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SnO_2气体传感器的复阻抗谱研究
被引量：
3
1
作者
田敬民
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第1期113-118,共6页
本文研究了静电喷雾高温分解工艺制备的ＳｎＯ２薄膜气体传感器在不同温度与气氛条件下的复阻抗谱，根据等效电路模型与复阻抗谱的变化，分析了电导调制机构与气敏机理，基于气体在晶界与表面吸附效应提出了气体敏感的物理化学模型．
关键词
二氧化锡
复阻抗谱
气体传感器
敏感性
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职称材料
题名
SnO_2气体传感器的复阻抗谱研究
被引量：
3
1
作者
田敬民
机构
西安理工大学微电子技术教研室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第1期113-118,共6页
文摘
本文研究了静电喷雾高温分解工艺制备的ＳｎＯ２薄膜气体传感器在不同温度与气氛条件下的复阻抗谱，根据等效电路模型与复阻抗谱的变化，分析了电导调制机构与气敏机理，基于气体在晶界与表面吸附效应提出了气体敏感的物理化学模型．
关键词
二氧化锡
复阻抗谱
气体传感器
敏感性
Keywords
tin dioxide
complex impedance spectroscopy
,
electrostatic spray pyrolysis prooes
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
SnO_2气体传感器的复阻抗谱研究
田敬民
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
3
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