-
题名高精度大尺寸硅晶片的双面研磨抛光机改进设计
被引量：6
- 1
-
-
作者
陈毓
胡晓珍
李伟
-
机构
浙江海洋学院机电工程学院
浙江工业大学机械工程学院
-
出处
《浙江海洋学院学报（自然科学版）》
CAS
2010年第6期586-590,共5页
-
文摘
随着IC设计技术和制造技术的发展和进步,集成电路芯片的集成度在不断提高,芯片密度呈指数增长趋势。硅晶片作为集成电路芯片的主要材料,尺寸越来越大。在分析国内双面抛光机典型机型原理和特点的基础上,针对运用于大尺寸甚至是直径400 mm的硅晶片,提出高精度双面研磨抛光机在机械结构和控制系统等方面的改进措施,很好地解决了国内目前对大尺寸硅晶片加工难、加工精度不高等难题。
-
关键词
大尺寸硅晶片
高精度
双面研磨抛光机
改进设计
-
Keywords
large-size silicon wafer
high-prcision
double-sided grinding and polishing machine
upgrading design
-
分类号
TG580.692
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TG591
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
-
-
题名CBN砂轮在双面研磨机上的应用
被引量：2
- 2
-
-
作者
路玮琳
张爱民
王新宇
-
机构
新乡职业技术学院
平顶山市质量技术监督检验测试中心
-
出处
《轴承》
北大核心
2015年第9期19-20,63,共3页
-
文摘
CBN砂轮推动了研磨加工的进程,分析CBN砂轮的特性及优势,重点介绍了CBN砂轮在双面研磨机上应用时的选择和修整方法,并通过实例验证了在套圈端面研磨加工中的应用效果。
-
关键词
滚动轴承
双面研磨机
CBN砂轮
研磨效率
-
Keywords
rolling bearing
double - sided grinding machine
CBN grinding wheel
grinding efficiency
-
分类号
TH133.33
[机械工程—机械制造及自动化]
TH580.6
[机械工程]
-
-
题名圆柱滚子端面研磨机行星轮的设计改进
被引量：1
- 3
-
-
作者
王晔
王强
孙慧广
王玉红
-
机构
中航工业哈尔滨轴承有限公司
中国人民解放军驻哈尔滨轴承集团公司军事代表室
-
出处
《轴承》
北大核心
2016年第10期19-21,共3页
-
文摘
分析圆柱滚子轴承端面研磨机行星轮原设计方法中存在的尺寸计算复杂、结构设计不合理、行星轮与砂轮盘粘连等问题。通过对行星轮进行设计改进,简化了计算方法,省去了隔套,避免了行星轮对砂轮盘造成的损伤。
-
关键词
圆柱滚子
双面研磨机
行星轮
砂轮盘
-
Keywords
cylindrical roller
double - sided grinding machine
planetary wheel
grinding wheel disc
-
分类号
TH133.332
[机械工程—机械制造及自动化]
TG580.64
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
-
-
题名一种车桥轴头双面加工中心设备的研发与应用
被引量：1
- 4
-
-
作者
字立敏
周星兴
崔岗卫
徐建平
沈瑞林
-
机构
通用技术集团昆明机床股份有限公司
-
出处
《机械设计》
CSCD
北大核心
2023年第S01期116-119,共4页
-
文摘
车桥桥壳作为载重汽车的关键部件,其规格品种较多,产品市场需求量大及加工尺寸要求较高,对车桥生产单位的生产效率和生产质量都有较高的要求。文中介绍了一种根据用户需求,专业设计的多品种车桥两端轴头以车代磨的双面卧式加工中心设备,并配置有在机检测设备,对产品加工质量进行在机检验和质量控制,大大提高了车桥两端轴头加工的效率和加工质量,以满足用户的高效、高质量加工要求。
-
关键词
桥壳轴头
双面卧式加工中心
以车代磨
高效加工
-
Keywords
axle housing shaft head
double sided horizontal machining center
turning instead of grinding
efficient machining
-
分类号
TH132
[机械工程—机械制造及自动化]
-
