期刊文献+
共找到31篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
化学力显微镜对自组装单分子膜的力滴定研究 被引量:4
1
作者 何会新 李春增 +3 位作者 王俊梅 张浩力 徐筱杰 刘忠范 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1997年第4期293-296,共4页
关键词 化学力显微镜 粘滞力 力滴定 自组装单分子膜
在线阅读 下载PDF
新型充Ar靶丸设计 被引量:11
2
作者 李波 张占文 +3 位作者 王朝阳 郑志坚 唐远明 陈银亮 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期57-60,共4页
从惯性约束聚变实验物理诊断需求出发,提出并分析了利用聚碳硅烷空心微球作为DT燃料容器实现扩散法充氩的可行性。初步实验研究表明,聚碳硅烷微球有望替代玻璃微球作为DT燃料容器用于内爆物理研究。
关键词 聚碳硅烷 氩气 靶丸 惯性约束聚变 实验研究 等离子体
在线阅读 下载PDF
微波辐射下秸秆纤维微观结构的变化 被引量:16
3
作者 邓华 李淳 +2 位作者 曾秋苑 孙蓉 敖宁建 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期336-340,346,共6页
利用原子力显微镜(AFM)对微波处理前后秸秆纤维表面的变化进行了研究,并结合XRD和FTIR研究了处理前后其化学结构及结晶形态的变化情况。结果表明,未经微波处理的秸秆纤维表面比较光滑,平均粗糙度(Ra)为(86.7±6.335)nm,均方根粗糙度... 利用原子力显微镜(AFM)对微波处理前后秸秆纤维表面的变化进行了研究,并结合XRD和FTIR研究了处理前后其化学结构及结晶形态的变化情况。结果表明,未经微波处理的秸秆纤维表面比较光滑,平均粗糙度(Ra)为(86.7±6.335)nm,均方根粗糙度(Rq)为(141.1±9.055)nm;经微波处理的秸秆纤维表面比较粗糙,并出现许多细小孔洞,其Ra为(445.0±28.14)nm,Rq为(558.9±33.458)nm,微波辐射处理前后秸秆纤维的表面形态差异较大。经微波辐射处理后,秸秆纤维在2θ=22.3°处的衍射峰移至21.8°,且峰宽稍有增加,在38.1°、44.3°、64.6°、78.9°处出现的4个衍射峰,除强度稍有增强,其峰形和位置与未经处理秸秆纤维的衍射峰基本一致,表明微波处理没有改变纤维的结晶形态。FTIR光谱表明,微波处理样中未产生新的官能团,但分子间氢键及分子内氢键发生变化。微波作用未引起秸秆纤维化学结构的变化。 展开更多
关键词 原子力显微镜 微波辐射 秸秆纤维 化学结构 结晶形态
在线阅读 下载PDF
活塞与活塞环表面稀土自润滑摩擦学改性研究 被引量:5
4
作者 于旭东 杨俊伟 +3 位作者 王成焘 黄震 THIEDE Kai-uwe 张文光 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期364-367,共4页
采用稀土自润滑表面处理技术对桑塔纳 JV汽油发动机活塞与活塞环表面进行处理 ,并对原机进行活塞与汽缸、活塞环端口的超小间隙改造 (配缸间隙 - 5~ 2μm,活塞环开口 15 0μm ) ,通过台架试验对超小间隙发动机抗拉缸性能和摩擦功耗进... 采用稀土自润滑表面处理技术对桑塔纳 JV汽油发动机活塞与活塞环表面进行处理 ,并对原机进行活塞与汽缸、活塞环端口的超小间隙改造 (配缸间隙 - 5~ 2μm,活塞环开口 15 0μm ) ,通过台架试验对超小间隙发动机抗拉缸性能和摩擦功耗进行了考察 ;通过原子力显微镜对活塞表面的微观形貌和摩擦力进行了测试 .结果表明 :经稀土自润滑处理后活塞与活塞环表面产生大量孔穴和大量直径为 6 0~ 12 0 nm的球形聚集物 ,该特征表面明显增强了活塞与活塞环的抗拉缸性能 ,降低了自润滑表面的摩擦力 。 展开更多
