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一种双环形凹面镜结构的光纤F-P腔位移传感器设计
1
作者 谭心 李自鹏 +4 位作者 杨桥 张硕 贺占清 王健 祁辉 《激光杂志》 北大核心 2025年第2期29-33,共5页
建筑安全隐患严重威胁人身及财产安全。为了切实保障人身财产的安全,文中提出了一种应用于安全检测的双环形凹面镜结构的光纤法布里-珀罗(F-P)腔位移传感器。首先使用氢氟酸进行化学蚀刻法得到凹槽结构,然后通过掩膜法使用光刻胶在光纤... 建筑安全隐患严重威胁人身及财产安全。为了切实保障人身财产的安全,文中提出了一种应用于安全检测的双环形凹面镜结构的光纤法布里-珀罗(F-P)腔位移传感器。首先使用氢氟酸进行化学蚀刻法得到凹槽结构,然后通过掩膜法使用光刻胶在光纤纤芯位置制作波导,将制作好的光纤结构使用磁控溅射法镀制银膜,最后将波导结构洗去得到双环形凹面镜结构,两根具备相同结构的光纤组成Fabry-Perot腔结构。研究结果表明,双环形凹面镜结构能够很好地实现提高传感器灵敏度和线性度的目的,设计的传感器在0~30μm间灵敏度达到105.535/μm,线性度超过0.999。 展开更多
关键词 化学腐蚀 氢氟酸 Fabry-Perot腔 位移 凹面镜 安全检测
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模式能量梯度上升的光束入腔指向方法
2
作者 邢成文 徐天尧 +7 位作者 马超群 栾苏琪 李跃 孟范超 孟令强 吕刚 印雄飞 贾建军 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第3期682-690,共9页
为了解决光束与法布里珀罗腔的入腔失调问题,本文基于谐振模式能量梯度上升自适应调整双反射镜步进,实现所需谐振模式的入腔光束指向。首先,利用双反射镜步进与入腔光束失调的关系,提出分离式入腔光束平移与角度调整方法。其次,利用Effi... 为了解决光束与法布里珀罗腔的入腔失调问题,本文基于谐振模式能量梯度上升自适应调整双反射镜步进,实现所需谐振模式的入腔光束指向。首先,利用双反射镜步进与入腔光束失调的关系,提出分离式入腔光束平移与角度调整方法。其次,利用EfficientNET神经网络对谐振模式图片进行分类,实现不同激光模式的图像识别。最后,利用腔后模式能量梯度调整双反射镜步进,低成本、高效率实现目标谐振模式的入腔耦合。本文的入腔光束指向调整方法为超稳激光器以及引力波探测中法布里珀罗腔的入腔耦合提供了新思路。 展开更多
关键词 入腔耦合 光束指向控制 法布里珀罗腔 双快速反射镜 梯度上升
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用于激光反射镜面调节的双电机控制系统设计
3
作者 王攀 冯宇 +3 位作者 陈昌鑫 王丽君 周炳 王海洋 《中国测试》 北大核心 2025年第2期112-117,139,共7页
针对激光反射镜面水平旋转和俯仰调节的角度控制需求,建立双电机控制系统模型,设计以STM32作为主控芯片、USART和RS485作为通信方式的硬件结构,开发LabVIEW上位机软件,搭建舵机SM40BL控制俯仰角度、电机HT-S-4315控制水平旋转角度的实... 针对激光反射镜面水平旋转和俯仰调节的角度控制需求,建立双电机控制系统模型,设计以STM32作为主控芯片、USART和RS485作为通信方式的硬件结构,开发LabVIEW上位机软件,搭建舵机SM40BL控制俯仰角度、电机HT-S-4315控制水平旋转角度的实验平台,分析并验证不同PID参数下的控制效果。实验结果表明:当舵机SM40BL的PID参数为K_(p)=30、K_(i)=4、K_(d)=30且电机HT-S-4315的参数为位置环K_(p)=1、速度环K_(p)=5、K_(i)=1时,系统在俯仰方向和水平方向的最大角度误差分别为3.3%、1.1%。双电机控制系统通过PID控制算法实现对激光反射镜面的水平旋转和俯仰角度调节,进而实现激光光束的反射,对光束指向控制具有重要意义。 展开更多
关键词 反射镜面调节 水平旋转和俯仰角度调节 PID控制 双电机控制
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某乘用车外后视镜风哨声控制研究
