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电子束引发二乙烯基醚阳离子聚合机理的初步研究
1
作者
童永彭
姚思德
+2 位作者
俞方华
郑万辉
吴桂刚
《辐射研究与辐射工艺学报》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第3期143-147,共5页
应用１０ＭｅＶ电子脉冲辐解研究了二乙烯基醚（ＤＶＥ－３）－铁盐（ＩＲＧＡＣＵＲＥ２６１）体系的阳离子聚合的瞬态过程。辐解后瞬间（０．１～８０μ在３８０ｎｍ处出现一个明显的倒峰，而相应的三缩二乙二醇二丙烯酸脂（ＴＥＧＤ...
应用１０ＭｅＶ电子脉冲辐解研究了二乙烯基醚（ＤＶＥ－３）－铁盐（ＩＲＧＡＣＵＲＥ２６１）体系的阳离子聚合的瞬态过程。辐解后瞬间（０．１～８０μ在３８０ｎｍ处出现一个明显的倒峰，而相应的三缩二乙二醇二丙烯酸脂（ＴＥＧＤＡ）－铁盐体系经辐解在３８０ｕｍ处未出现明显变化，这表明富电子云双键的乙烯基醚类单体能与铁盐络合。经电子束辐照分解形成阳离子而引发聚合，丙烯酸酯则不易经过这一途径形成阳离子聚合。在氮气或在空气或在氧气饱和情况下，乙烯基醚（ＤＶＥ－３）－铁盐体系经脉冲辐解在３８０ｎｍ处的瞬态吸收值逐渐变小。这表明氧分子能与阳离子结合形成过氧阳离子继而引发聚合。
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关键词
电子脉冲辐解
二乙烯基醚
阳离子聚合
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职称材料
一种新型深紫外正型光致抗蚀剂材料的研究
被引量：
2
2
作者
褚战星
程龙
+1 位作者
王文君
王力元
《感光科学与光化学》
EI
CSCD
2006年第5期377-381,共5页
通过松香酸和丙烯酸的Diels-Alder反应得到了一种二酸———丙烯海松酸.丙烯海松酸有大的脂环结构和良好的成膜性,在固体膜层中,它可以和二乙烯基醚,如1,3-二乙烯氧基乙氧基苯,在加热条件下(80℃以上)发生反应,产物在稀碱水中难溶.这样...
通过松香酸和丙烯酸的Diels-Alder反应得到了一种二酸———丙烯海松酸.丙烯海松酸有大的脂环结构和良好的成膜性,在固体膜层中,它可以和二乙烯基醚,如1,3-二乙烯氧基乙氧基苯,在加热条件下(80℃以上)发生反应,产物在稀碱水中难溶.这样形成的产物在光产酸剂产生的强酸催化下,在温度高于100℃时,可以迅速分解,从而变成稀碱水易溶.因此,用此二酸、二乙烯基醚和产酸剂可组成一种正型的光致抗蚀剂,当用254 nm的低压汞灯曝光时,其感度在30 mJ/cm2以下.
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关键词
正型光致抗蚀剂
二乙烯基醚
丙烯海松酸
光产酸剂
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职称材料
题名
电子束引发二乙烯基醚阳离子聚合机理的初步研究
1
作者
童永彭
姚思德
俞方华
郑万辉
吴桂刚
机构
中国科学院核分析开放实验室
出处
《辐射研究与辐射工艺学报》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第3期143-147,共5页
基金
上海市自然科学基金
文摘
应用１０ＭｅＶ电子脉冲辐解研究了二乙烯基醚（ＤＶＥ－３）－铁盐（ＩＲＧＡＣＵＲＥ２６１）体系的阳离子聚合的瞬态过程。辐解后瞬间（０．１～８０μ在３８０ｎｍ处出现一个明显的倒峰，而相应的三缩二乙二醇二丙烯酸脂（ＴＥＧＤＡ）－铁盐体系经辐解在３８０ｕｍ处未出现明显变化，这表明富电子云双键的乙烯基醚类单体能与铁盐络合。经电子束辐照分解形成阳离子而引发聚合，丙烯酸酯则不易经过这一途径形成阳离子聚合。在氮气或在空气或在氧气饱和情况下，乙烯基醚（ＤＶＥ－３）－铁盐体系经脉冲辐解在３８０ｎｍ处的瞬态吸收值逐渐变小。这表明氧分子能与阳离子结合形成过氧阳离子继而引发聚合。
关键词
电子脉冲辐解
二乙烯基醚
阳离子聚合
Keywords
EB pulse radiolysis,
divinyl ether
, Cationic polymerization
分类号
O632.32 [理学—高分子化学]
O631.5 [理学—高分子化学]
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职称材料
题名
一种新型深紫外正型光致抗蚀剂材料的研究
被引量：
2
2
作者
褚战星
程龙
王文君
王力元
机构
北京师范大学化学学院
北京化学试剂研究所
出处
《感光科学与光化学》
EI
CSCD
2006年第5期377-381,共5页
基金
国家"十五""863"专项子课题(2002AA3Z1330-2)
文摘
通过松香酸和丙烯酸的Diels-Alder反应得到了一种二酸———丙烯海松酸.丙烯海松酸有大的脂环结构和良好的成膜性,在固体膜层中,它可以和二乙烯基醚,如1,3-二乙烯氧基乙氧基苯,在加热条件下(80℃以上)发生反应,产物在稀碱水中难溶.这样形成的产物在光产酸剂产生的强酸催化下,在温度高于100℃时,可以迅速分解,从而变成稀碱水易溶.因此,用此二酸、二乙烯基醚和产酸剂可组成一种正型的光致抗蚀剂,当用254 nm的低压汞灯曝光时,其感度在30 mJ/cm2以下.
关键词
正型光致抗蚀剂
二乙烯基醚
丙烯海松酸
光产酸剂
Keywords
positive photoresist
divinyl ether
acrylpimaric acid
photoacid generator
分类号
TQ577 [化学工程—精细化工]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电子束引发二乙烯基醚阳离子聚合机理的初步研究
童永彭
姚思德
俞方华
郑万辉
吴桂刚
《辐射研究与辐射工艺学报》
CAS
CSCD
北大核心
1996
0
在线阅读
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职称材料
2
一种新型深紫外正型光致抗蚀剂材料的研究
褚战星
程龙
王文君
王力元
《感光科学与光化学》
EI
CSCD
2006
2
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职称材料
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