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测量时延在线估计与批间控制器协同设计
被引量：
5
1
作者
万莉
谭斐
潘天红
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期92-97,共6页
批间控制是半导体批次生产过程中常用算法,其关键问题在于能够及时获取上一批次的制程输出,受测量手段及其成本限制,实际的生产制程很难满足这一要求.为此,本文提出一种基于贝叶斯统计分析的测量时延估计算法.在分析晶圆质量与实测时延...
批间控制是半导体批次生产过程中常用算法,其关键问题在于能够及时获取上一批次的制程输出,受测量手段及其成本限制,实际的生产制程很难满足这一要求.为此,本文提出一种基于贝叶斯统计分析的测量时延估计算法.在分析晶圆质量与实测时延、估计时延、以及制程漂移之间的逻辑关系的基础上,并将晶圆的质量信息按加工时间顺序划分两个相邻的滚动时间窗口.基于贝叶斯后验概率函数,及时捕获后一个滚动时间窗口内过程输出发生漂移的概率,从而判断是否有测量时延发生,并估算该时延大小.在此基础上,给出批间控制器的测量时延补偿策略,及时调整制程的控制量,提高晶圆的加工品质.仿真结果验证所提出算法的有效性.
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关键词
批间控制
双指数加权滑动平均
时延
贝叶斯理论
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职称材料
基于变折扣因子EWMA的混合产品批间控制方法
被引量：
2
2
作者
侯明阳
郑英
+2 位作者
艾兵
郑燕
张杰
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期1137-1142,共6页
批间(run-to-run,简称R2R)控制现今已被广泛用于半导体生产行业.指数加权移动平均(exponet weighted moving average,EWMA)是R2R控制的一种重要算法.折扣因子是EWMA控制期的主要参数.本文在模型中考虑了实际生产过程中混合产品少量多样...
批间(run-to-run,简称R2R)控制现今已被广泛用于半导体生产行业.指数加权移动平均(exponet weighted moving average,EWMA)是R2R控制的一种重要算法.折扣因子是EWMA控制期的主要参数.本文在模型中考虑了实际生产过程中混合产品少量多样的特点,引入了基于产品的变折扣因子EWMA控制算法,解决了产品切换时制程输出收敛速度过慢的问题.变折扣因子的引入提高了制程输出的响应速率而并不影响制程输出的稳定性.对实际过程的模拟仿真检验了该控制算法的可行性和优越性.
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关键词
批间控制
指数加权移动平均
折扣因子
基于产品的控制
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职称材料
题名
测量时延在线估计与批间控制器协同设计
被引量：
5
1
作者
万莉
谭斐
潘天红
机构
江苏大学电气信息工程学院
出处
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期92-97,共6页
基金
国家自然科学基金(61273142)
江苏省六大人才高峰(2012–DZXX–045)
江苏省高校优势学科建设工程项目(PAPD)资助~~
文摘
批间控制是半导体批次生产过程中常用算法,其关键问题在于能够及时获取上一批次的制程输出,受测量手段及其成本限制,实际的生产制程很难满足这一要求.为此,本文提出一种基于贝叶斯统计分析的测量时延估计算法.在分析晶圆质量与实测时延、估计时延、以及制程漂移之间的逻辑关系的基础上,并将晶圆的质量信息按加工时间顺序划分两个相邻的滚动时间窗口.基于贝叶斯后验概率函数,及时捕获后一个滚动时间窗口内过程输出发生漂移的概率,从而判断是否有测量时延发生,并估算该时延大小.在此基础上,给出批间控制器的测量时延补偿策略,及时调整制程的控制量,提高晶圆的加工品质.仿真结果验证所提出算法的有效性.
关键词
批间控制
双指数加权滑动平均
时延
贝叶斯理论
Keywords
run-to-run control （R2R）
double exponent weighted moving average （d-ewma）
metrology delay
Bayesian theory
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于变折扣因子EWMA的混合产品批间控制方法
被引量：
2
2
作者
侯明阳
郑英
艾兵
郑燕
张杰
机构
华中科技大学控制科学与工程系
出处
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期1137-1142,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(60604030)
文摘
批间(run-to-run,简称R2R)控制现今已被广泛用于半导体生产行业.指数加权移动平均(exponet weighted moving average,EWMA)是R2R控制的一种重要算法.折扣因子是EWMA控制期的主要参数.本文在模型中考虑了实际生产过程中混合产品少量多样的特点,引入了基于产品的变折扣因子EWMA控制算法,解决了产品切换时制程输出收敛速度过慢的问题.变折扣因子的引入提高了制程输出的响应速率而并不影响制程输出的稳定性.对实际过程的模拟仿真检验了该控制算法的可行性和优越性.
关键词
批间控制
指数加权移动平均
折扣因子
基于产品的控制
Keywords
run-to-run control
exponent
weighted
moving
average
discount factor
product-based control
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
测量时延在线估计与批间控制器协同设计
万莉
谭斐
潘天红
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
5
在线阅读
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职称材料
2
基于变折扣因子EWMA的混合产品批间控制方法
侯明阳
郑英
艾兵
郑燕
张杰
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
2
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职称材料
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