4
作者 杨晓涛 潘作峰 +2 位作者 马龙 邓玉伟 侯杭生 《汽车技术》 北大核心 2025年第4期40-46,共7页
针对某乘用车外后视镜风哨声问题,通过实车主观评价进行风哨声问题确认及分析,根据计算流体力学(CFD)方法提出摄像头与镜壳间不合理阶差消除方案与空腔消除方案,改善流场和监测点压力,并通过实车测试和主观评价验证方案的有效性。结果表... 针对某乘用车外后视镜风哨声问题,通过实车主观评价进行风哨声问题确认及分析,根据计算流体力学(CFD)方法提出摄像头与镜壳间不合理阶差消除方案与空腔消除方案,改善流场和监测点压力,并通过实车测试和主观评价验证方案的有效性。结果表明:综合考虑使用路面、速度段和NVH严重程度的风哨声错误状态指数(ESI)由1.12降至0,成功解决了后视镜风哨声问题。 展开更多
关键词 外后视镜 风哨声 阶差 间隙 空腔噪声 计算流体力学
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2.7~3.0μm波段高反镜反射率测量研究 被引量：1
5
作者 周文超 魏千翯 +2 位作者 彭琛 黄德权 朱日宏 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期97-102,共6页
中红外激光领域广泛使用高性能高反射光学元件,高反射率高精度测试技术是制备高性能反射光学元件的基础。针对2.7~3.0μm波段光学元件高反射率测量的实际需求,基于量子级联激光器建立了连续光腔衰荡反射率测试实验装置,通过优选2.7~3.0... 中红外激光领域广泛使用高性能高反射光学元件,高反射率高精度测试技术是制备高性能反射光学元件的基础。针对2.7~3.0μm波段光学元件高反射率测量的实际需求,基于量子级联激光器建立了连续光腔衰荡反射率测试实验装置,通过优选2.7~3.0μm波段反射带内水汽吸收较弱的测试波长,分析空气中水汽吸收对衰荡时间和反射率测量的影响,并比较空气和氮气环境下反射率测量结果,实现了2.7~3.0μm波段高反镜反射率的准确测量,在反射率约99.95%时绝对测量精度优于2×10-5。实验结果显示,采用测试波长2.9μm并在测量时保证初始腔和测试腔腔长相同,无需使用氮气环境,直接在实验室空气环境可实现高反射率的精确测量。 展开更多
关键词 中红外 高反镜 反射率 光腔衰荡 水汽吸收
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变压器故障特征气体光反馈频率锁定非对称线型F-P腔增强拉曼光谱检测研究
6
作者 万福 白耀天 +3 位作者 王锐 朱磊 龙英凯 陈伟根 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期156-166,共11页
提出一种简便且高灵敏度的非对称腔镜线型F-P腔增强拉曼光谱气体检测技术,将腔谐振光直接反馈至二极管激光器,实现642 nm多量子阱二极管激光器稳定锁定到外部线型腔进行功率积累,从而增强气体拉曼信号。降低腔输入镜的反射率来使反馈光... 提出一种简便且高灵敏度的非对称腔镜线型F-P腔增强拉曼光谱气体检测技术,将腔谐振光直接反馈至二极管激光器,实现642 nm多量子阱二极管激光器稳定锁定到外部线型腔进行功率积累,从而增强气体拉曼信号。降低腔输入镜的反射率来使反馈光中谐振光的强度高于直反光,使谐振光在锁定过程中占主导地位。与传统技术相比,在没有添加任何附加光学元件或复杂光学布置的情况下,保证了腔内激光基本横向模式TEM00的稳定功率积累。用80 mW的二极管激光器在腔内累积产生320 W的激光。采用后向拉曼信号收集方式,在60 s积分时间下,对变压器主要故障特征气体CH_(4)、C_(2)H_(6)、C_(2)H_(4)、C_(2)H_(2)、CO、CO_(2)的检出限分别为1.3、4.4、2.7、1.2、10.5、5.1μL/L。 展开更多
关键词 线型F-P腔 光学反馈 非对称腔镜 拉曼光谱 气体检测
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倾斜镜的变论域自适应模糊PID控制方法 被引量：1
7
作者 张亦睿 陈波 +2 位作者 周益林 贾晶晶 李赵仪 《火力与指挥控制》 CSCD 北大核心 2024年第9期146-152,共7页