关键词 发动机 活塞 活塞环 超小间隙 稀土自润滑处理 摩擦学表面改性
在线阅读 下载PDF
原子分辨显微分析技术研究进展 被引量:6
5
作者 袁秉凯 陈鹏程 +3 位作者 仉君 程志海 裘晓辉 王琛 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1370-1384,共15页
非接触原子力显微技术(NC-AFM)近年来发展迅速.NC-AFM对单个分子的成像和谱学实现了原子分辨和单个化学键分辨.NC-AFM自身功能的拓展及其与不同探针技术的联用将为材料、物理、化学和生命科学有关的研究提供崭新的思路.本文首先介绍NC-... 非接触原子力显微技术(NC-AFM)近年来发展迅速.NC-AFM对单个分子的成像和谱学实现了原子分辨和单个化学键分辨.NC-AFM自身功能的拓展及其与不同探针技术的联用将为材料、物理、化学和生命科学有关的研究提供崭新的思路.本文首先介绍NC-AFM和qPlus传感器的基本原理,然后讨论原子尺度的相互作用力和短程力的精确测量,总结近年来NC-AFM在原子尺度的化学结构成像、化学识别、电子结构性质分析以及原子操纵技术中的研究进展,并讨论了开尔文探针力显微技术(KPFM)在局域接触势差(LCPD)测量方面的应用.最后展望了NC-AFM面临的挑战和发展机遇. 展开更多
关键词 扫描探针显微技术 非接触原子力显微技术 qPlus传感器 化学识别 原子操纵 电子结构 开尔文探针力显微技术
在线阅读 下载PDF
PECVD淀积氮化硅薄膜性质研究 被引量:44
6
作者 王晓泉 汪雷 +3 位作者 席珍强 徐进 崔灿 杨德仁 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期341-344,共4页
使用等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)在P型硅片上沉积了氮化硅(SiNx)薄膜,使用薄膜测试仪观察了薄膜的厚度、折射率和反射光谱,利用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM)观察了截面和表面形貌... 使用等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)在P型硅片上沉积了氮化硅(SiNx)薄膜,使用薄膜测试仪观察了薄膜的厚度、折射率和反射光谱,利用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM)观察了截面和表面形貌,使用傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)和能谱仪(EDX)分析了薄膜的化学结构和成分。最后,考察了薄膜在经过快速热处理过程后的热稳定性,并利用霍尔参数测试仪(Hall)比较了薄膜沉积前后载流子迁移率的变化。 展开更多
关键词 太阳电池 PECVD 氮化硅
在线阅读 下载PDF
碳纤维表面处理及其对碳纤维/聚芳基乙炔复合材料力学性能的影响 被引量:16
7
作者 刘丽 傅宏俊 +1 位作者 黄玉东 杨明 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2005年第2期59-62,共4页
聚芳基乙炔(PAA)是一种新型的热防护材料,但PAA为非极性树脂,作为基体材料使用时存在着化学结构惰性,不易润湿增强体———碳纤维(CF)的缺点。为此,本工作对CF采用表面氧化处理后接枝丙烯酸的改性方案,研究与非极性基体相匹配的界面特... 聚芳基乙炔(PAA)是一种新型的热防护材料,但PAA为非极性树脂,作为基体材料使用时存在着化学结构惰性,不易润湿增强体———碳纤维(CF)的缺点。为此,本工作对CF采用表面氧化处理后接枝丙烯酸的改性方案,研究与非极性基体相匹配的界面特性。结果表明,阳极氧化处理增加了纤维表面的极性官能团,提高了与丙烯酸的接枝反应能力,从而在碳纤维表面引入了与PAA相似的双键结构,有利于改善CF/PAA复合材料的界面结合,使碳纤维 /PAA复合材料的力学性能大幅度提高。 展开更多
