摸感应检测按键电路的具体要求而对这3种结构所作的改进。列出了这3种改进过后的ESD保护结构的特点、所占用芯片面积以及抗静电能力测试结果的比较。结果表明,经过改进后的3种ESD保护结构在保护能力、芯片面积利用率以及可靠性等方面都有了非常好的提升。 展开更多
关键词 静电放电(esd)保护结构 触摸感应检测按键电路 可控硅整流器 全芯片esd 保护 二极管加电阻esd保护
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90nm CMOS工艺下电压触发的ESD检测电路 被引量:2
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作者 杨兆年 刘红侠 +1 位作者 朱嘉 费晨曦 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期54-60,共7页
提出两种90nm 1VCMOS工艺下电压触发的静电放电检测电路.电压触发的静电检测电路避免了纳米级工艺中的MOS电容栅极漏电问题.该检测电路包含一个反馈回路,提高了检测电路的触发效率,同时增加了反馈关断机制,在芯片工作时检测电路由于某... 提出两种90nm 1VCMOS工艺下电压触发的静电放电检测电路.电压触发的静电检测电路避免了纳米级工艺中的MOS电容栅极漏电问题.该检测电路包含一个反馈回路,提高了检测电路的触发效率,同时增加了反馈关断机制,在芯片工作时检测电路由于某些特殊因素误触发后,仍然可以自行关断,而不会进入闩锁状态.在3V静电放电仿真时,该电路能产生28mA触发电流,以开启箝位器件来泄放静电电荷.在25℃正常电压下工作时,漏电流仅为42(45)nA.仿真结果表明,该检测电路可成功用于纳米级CMOS工艺的集成电路静电保护. 展开更多
关键词 反馈 检测电路 静电放电 电压触发
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CMOS集成电路中ESD保护技术研究 被引量:3
13
作者 王翠霞 许维胜 +2 位作者 余有灵 吴启迪 范学峰 《现代电子技术》 2008年第8期1-3,共3页
分析ESD失效的原因和失效模式,针对亚微米CMOS工艺对器件ESD保护能力的降低,从工艺、器件、电路三个层次对提高ESD保护能力的设计思路进行论述。工艺层次上通过增加ESD注入层和硅化物阻挡层实现ESD能力的提高;器件方面可针对电路的特点... 分析ESD失效的原因和失效模式,针对亚微米CMOS工艺对器件ESD保护能力的降低,从工艺、器件、电路三个层次对提高ESD保护能力的设计思路进行论述。工艺层次上通过增加ESD注入层和硅化物阻挡层实现ESD能力的提高;器件方面可针对电路的特点,选择合适的器件(如MOS,SCR,二极管及电阻)达到电路需要的ESD保护能力;电路方面采用栅耦和实现功能较强的ESD保护。 展开更多
关键词 静电放电 失效模式 esd保护电路 栅耦合
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LDMOS-SCR ESD器件漂移区长度对器件性能的影响 被引量:2
14
作者 鄢永明 曾云 +1 位作者 夏宇 张国梁 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期572-578,共7页
采用软件仿真一系列的横向扩散金属氧化物半导体(Laterally diffused metal oxide semiconductor,LDMOS)可控硅(Silicon controlled rectifier,SCR)静电放电(Electrostatic discharge,ESD)保护器件,获取工作状态的I-V曲线。结果表明,随... 采用软件仿真一系列的横向扩散金属氧化物半导体(Laterally diffused metal oxide semiconductor,LDMOS)可控硅(Silicon controlled rectifier,SCR)静电放电(Electrostatic discharge,ESD)保护器件,获取工作状态的I-V曲线。结果表明,随着漂移区间距缩小,单位面积的失效电流增大,器件的ESD保护水平提高,但器件的维持电压减小,器件的鲁棒性降低。