自适应光学中倾斜镜能否精准稳定地跟踪目标取决于系统控制性能。根据控制系统性能指标的要求,提出一种变论域自适应模糊PID控制方法。根据辨识出的倾斜镜模型,建立倾斜镜的传递函数,并利用Simu⁃link建立系统模型,开展了变论域算法的仿... 自适应光学中倾斜镜能否精准稳定地跟踪目标取决于系统控制性能。根据控制系统性能指标的要求,提出一种变论域自适应模糊PID控制方法。根据辨识出的倾斜镜模型,建立倾斜镜的传递函数,并利用Simu⁃link建立系统模型,开展了变论域算法的仿真实验。仿真结果表明,与经典PID控制和模糊PID控制相比,变论域自适应模糊PID控制,无论在时域还是频域都有更小的系统跟踪误差,利用参数自整定的特性克服了系统参数变化对鲁棒性造成的不利影响,具有更好的动态性能。该方法既具有PID控制的鲁棒性,又具有模糊控制的调控能力,同时具备简单有效的参数整定与自适应作用。 展开更多
关键词 倾斜镜 模糊控制 变论域 参数自整定 鲁棒性
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可饱和吸收环镜滤波器的环形腔双波长激光器
8
作者 夏志鸿 果鑫 +3 位作者 张振鹤 赖榕 陈涛 张威 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第11期1674-1680,共7页
设计了一种基于可饱和吸收环镜滤波器的环形腔双波长激光器,在3dB光纤环镜中插入未受泵浦的掺铒光纤(EDF)做可饱和吸收体,构成可饱和吸收环镜滤波器,将此滤波器插入环形腔激光器中,通过调节偏振控制器来实现双波长的稳定输出。经过计算... 设计了一种基于可饱和吸收环镜滤波器的环形腔双波长激光器,在3dB光纤环镜中插入未受泵浦的掺铒光纤(EDF)做可饱和吸收体,构成可饱和吸收环镜滤波器,将此滤波器插入环形腔激光器中,通过调节偏振控制器来实现双波长的稳定输出。经过计算选择6.4m的EDF作为增益介质,使用一段2m未泵浦的EDF与2×2的3dB耦合器结合形成可饱和吸收环镜滤波器来抑制超模。为抑制常温下EDF的均匀展宽导致模式竞争,选择1554nm的光纤布拉格光栅(FBG)和1562nm的FBG进行双波长激射,在Optisystem平台上进行仿真并搭建实验来测试输出激光的输出功率斜率效率、光信噪比、稳定性等。实验中得出了在室温下稳定输出的双波长激光,两波长各自的光信噪比为54.7dB和57.5dB;中心波长变化分别小于0.04nm和0.55nm;3dB带宽均为~0.126nm。 展开更多
关键词 环形腔激光器 双波长 可饱和吸收环镜滤波器 偏振控制器 信噪比
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衰荡光腔中腔镜倾斜分析 被引量：13
9
作者 易亨瑜 吕百达 张凯 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期5-8,共4页
分析了衰荡腔中腔镜倾斜产生的腔长失调和单程损耗因子变化,根据失调腔矩阵分析方法并参照实验参数,建立了腔镜角度失调下反射率测量的理论模型。利用该模型,模拟了不同腔镜倾斜量下的衰荡信号波形,分析了波形变化的原因,研究了测量精... 分析了衰荡腔中腔镜倾斜产生的腔长失调和单程损耗因子变化,根据失调腔矩阵分析方法并参照实验参数,建立了腔镜角度失调下反射率测量的理论模型。利用该模型,模拟了不同腔镜倾斜量下的衰荡信号波形,分析了波形变化的原因,研究了测量精度与腔镜倾斜量的关系。分析表明,腔镜微小倾斜产生的衍射损耗的变化可以忽略,但导致的腔长变化和衰荡光斑漂移,会限制测量的精度。将衰荡波形的变化用于腔镜角度的精确调节中,可以提高该测量精度。 展开更多
关键词 光学测量 光腔衰荡 反射率 腔镜倾斜
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两维高速压电倾斜反射镜 被引量：24
10
作者 凌宁 陈东红 +2 位作者 官春林 饶学军 邓建明 《光电工程》 EI CAS CSCD 1995年第1期51-60,共10页
介绍了两维高速压电倾斜反射镜（以下简称倾斜镜）的性能分析、工作原理和我们研制的各种倾斜镜。
关键词 倾斜镜 压电驱动器 两维 高速压电 反射镜