关键词 聚芳基乙炔 碳纤维 阳极氧化 表面接枝 热防护复合材料
在线阅读 下载PDF
现代表面分析技术用于纤维表面研究的新进展 被引量:5
8
作者 张正健 胡惠仁 《中国造纸》 CAS 北大核心 2007年第12期53-58,共6页
阐述了原子力显微镜(AFM)、化学力显微镜(CFM)、X射线光电子能谱(XPS)、飞行时间二次离子质谱(ToF-SIMS)几种先进表面分析技术的基本原理以及用于纸浆纤维表面研究的新进展。
关键词 纤维表面 原子力显微镜 化学力显微镜 X射线光电子能谱 飞行时间二次离子质谱
在线阅读 下载PDF
多元醇还原制备纳米Co粉及其磁性的研究(英文) 被引量:7
9
作者 刘飚 官建国 +1 位作者 王琦 张清杰 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1122-1125,共4页
采用二价钴盐为前驱物,1,2-丙二醇为还原剂,用液相还原法制备了晶粒尺寸约为10~13nm、具有面心立方(β相)结构的纯度高、粒度均匀的纳米钴粉,运用XRD、TEM等分析方法对制备的纳米钴粉进行物相和结构形貌的表征,初步研究了多元醇法还原C... 采用二价钴盐为前驱物,1,2-丙二醇为还原剂,用液相还原法制备了晶粒尺寸约为10~13nm、具有面心立方(β相)结构的纯度高、粒度均匀的纳米钴粉,运用XRD、TEM等分析方法对制备的纳米钴粉进行物相和结构形貌的表征,初步研究了多元醇法还原Co纳米粉的反应机理.采用VSM对纳米钴粉进行磁学性能的表征.结果表明,所制备的纳米Co粉在室温下具有铁磁性,并且矫顽力不高(6.282×103A/m). 展开更多
关键词 纳米Co粉 多元醇 还原反应 制备方法 磁性
在线阅读 下载PDF
CMP抛光液对TiO_2薄膜表面粗糙度的影响 被引量:3
10
作者 张玉峰 王胜利 +3 位作者 刘玉岭 段波 李若津 杜旭涛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第11期841-845,共5页
采用自主配制的碱性抛光液对TiO2薄膜进行了化学机械抛光(CMP),研究了在TiO2薄膜CMP加工过程中,碱性抛光液中的SiO2磨料、螯合剂、表面活性剂的体积分数和抛光液pH值对TiO2薄膜表面粗糙度的影响,并进行了参数优化。实验结果表明,在一定... 采用自主配制的碱性抛光液对TiO2薄膜进行了化学机械抛光(CMP),研究了在TiO2薄膜CMP加工过程中,碱性抛光液中的SiO2磨料、螯合剂、表面活性剂的体积分数和抛光液pH值对TiO2薄膜表面粗糙度的影响,并进行了参数优化。实验结果表明,在一定的抛光条件下,选用SiO2磨料体积分数为20%、螯合剂体积分数为1.0%、非离子表面活性剂体积分数为5.0%和pH值为9.0的碱性抛光液,抛光后TiO2薄膜表面没有划痕等抛光缺陷,表面粗糙度为0.308 nm,TiO2薄膜去除速率为24 nm/min,在保证抛光速率的同时降低了TiO2薄膜表面粗糙度,满足工业化生产要求。 展开更多
关键词 二氧化钛薄膜 碱性抛光液 化学机械抛光(CMP) 表面粗糙度 原子力显微镜 (AFM)
在线阅读 下载PDF
化学力滴定技术:一种新的测定自组装膜表面解离常数的方法 被引量:1
11
作者 张华 何会新 刘忠范 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第1期53-57,共5页
本文介绍了一种新的测定自组装膜表面官能团解离常数的方法—化学力滴定技术。利用这种新方法,测定了自组装膜表面酸碱基团的解离常数。与接触角滴定相比,化学力滴定技术具有高度的空间局域性,反映了自组装膜表面官能团的局域解离性质。
关键词 化学力滴定 化学力显微镜 自组装膜 官能团
在线阅读 下载PDF
利用化学力显微技术直接测定化学键的强度 被引量:2
12