仿真提取关键点的少数载流子浓度、电流密度、电压强度等电学特性,根据采样结果和理论分析,内部载流子输运能力增强,但导通电阻无明显变化是该现象的内在原因。采用0.5μm 5V/18V CDMOS(Complementary and double-diffusion MOS,互补型MOS和双扩散型MOS集成)工艺流片并测试器件,测试结果证实了仿真结论。为了提高器件的失效电流且不降低维持电压,利用忆阻器无源变阻的特性,提出了一种新型的LDMOS-SCR ESD保护器件(M-ESD器件),理论分析表明,该器件内部忆阻器与寄生晶体管组成的系统能够有效地协同工作,在不增大芯片面积和不降低维持电压的情况下,使器件的失效电流增加,提高器件保护水平。 展开更多
关键词 静电放电保护 静电放电鲁棒性 可控硅 闩锁 维持电压 失效电流
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一种新的ESD防护器件的多脉冲TLP仿真方法 被引量:3
15
作者 丁扣宝 黄大海 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1016-1018,共3页
提出了一种新的集成电路ESD防护器件的TLP仿真方法,该方法类似于实际的TLP测量过程,在器件结构上施加一系列电流脉冲,获得相应的电压-时间曲线。分别截取每个电流脉冲及其电压响应70%~90%部分的平均值,取得的每一对电压和电流平均值作... 提出了一种新的集成电路ESD防护器件的TLP仿真方法,该方法类似于实际的TLP测量过程,在器件结构上施加一系列电流脉冲,获得相应的电压-时间曲线。分别截取每个电流脉冲及其电压响应70%~90%部分的平均值,取得的每一对电压和电流平均值作为I-V曲线上的一点,从而得到电流-电压特性曲线。在此基础上,不仅可得到触发电压Vt1和维持电压Vh,而且可以获取二次击穿电流It2。对LSCR的仿真结果表明仿真结果与测试结果符合的很好。 展开更多
关键词 静电放电 仿真 多脉冲
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ESD防护控制的一些看法 被引量:4
16
作者 徐金华 刘光斌 余志勇 《舰船电子工程》 2005年第5期33-37,共5页
通过对现行静电放电防护方案的分析,找出了这些方案的缺陷:(1)电气应力与静电放电区分不清;(2)系统未有效识别。指出了确立ESD防护方案的条件:(1)明确系统的防护等级;(2)遵从各类标准的性能指标要求;(3)实施ESD管理。结合工业生产的实... 通过对现行静电放电防护方案的分析,找出了这些方案的缺陷:(1)电气应力与静电放电区分不清;(2)系统未有效识别。指出了确立ESD防护方案的条件:(1)明确系统的防护等级;(2)遵从各类标准的性能指标要求;(3)实施ESD管理。结合工业生产的实际情况,从防护等级的确立、数据的获取、装置的监控、防护措施的确定以及防护方案的实施五个方面具体讨论了工业生产中的ESD防护;从包装材料的筛选、包装的检查、包装标注和测试三个层次分析了ESD防护包装的具体实现;从工作面、工作间的测试和接地的有效搭接三个方面研究了ESD的防护控制。 展开更多
关键词 静电放电 静电防护包装 静电防护 静电控制
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功率快恢复二极管反偏ESD机理分析 被引量:2
17
作者 魏峰 吴郁 +6 位作者 周新田 周东海 吴立成 贾云鹏 胡冬青 金锐 刘钺杨 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第8期629-634,共6页
功率半导体器件静电放电(ESD)的可靠性在应用中至关重要,其抗ESD的机理需深入研究。采用一种符合GB/T 17626.2标准的简明分段线性电流源,对功率快恢复二极管(FRD)反偏ESD过程进行仿真计算。基于器件外端电压波形经历过冲、负阻和振荡以... 功率半导体器件静电放电(ESD)的可靠性在应用中至关重要,其抗ESD的机理需深入研究。采用一种符合GB/T 17626.2标准的简明分段线性电流源,对功率快恢复二极管(FRD)反偏ESD过程进行仿真计算。基于器件外端电压波形经历过冲、负阻和振荡以及平缓发展三个阶段,分析了器件内部相应的一系列复杂变化。结果表明:器件内部的"过耗尽"、雪崩注入、载流子及电场分布涨落等变化,最终导致电流在pn结拐角处形成局部集中。最后,分析了器件结构参数对抗ESD能力的影响。 展开更多
