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High-Gain N-Face AlGaN Solar-Blind Avalanche Photodiodes Using a Heterostructure as Separate Absorption and Multiplication Regions
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作者 汤寅 蔡青 +5 位作者 杨莲红 董可秀 陈敦军 陆海 张荣 郑有炓 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2017年第1期137-140,共4页
It is well known that -nitride semiconductors can generate the magnitude of MV/cm polarization electric field which is comparable with their ionization electric fields. To take full advantage of the polarization elect... It is well known that -nitride semiconductors can generate the magnitude of MV/cm polarization electric field which is comparable with their ionization electric fields. To take full advantage of the polarization electric field, we design an N-face AlGaN solar-blind avalanche photodiode (APD) with an Al<sub>0.45</sub>Ga<sub>0.55</sub>N/Al<sub>0.3</sub>Ga<sub>0.7</sub>N heterostructure as separate absorption and multiplication (SAM) regions. The simulation results show that the N-face APDs are more beneficial to improving the avalanche gain and reducing the avalanche breakdown voltage compared with the Ga-face APDs due to the effect of the polarization electric field. Furthermore, the Al<sub>0.45</sub>Ga<sub>0.55</sub>N/Al<sub>0.3</sub>Ga<sub>0.7</sub>N heterostructure SAM regions used in APDs instead of homogeneous Al<sub>0.45</sub>Ga<sub>0.55</sub>N SAM structure can increase significantly avalanche gain because of the increased hole ionization coefficient by using the relatively low Al-content AlGaN in the multiplication region. Meanwhile, a quarter-wave AlGaN/AlN distributed Bragg reflector structure at the bottom of the device is designed to remain a solar-blind characteristic of the heterostructure SAM-APDs. 展开更多
关键词 ALGAN apd High-Gain N-Face AlGaN Solar-Blind avalanche photodiodes Using a Heterostructure as Separate Absorption and multiplication Regions
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基于Matlab的APD器件模拟
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作者 程涛 周金运 李文静 《现代电子技术》 2006年第13期146-148,共3页
为了迅速了解雪崩光电二极管(APD)的特性以确保量子保密通信系统的质量,在适当的假设前提下,依据经验公式并借助于Matlab的矩阵运算功能计算吸收渐变电荷倍增分离型雪崩光电二极管(SAGCM APD)的电场分布,然后以此得出电子、空穴倍增系数... 为了迅速了解雪崩光电二极管(APD)的特性以确保量子保密通信系统的质量,在适当的假设前提下,依据经验公式并借助于Matlab的矩阵运算功能计算吸收渐变电荷倍增分离型雪崩光电二极管(SAGCM APD)的电场分布,然后以此得出电子、空穴倍增系数,最后再利用这些系数及传递函数计算出SAGCM APD的增益-电压特性及频率响应特性,模拟的结果较好地与实验结果一致。 展开更多
关键词 MATLAB 吸收渐变电荷倍增分离型雪崩光电二极管(sagcmapd) 传递函数 量子保密通信
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光通信用InGaAs/InP雪崩光电二极管 被引量:1
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作者 尹顺政 齐利芳 +3 位作者 赵永林 张豫黔 车向辉 张宇 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第10期759-763,共5页
针对InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)器件结构,介绍了本地电场模型在器件设计上的应用。采用数值计算的方法,导出了吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离的(SAGCM)APD的电场分布。基于本地电场模型讨论了不同器件结构参数对器件穿通... 针对InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)器件结构,介绍了本地电场模型在器件设计上的应用。采用数值计算的方法,导出了吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离的(SAGCM)APD的电场分布。基于本地电场模型讨论了不同器件结构参数对器件穿通电压、击穿电压、倍增因子等特性的影响,实验结果与模拟结果相吻合,表明此方法可以用于器件的结构设计优化及特性分析。在此方法指导下,制作出了SAGCM APD。测试结果表明器件穿通电压小于30V,击穿电压小于45V,在倍增因子为1时,器件响应度大于0.9A/W,在倍增因子为10时,器件暗电流小于10nA,在倍增因子为5-12时,-3dB带宽均大于3GHz,其性能满足2.5Gbit/s光纤通信应用要求。 展开更多
关键词 InP 吸收、渐变、电荷、倍增层分离结构的雪崩二极管(sagcm apd) 雪崩 本地电场模型 光通信
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10 Gbit/s InGaAs/InP雪崩光电二极管 被引量:1
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作者 尹顺政 郝文嘉 +4 位作者 张宇 于浩 李庆伟 赵润 车相辉 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第7期516-520,共5页
基于InGaAs/InP吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离雪崩光电二极管(SAGCM APD)器件结构,利用数值计算方法,模拟了各层参数对器件频率响应特性的影响。模拟结果表明,吸收层、倍增层厚度及电荷层面电荷密度可影响器件的-3dB带宽;随增益... 基于InGaAs/InP吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离雪崩光电二极管(SAGCM APD)器件结构,利用数值计算方法,模拟了各层参数对器件频率响应特性的影响。模拟结果表明,吸收层、倍增层厚度及电荷层面电荷密度可影响器件的-3dB带宽;随增益的增加,器件带宽会逐渐降低;电荷层面电荷密度对器件击穿电压有明显影响。结合此模拟结果,制作出了高速InGaAs/InP雪崩光电二极管,并对器件进行了封装测试。测试结果表明,该结果与模拟结果相吻合。器件击穿电压为30V;在倍增因子为1时,器件响应度大于0.8A/W;在倍增因子为9时,器件暗电流小于10nA,-3dB带宽大于10GHz,其性能满足10Gbit/s光纤通信应用要求。 展开更多
关键词 INGAAS/INP 吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离雪崩光电二极管(sagcm apd) 雪崩 频率响应 光通信
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In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP高速光电二极管材料生长及光电性能
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作者 吴超瑜 刘超 +4 位作者 冯彦斌 高文浩 高鹏 付贤松 宁振动 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2019年第2期123-126,共4页
利用低压MOCVD技术制备PIN结构的InP基InGaAs外延材料。采用分层吸收渐变电荷倍增(SAGCM)结构,通过两次Zn扩散、多层介质膜淀积、Au/Zn p型欧姆接触、Au/Ge/Ni n型欧姆接触等标准半导体平面工艺,设计制造正入射平面In_(0.53)Ga_(0.47)As... 利用低压MOCVD技术制备PIN结构的InP基InGaAs外延材料。采用分层吸收渐变电荷倍增(SAGCM)结构,通过两次Zn扩散、多层介质膜淀积、Au/Zn p型欧姆接触、Au/Ge/Ni n型欧姆接触等标准半导体平面工艺,设计制造正入射平面In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP雪崩光电二极管器件。该器件采用与InP衬底晶格匹配的In_(0.53)Ga_(0.47)As材料做吸收层,InP材料做倍增层,同时引入InGaAsP梯度层。探测器件光敏面直径50μm,器件测试结果表明该器件光响应特性正常,击穿电压约43 V,在低于击穿电压3 V左右可以得到大约10 A/W的光响应度,在0 V到小于击穿电压1 V的偏压范围内,暗电流只有1 nA左右。光电二极管在8 GHz以下有平坦的增益,适用于5 Gbit/s光通信系统。 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积 通信 分层吸收渐变电荷倍增 雪崩光电二极管
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