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高速转镜干涉成像光谱仪 被引量：9
11
作者 张文喜 相里斌 +4 位作者 袁艳 陶然 杜述松 陈曦 苏丽娟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1153-1155,共3页
介绍一种高速转镜干涉光谱仪原理,提出一种基于该原理的干涉成像光谱仪,该成像光谱仪有较大视场角,提高了扫描效率,特点是用带有倾角平面反射镜转动代替传统Michelson干涉成像光谱仪动镜的直线运动,解决了Michelson干涉成像光谱仪扫描... 介绍一种高速转镜干涉光谱仪原理,提出一种基于该原理的干涉成像光谱仪,该成像光谱仪有较大视场角,提高了扫描效率,特点是用带有倾角平面反射镜转动代替传统Michelson干涉成像光谱仪动镜的直线运动,解决了Michelson干涉成像光谱仪扫描效率低和不稳定的难题. 展开更多
关键词 干涉光谱仪 高灵敏度 转镜 Michelson干涉成像光谱仪
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自由空间光通信ATP系统中精瞄偏转镜的设计 被引量：20
12
作者 邵兵 孙立宁 +2 位作者 曲东升 王建国 秦昌 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期43-47,共5页
二维精瞄偏转镜是自由空间光通信中捕获、跟踪和瞄准(ATP)系统的关键组成部分,对偏转镜进行了机构设计和有限元模态分析,偏转镜采用压电陶瓷驱动器驱动,采用柔性铰链传动。研制了集驱动、检测、主控模块为一体的数字式精密定位控制器,... 二维精瞄偏转镜是自由空间光通信中捕获、跟踪和瞄准(ATP)系统的关键组成部分,对偏转镜进行了机构设计和有限元模态分析,偏转镜采用压电陶瓷驱动器驱动,采用柔性铰链传动。研制了集驱动、检测、主控模块为一体的数字式精密定位控制器,在实验室构建了两套测试系统,对偏转镜的频率和静态性能进行了测试,并着重介绍了频率的两种测量方法及其优缺点分析。仿真和测试结果表明,偏转镜的频率约为1.5 kHz,转角范围约为±2 mrad,精度约为1μrad,分辨率约为0.1μrad。 展开更多
关键词 自由空间光通信 捕获 跟踪 瞄准系统 精瞄偏转镜
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傅里叶变换红外光谱仪动镜倾斜和动态校准研究 被引量：13
13
作者 冯明春 徐亮 +6 位作者 金岭 刘文清 高闽光 李胜 李相贤 童晶晶 刘建国 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期163-167,共5页
分析了迈克尔逊干涉仪中动镜和定镜在圆形通光孔径情况下动镜在扫描过程中倾斜对干涉调制度的影响.为满足干涉调制度要求,理论计算发现动镜倾斜角度需控制在1″以内,对应的相位误差为±6.6°以内.为了解决此问题,使动镜和定镜... 分析了迈克尔逊干涉仪中动镜和定镜在圆形通光孔径情况下动镜在扫描过程中倾斜对干涉调制度的影响.为满足干涉调制度要求,理论计算发现动镜倾斜角度需控制在1″以内,对应的相位误差为±6.6°以内.为了解决此问题,使动镜和定镜保持准直,采用定镜动态校准系统对动镜倾斜误差进行校准.实验结果表明,校准后的XR和YR相位误差的均方根分别为1.02°和1.25°,满足系统要求.动态校准系统能够有效地校准动镜长距离运动过程中发生的倾斜误差,对高分辨光谱仪的设计和研制具有一定的指导意义. 展开更多
关键词 迈克尔逊干涉仪 动镜倾斜 调制度 相位差 动态校准
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干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析 被引量：25
14
作者 相里斌 杨建峰 +1 位作者 高瞻 刘改霞 《光子学报》 EI CAS CSCD 1997年第2期132-135,共4页
本文从调制度和相位误差角度，系统分析了双光束干涉光谱仪中，当光束孔径为圆形和矩形时，动镜运动过程中发生倾斜的影响，讨论了动镜倾斜容限以及减小动镜倾斜误差的方法．
关键词 干涉 光谱仪 动镜倾斜 调制度
