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电容式微加速度计零偏的补偿方法
被引量：
5
1
作者
刘民杰
董景新
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2008年第1期86-89,共4页
在电容式微加速度计系统中,零偏是一个普遍存在的问题。针对这个问题设计了一种采用二进制权重的微小电容阵列,引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证,验证表明这种电容测量方法具有约0.01fF 的测量精度。采用该种电容测量...
在电容式微加速度计系统中,零偏是一个普遍存在的问题。针对这个问题设计了一种采用二进制权重的微小电容阵列,引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证,验证表明这种电容测量方法具有约0.01fF 的测量精度。采用该种电容测量方法对微小电容阵列进行仿真,在线宽为 0.18 um 的一层多晶硅六层金属的 CMOS 工艺下,取得了 1.23% 的相对精度,表明这种方法是可行性。
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关键词
微小电容阵列
基于电荷的电容测量方法
补偿
仿真
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职称材料
题名
电容式微加速度计零偏的补偿方法
被引量：
5
1
作者
刘民杰
董景新
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2008年第1期86-89,共4页
基金
国家十一五预研基金资助项目(51308050208)
文摘
在电容式微加速度计系统中,零偏是一个普遍存在的问题。针对这个问题设计了一种采用二进制权重的微小电容阵列,引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证,验证表明这种电容测量方法具有约0.01fF 的测量精度。采用该种电容测量方法对微小电容阵列进行仿真,在线宽为 0.18 um 的一层多晶硅六层金属的 CMOS 工艺下,取得了 1.23% 的相对精度,表明这种方法是可行性。
关键词
微小电容阵列
基于电荷的电容测量方法
补偿
仿真
Keywords
Micro-
capacitance
array
charge based capacitance measurement （cbcm）
compensate
simulate
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电容式微加速度计零偏的补偿方法
刘民杰
董景新
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2008
5
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