作者 何会新 陈海峰 +2 位作者 张华 陈泳 刘忠范 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第1期65-68,共4页
本文提出了利用化学力显微镜直接测量化学键强度的实验方法。其基本思想是设法使待测化学键形成于探针与样品之间,这可以通过适当的分子设计并对探针和基底进行修饰来实现。然后在成键的环境下(如液相、气相或光照等)测量探针与样品... 本文提出了利用化学力显微镜直接测量化学键强度的实验方法。其基本思想是设法使待测化学键形成于探针与样品之间,这可以通过适当的分子设计并对探针和基底进行修饰来实现。然后在成键的环境下(如液相、气相或光照等)测量探针与样品间的粘附力,并对其进行统计处理,,即可计算出键能。本文模拟硫醇在金表面上自组装膜的成膜过程,即在无水乙醇溶液中现场检测镀金探针与巯基为末端的自组装膜间的粘附力。然后用JKR粘滞理论计算实际成键个数。由此测得Au-S键能为34±5kcal/mol,与理论推算值基本接近。 展开更多
关键词 化学力显微镜 键能 自组装膜 化学键
在线阅读 下载PDF
p-Si基PTCDA生长模式的AFM和XPS研究 被引量:3
13
作者 宋珍 刘凤敏 +2 位作者 欧谷平 甘润今 张福甲 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1041-1044,共4页
对有机/无机光电探测器PTCDA/p-Si样品的表面进行得AFM扫描看出,PTCDA呈岛状生长,各岛成圆丘状,岛的分布不均匀,PTCDA层中存在大量缺陷。原因是p-Si(100)衬底的表面原子悬挂键的作用,使硅原子横向移动满足键合需要形成台阶和其它缺陷引... 对有机/无机光电探测器PTCDA/p-Si样品的表面进行得AFM扫描看出,PTCDA呈岛状生长,各岛成圆丘状,岛的分布不均匀,PTCDA层中存在大量缺陷。原因是p-Si(100)衬底的表面原子悬挂键的作用,使硅原子横向移动满足键合需要形成台阶和其它缺陷引起的。将样品表面的XPS全谱及精细谱与表面的AFM扫描图进行对比分析,得出PTCDA在p-Si基底上的生长模式,即:PTCDA首先在缺陷处聚集,形成许多三维岛状的PTCDA晶核,然后在PTC-DA离域大π键的作用下,相邻的两层PTCDA分子存在一定程度的交叠,最终形成岛状结构。与硅衬底原子结合的过程为:苝环与缺陷处的Si原子结合,而酸酐基团与表面完整处的Si结合。结合时,苝环结构保持不变,而酸酐基团与Si发生化学反应,使酸酐中的C O键断开,形成O Si C和硅氧化物。对PTCDA/p-Si样品的界面的XPS全扫描谱和精细图谱进行分析后,进一步验证了PTCDA在p-Si基底上的生长模式。 展开更多
关键词 PTCDA 生长模式 AFM XPS
在线阅读 下载PDF
Al诱导a-Si:H薄膜的晶化 被引量:9
14
作者 祁菁 金晶 +1 位作者 胡海龙 贺德衍 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期57-60,共4页
采用等离子体化学气相沉积方法在镀Al玻璃及单晶Si衬底上制备了氢化非晶硅 (a Si:H)薄膜 ,研究了样品在不同的热处理过程中Al对其晶化过程的影响。X射线衍射测量发现 ,由于Al的存在使a Si:H的晶化温度大幅度降低 ,并得到了有强烈 (111)... 采用等离子体化学气相沉积方法在镀Al玻璃及单晶Si衬底上制备了氢化非晶硅 (a Si:H)薄膜 ,研究了样品在不同的热处理过程中Al对其晶化过程的影响。X射线衍射测量发现 ,由于Al的存在使a Si:H的晶化温度大幅度降低 ,并得到了有强烈 (111)结晶取向的多晶Si薄膜。X射线光电子能谱分析表明 ,热处理过程中Al向Si薄膜表面的扩散降低了Si的成核温度。 展开更多
关键词 A-SI:H薄膜 SI衬底 非晶硅 幅度 等离子体化学气相沉积 晶化 单晶 结晶取向 热处理过程 成核
在线阅读 下载PDF
AlN缓冲层对Si基GaN外延薄膜性质的影响 被引量:2
15