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压电式快速控制反射镜的迟滞特性及线性化 被引量：8
15
作者 袁刚 张小波 +1 位作者 王代华 陈敏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1650-1656,共7页
针对压电式快速控制反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)的迟滞问题,分析了压电式FSM的工作原理和迟滞特性,建立了基于Bouc-Wen算子的压电式FSM的数学模型及其参数辨识方法。通过Bouc-Wen算子模拟压电式FSM输出镜面偏转角度中的迟滞分量,... 针对压电式快速控制反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)的迟滞问题,分析了压电式FSM的工作原理和迟滞特性,建立了基于Bouc-Wen算子的压电式FSM的数学模型及其参数辨识方法。通过Bouc-Wen算子模拟压电式FSM输出镜面偏转角度中的迟滞分量,并根据在两个相位相同的输入驱动电压信号下压电式FSM的输出镜面偏转角度曲线辨识Bouc-Wen算子的全部参数。在此基础上,提出了压电式FSM的前馈线性化方法。为了验证提出的数学模型和线性化方法的原理,建立了压电式FSM及其线性化控制器的快速原型系统和Bouc-Wen算子参数辨识实验装置。实验结果表明:本文提出的参数辨识方法能够准确辨识压电式FSM的Bouc-Wen算子参数,提出的前馈线性化方法能够将压电式FSM的输出镜面偏转角度与输入控制电压的线性度提高到2.3%,迟滞误差减小到±0.5%,满足实际应用对精确控制压电式FSM的要求。 展开更多
关键词 快速控制反射镜 压电陶瓷叠堆执行器 倾斜镜 迟滞 线性化
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腔衰荡法四腔镜反射率及腔内吸收测量 被引量：11
16
作者 赵宏太 柳晓军 詹明生 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期213-216,共4页
由于镜片的反射率在不同的环境中是不同的，我们在这里利用腔衰荡四腔镜轮换的方法，在常态下测得了四腔镜的反射率，同时得到了腔内气体在测量范围的吸收情况．
关键词 腕衰荡类 反射率 吸收测量 四腔镜
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傅里叶变换红外光谱仪动镜倾斜误差分析 被引量：19
17
作者 曾立波 尹邦胜 +1 位作者 何冰 龚丹 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期191-196,共6页
通过建立傅里叶变换光谱仪中动镜、定镜和干涉面的坐标对应关系,对动镜存在多个方向倾斜时的干涉光路进行了详细的分析。建立了非准直状态下干涉面光强分布的二维数学模型,确立了干涉图函数的数学表达式,从调制度、相位误差和频率噪声... 通过建立傅里叶变换光谱仪中动镜、定镜和干涉面的坐标对应关系,对动镜存在多个方向倾斜时的干涉光路进行了详细的分析。建立了非准直状态下干涉面光强分布的二维数学模型,确立了干涉图函数的数学表达式,从调制度、相位误差和频率噪声的角度,对动镜倾斜造成的影响进行了系统分析。在动镜的运动中,左右方向的倾斜和俯仰方向的倾斜对系统的影响彼此具有独立性,又具有叠加性;干涉图中初相位因子随光程差改变缓慢变化或快速变化,对相位误差的影响也不全相同。在倾斜误差分析的基础上,对动镜的最大倾斜角度和减少误差的方法进行讨论,并提出了两种动态准直校正的思路。 展开更多
关键词 傅里叶变换光谱仪 动镜倾斜 调制度 动态准直 误差分析
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空间稳像系统摆镜设计与仿真 被引量：6
18
作者 徐广州 阮萍 +2 位作者 李福 卢笛 葛伟 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第4期958-965,共8页