关键词 静电放电(esd) 快恢复二极管(FRD) 人体模型(HBM) 雪崩注入 临界场 背景掺杂
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IEC 61000-4-2中ESD间接放电实验一致性研究 被引量:1
18
作者 吴勇 刘国红 +2 位作者 赵纪华 王阳 贺本创 《装备环境工程》 CAS 2010年第5期160-164,共5页
国际电工委员会标准IEC 61000-4-2:2001修改了对位于受试设备下方的水平耦合板施加放电的试验方法。按照新的试验方法对3种不同厂商生产的静电放电模拟器在水平耦合板上产生的电场和磁场的一致性进行了研究比较。实验结果表明,距离放电... 国际电工委员会标准IEC 61000-4-2:2001修改了对位于受试设备下方的水平耦合板施加放电的试验方法。按照新的试验方法对3种不同厂商生产的静电放电模拟器在水平耦合板上产生的电场和磁场的一致性进行了研究比较。实验结果表明,距离放电点较近时,不同模拟器之间产生的场的差异很大,而距离放电点较远时,不同模拟器之间的差异变小,可以通过增大放电间距来改善不同模拟器之间的一致性;提高放电电压,可使不同模拟器之间的差异进一步减少。 展开更多
关键词 静电放电 间接放电 水平耦合板 esd模拟器
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带ESD保护的2.4GHz低噪声放大器的分析与设计 被引量:3
19
作者 张浩 李智群 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期403-409,共7页
分析了静电放电(ESD)保护对源极电感负反馈低噪声放大器(LNA)的输入阻抗匹配和噪声匹配的影响。给出了带ESD保护的低噪声放大器在功耗限定的条件下同时满足功率匹配和噪声匹配的优化方法,基于该方法,采用0.18μm RF CMOS工艺设计了应用... 分析了静电放电(ESD)保护对源极电感负反馈低噪声放大器(LNA)的输入阻抗匹配和噪声匹配的影响。给出了带ESD保护的低噪声放大器在功耗限定的条件下同时满足功率匹配和噪声匹配的优化方法,基于该方法,采用0.18μm RF CMOS工艺设计了应用于无线传感网(WSN)的2.4GHz低噪声放大器。测试结果表明,低噪声放大器噪声系数(NF)为1.69dB,增益为15.2 dB,输入1 dB压缩点和输入三阶截点(IIP3)分别为-8dBm和1dBm,在1.8V电源电压下消耗电流3.1mA。 展开更多
关键词 低噪声放大器(LNA) 静电放电保护(esd) 噪声优化 无线传感网(WSN) 互补金属氧化物半导体(CMOS)
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空气ESD辐射电磁场和放电间隙区分布研究 被引量:2
20
作者 贺其元 王俊茂 施荣绪 《无线电工程》 2011年第9期44-46,共3页
在固定放电空气间隙条件,利用电流靶和半圆环天线对空气静电放电(ESD)的辐射电磁场进行了探测和记录,根据空气ESD辐射电磁场的特征研究了空气ESD的放电特性和放电间隙区分布规律。提出了空气ESD存在"增长间隙区"、"跌落... 在固定放电空气间隙条件,利用电流靶和半圆环天线对空气静电放电(ESD)的辐射电磁场进行了探测和记录,根据空气ESD辐射电磁场的特征研究了空气ESD的放电特性和放电间隙区分布规律。提出了空气ESD存在"增长间隙区"、"跌落间隙区"、"平坦间隙区"和"零放电间隙区"4个放电间隙区,放电间隙区的分布主要与放电电压的大小相关,且在高电压时各放电间隙区分布更明显;一定电极接近速度下的空气ESD与一定放电间隙区的空气ESD相对应。 展开更多
关键词 辐射电磁场 静电放电(esd) 近场 远场 放电间隙区
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