作者 陈翔 邢艳辉 +5 位作者 韩军 霍文娟 钟林健 崔明 范亚明 张宝顺 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期727-731,共5页
采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)方法制备了不同AlN缓冲层厚度的GaN样品,研究了AlN缓冲层厚度对GaN外延层的应力、表面形貌和晶体质量的影响。研究结果表明:厚度为15 nm的AlN缓冲层不仅可以有效抑制Si扩散,而且还给GaN外延层提... 采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)方法制备了不同AlN缓冲层厚度的GaN样品,研究了AlN缓冲层厚度对GaN外延层的应力、表面形貌和晶体质量的影响。研究结果表明:厚度为15 nm的AlN缓冲层不仅可以有效抑制Si扩散,而且还给GaN外延层提供了一个较大的压应力,避免GaN薄膜出现裂纹。在该厚度AlN缓冲层上制备的GaN薄膜表面光亮、无裂纹,受到的张应力为0.3 GPa,(0002)和(1012)面的高分辨X射线衍射摇摆曲线峰值半高宽分别为536 arcsec和594 arcsec,原子力显微镜测试得到表面粗糙度为0.2 nm。 展开更多
关键词 ALN缓冲层 GAN SI衬底 张应力 MOCVD
在线阅读 下载PDF
MOCVD生长温度控制p型InGaN形貌和电学特性提高LED光功率 被引量:1
16
作者 韩军 邢艳辉 +3 位作者 邓军 朱延旭 徐晨 沈光地 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1227-1229,共3页
利用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上生长了InGaN∶Mg薄膜,通过改变外延生长温度优化p型InGaN∶Mg表面形貌和电学特性。在800℃,InGaN的空穴浓度为1.9×1019cm-3,电阻率较低,通过原子力显微镜观察到粗化的样品表... 利用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上生长了InGaN∶Mg薄膜,通过改变外延生长温度优化p型InGaN∶Mg表面形貌和电学特性。在800℃,InGaN的空穴浓度为1.9×1019cm-3,电阻率较低,通过原子力显微镜观察到粗化的样品表面有很多圆丘,其均方根粗糙度是所有样品中最高的,综合粗化的表面和优化电学特性的p-InGaN接触层的LED光功率提高23%。 展开更多
关键词 Mg掺杂InGaN 金属有机物化学气相淀积 原子力显微镜 X射线双晶衍射
在线阅读 下载PDF
阳极氧化铝基体上非晶态碳纳米纤维阵列膜的微观组织及其摩擦性能
17
作者 涂江平 候昆 +1 位作者 郭绍仪 江春喜 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期268-271,共4页
采用乙炔热分解法在多孔阳极氧化铝膜板上制备了定向生长的非晶态碳纳米纤维阵列膜,采用场发射扫描电子显微镜、激光Raman光谱仪和透射电子显微镜观察分析了阵列膜和非晶态碳纳米纤维的组织形态和微观结构,并采用原子力显微镜和环-块式... 采用乙炔热分解法在多孔阳极氧化铝膜板上制备了定向生长的非晶态碳纳米纤维阵列膜,采用场发射扫描电子显微镜、激光Raman光谱仪和透射电子显微镜观察分析了阵列膜和非晶态碳纳米纤维的组织形态和微观结构,并采用原子力显微镜和环-块式摩擦磨损试验机考察了非晶态碳纳米纤维阵列膜的摩擦性能.结果表明:以经草酸溶液二次阳极氧化得到的有序多孔氧化铝薄膜作为模板,通过化学催化气相沉积可以获得分布均匀的非晶态碳纳米纤维阵列,这种定向非晶态碳纳米纤维阵列构成的表面膜摩擦力均匀,具有优良的自润滑作用. 展开更多
关键词 阳极氧化铝 非晶态碳 纳米纤维 阵列膜 摩擦性能
在线阅读 下载PDF
微晶硅薄膜表面粗糙度的演化过程分析
18