摆镜作为稳像系统核心部件,摆镜单元的性能参数和外载荷对摆镜面形的影响为摆镜设计和装配的主要约束条件。在设计约束基础上,对摆镜及其装卡结构材料进行了选择,对结构进行了轻量化设计。为考察外载作用对摆镜面形影响规律,使用接触非... 摆镜作为稳像系统核心部件,摆镜单元的性能参数和外载荷对摆镜面形的影响为摆镜设计和装配的主要约束条件。在设计约束基础上,对摆镜及其装卡结构材料进行了选择,对结构进行了轻量化设计。为考察外载作用对摆镜面形影响规律,使用接触非线性有限元方法对摆镜组件进行了仿真,使用基于Zernike多项式的光机集成仿真方法消除刚体位移,得到了消除刚体位移后摆镜面形参数。仿真结果表明:外载作用下摆镜刚体位移明显;预紧力作用下刚体平移占据了刚体位移的主要方面;动力载荷作用下,当重力存在于光轴方向时,静力载荷对摆镜面形起主要作用,否则动力载荷对摆镜面形起主导作用。在仿真数据基础上,对摆镜零件进行了加工和装配,对装配后摆镜进行了面形测试,测试结果表明:摆镜面形能够满足设计要求,也说明了摆镜结构设计的合理性和仿真方法的有效性。 展开更多
关键词 摆镜 集成仿真 面形仿真 ZERNIKE多项式
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液晶自适应光学系统中倾斜镜的建模与控制 被引量：10
19
作者 王玉坤 胡立发 +1 位作者 王冲冲 宣丽 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期771-779,共9页
为了提高液晶自适应光学系统的波前探测精度,研究了该系统中倾斜镜的校正方法。分析了液晶自适应光学系统中各环节的物理特性,利用拉格朗日方程给出了倾斜镜系统模型的基本结构;采用子空间辨识方法确定了模型参数,同时利用非线性最小二... 为了提高液晶自适应光学系统的波前探测精度,研究了该系统中倾斜镜的校正方法。分析了液晶自适应光学系统中各环节的物理特性,利用拉格朗日方程给出了倾斜镜系统模型的基本结构;采用子空间辨识方法确定了模型参数,同时利用非线性最小二乘算法对子空间模型的频域特性进行了修正。修正后模型幅频特性均方根误差为0.024 5dB,相频特性均方根误差为1.9008°。引入Smith控制策略来解决倾斜镜校正波前整体倾斜过程中的时滞问题;利用子空间辨识出的模型分别进行Smith和PID的仿真和实验验证,得到的结果与仿真计算相吻合,即在相同稳定裕度的情况下,采用Smith补偿PID算法的误差抑制带宽比传统PID算法提高了23.97%。最后,用提出的方法对一组湍流整体倾斜信号进行了校正。结果显示:采用Smith补偿PID算法的控制精度比传统PID算法提高了21.03%,证实提出的方法优化了倾斜镜的校正精度,保证了开环液晶自适应光学系统的波前探测精度。 展开更多
关键词 液晶自适应光学系统 波前探测 倾斜镜控制 湍流倾斜校正 子空间辨识
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基于接触方法与集成仿真技术的摆镜面形仿真 被引量：5
20
作者 徐广州 阮萍 +2 位作者 李婷 李福 卢笛 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第5期1316-1322,共7页
为考察所设计摆镜在外载作用下面形变化是否满足设计要求,研究了摆镜在螺钉预紧力和不同方向重力作用下的摆镜面形变化规律,使用接触非线性有限元方法对摆镜进行了仿真,采用基于Zernike多项式的数据处理算法对面形数据进行了处理,得到... 为考察所设计摆镜在外载作用下面形变化是否满足设计要求,研究了摆镜在螺钉预紧力和不同方向重力作用下的摆镜面形变化规律,使用接触非线性有限元方法对摆镜进行了仿真,采用基于Zernike多项式的数据处理算法对面形数据进行了处理,得到消除刚体位移后表征实际面形变化的参数和表示刚体位移系数的分布曲线。结果表明:螺钉预紧力和不同方向重力作用下摆镜刚体位移明显,镜面平移占据了刚体位移的主要方面,基于集成仿真技术的面形处理算法可以有效消除刚体位移;预紧力存在、不同方向重力作用下摆镜面形影响略有不同,与预紧力相比重力作用对面形影响较小。预紧力作用下摆镜面形仿真数据对于摆镜设计、装调具有一定指导意义,也说明了基于接触方法面形仿真的工程适用性。 展开更多
关键词 面形仿真 摆镜 接触 集成仿真 ZERNIKE多项式
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