作者 李新利 马战红 +2 位作者 任凤章 许荣辉 柳勇 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期2384-2388,共5页
采用射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)方法制备了沉积时间系列的微晶硅薄膜。采用椭圆偏振光谱仪(SE)和原子力显微镜(AFM)表征薄膜表面粗糙度,分析了表面粗糙度随沉积时间的演化行为。讨论了这两种测量手段在分析薄膜表面粗糙度时的... 采用射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)方法制备了沉积时间系列的微晶硅薄膜。采用椭圆偏振光谱仪(SE)和原子力显微镜(AFM)表征薄膜表面粗糙度,分析了表面粗糙度随沉积时间的演化行为。讨论了这两种测量手段在分析薄膜表面粗糙度时的差异。结果表明,采用SE拟合得到的表面粗糙度数值要大于采用AFM直接测量得到的结果。产生差异的原因,一是由于两种测量手段的测量机制不同;二是由于薄膜的结构不均匀导致薄膜表面形貌差异。另外,还发现这两种测量手段得到的表面粗糙度数值之间存在线性关系。 展开更多
关键词 射频等离子体化学气相沉积 微晶硅薄膜 表面粗糙度 演化
在线阅读 下载PDF
原子力显微镜中化学成键对力的贡献(英文)
19
作者 李娜 陈曦 薛其坤 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2014年第2期205-209,共5页
迄今非接触原子力显微镜已经成为一个非常强大的工具.它不仅能够得到表面的原子周期结构,还能给出分子内部的化学键信息.针尖和样品之间的相互作用是原子力显微镜的有效信号,主要包括三种,即范德瓦尔斯相互作用、静电相互作用和化学键... 迄今非接触原子力显微镜已经成为一个非常强大的工具.它不仅能够得到表面的原子周期结构,还能给出分子内部的化学键信息.针尖和样品之间的相互作用是原子力显微镜的有效信号,主要包括三种,即范德瓦尔斯相互作用、静电相互作用和化学键相互作用.本文在生长于Si(111)-7×7的铅薄膜上测量了针尖和样品之间的化学键相互作用.通过获取该相互作用随偏压的变化,并且利用抛物线拟合有效局域接触势的位置,我们发现它是随着针尖和样品之间距离的增大而减小的.这种趋势来自于针尖和样品之间波函数的交叠.从而可以得到电子的衰减长度.我们还测量到了该衰减长度随着铅薄膜厚度的变化会发生振荡,这种振荡归因于平顶楔形铅岛内电子的量子尺寸效应. 展开更多
关键词 原子力显微镜 Q-plus传感器 局域接触势 化学键 量子尺寸效应
在线阅读 下载PDF
掺杂nc-Si:H薄膜中纳米硅晶粒的择优生长
20
作者 韦文生 王天民 +1 位作者 张春熹 李国华 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期753-758,共6页
发现PECVD生长的系列掺杂氢化纳米硅 (nc Si:H)薄膜中纳米硅晶粒 (nc Si)有择优生长的趋势 .用Raman、XRD、AFM、HRTEM等方法研究其微观结构时发现 :掺磷的nc Si:H薄膜XRD峰位的二倍衍射角约为 33°.掺硼nc Si:H薄膜的XRD峰位的二... 发现PECVD生长的系列掺杂氢化纳米硅 (nc Si:H)薄膜中纳米硅晶粒 (nc Si)有择优生长的趋势 .用Raman、XRD、AFM、HRTEM等方法研究其微观结构时发现 :掺磷的nc Si:H薄膜XRD峰位的二倍衍射角约为 33°.掺硼nc Si:H薄膜的XRD峰位的二倍衍射角约为 47°.用自由能密度与序参量的关系结合实验参数分析得到 :较高的衬底温度引起序参量改变 ,使掺磷nc Si:H薄膜中nc Si的晶面择优生长 .适当的电场作用引起序参量改变 ,导致掺硼nc Si:H薄膜在一定的自由能密度范围内nc 展开更多
关键词 掺杂 电场 温度 择优生长 nc—Si:H薄膜 纳米硅晶粒
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部