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Bimorph变形镜10.6μm薄膜研究 被引量：1
1
作者 张耀平 周宏 +1 位作者 樊峻棋 许鸿 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第12期94-98,共5页
基于压电驱动器的Bimorph变形镜是10.6μm系统的一个重要元件。为了镀制薄膜,本文首先利用有限元软件对两种镀膜夹持方式与沉积温度进行了计算,对热应力产生的热变形进行了分析,选择了合适的镀膜夹持方式。为了预测bimorph变形镜受激光... 基于压电驱动器的Bimorph变形镜是10.6μm系统的一个重要元件。为了镀制薄膜,本文首先利用有限元软件对两种镀膜夹持方式与沉积温度进行了计算,对热应力产生的热变形进行了分析,选择了合适的镀膜夹持方式。为了预测bimorph变形镜受激光辐照后的温升,对单晶硅与石英玻璃制作的bimorph变形镜有限元模型进行了计算与分析。最后,利用光度计对镀制的薄膜进行了反射率测量。试验结果显示反射率测量值大于99.5%,满足实际系统的需要。 展开更多
关键词 bimorph变形镜 Ag膜 有限元 夹持方式
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电热驱动Bimorph微执行器对流系数估算方法研究 被引量：2
2
作者 刘骏文 徐大诚 +2 位作者 陈巧 丁金玲 谢会开 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第8期1120-1124,共5页
随着电热驱动MEMS器件尺寸进一步缩小,传统热对流系数的取值已无法满足微系统分析建模需求。针对电热型Bimorph结构的MEMS微镜驱动器,通过分析其温度分布,并以其平均温度为参考指标建立简单热阻和对流热阻分段模型,推算出微尺度下精确... 随着电热驱动MEMS器件尺寸进一步缩小,传统热对流系数的取值已无法满足微系统分析建模需求。针对电热型Bimorph结构的MEMS微镜驱动器,通过分析其温度分布,并以其平均温度为参考指标建立简单热阻和对流热阻分段模型,推算出微尺度下精确的对流系数,提高了微执行器设计模型的驱动性能。经理论计算和实验测试验证,对流系数值的误差在8.1%以内,满足实际设计需求,验证了该方法的合理性和可行性。 展开更多
关键词 对流系数 电热bimorph结构 微执行器 热阻模型
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Bimorph结构微热执行器的节点分析方法 被引量：2
3
作者 黎仁刚 黄庆安 李伟华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期728-733,共6页
MEMS系统设计的节点分析法已成功应用于机电耦合器件的仿真,且已表明是一种简单实用的方法。本文在已有静态模型的基础上,通过对传热行为的分解以及引入等效质量,建立了Bimorph结构热执行器的动态节点模型。同时选取在电子行业得到普遍... MEMS系统设计的节点分析法已成功应用于机电耦合器件的仿真,且已表明是一种简单实用的方法。本文在已有静态模型的基础上,通过对传热行为的分解以及引入等效质量,建立了Bimorph结构热执行器的动态节点模型。同时选取在电子行业得到普遍应用的电路仿真软件SPICE作为模型仿真平台,并将建立的节点分析模型应用于电路仿真平台。此模型数值实验证明,此方法和有限元分析软件ANSYS的仿真结果吻合较好,而且计算效率高,可在实际器件设计中作为参考。 展开更多
关键词 bimorph结构电热微执行器 节点分析法 等效质量
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基于J-A模型的压电双晶片执行器非线性建模及验证
4
作者 彭洪涛 凌杰 +1 位作者 李成刚 朱玉川 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期142-147,共6页
针对压电双晶片执行器的非线性建模问题,根据Hammerstein结构原理,将执行器系统线性动态模块与非线性静态模块串联,提出了基于Jiles-Atherton模型的压电双晶片建模及参数辨识方法,并结合有限元数值仿真和试验测试对比分析模型的准确性。... 针对压电双晶片执行器的非线性建模问题,根据Hammerstein结构原理,将执行器系统线性动态模块与非线性静态模块串联,提出了基于Jiles-Atherton模型的压电双晶片建模及参数辨识方法,并结合有限元数值仿真和试验测试对比分析模型的准确性。静/动态对比结果显示,理论模型、有限元仿真及试验测试迟滞非线性分别为18.1%,17.9%,19.3%,理论模型、有限元仿真与试验测试的阶跃响应相对误差平均值分别为5.2%和4.1%,表明建模方法准确有效。 展开更多
关键词 压电双晶片 迟滞非线性 Hammerstein结构 物理模型 有限元分析
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压电双晶梁发电机能量转化效率研究
5
作者 闫世伟 齐姗姗 《压电与声光》 北大核心 2025年第3期508-512,共5页
建立压电双晶梁发电机的能量转化效率模型,利用数值模拟和试验分析的方法研究了在固定端受到激励时,压电双晶梁的结构尺寸和材料特性对其能量转化效率的影响规律。研究表明,金属基板过厚,杨氏模量太大都不利于压电双晶梁能量转化效率的... 建立压电双晶梁发电机的能量转化效率模型,利用数值模拟和试验分析的方法研究了在固定端受到激励时,压电双晶梁的结构尺寸和材料特性对其能量转化效率的影响规律。研究表明,金属基板过厚,杨氏模量太大都不利于压电双晶梁能量转化效率的提高。当使用不同的金属基板材料时,存在一个最佳厚度比(金属基板/总厚)使压电双晶梁能量转化效率最高,铜、铝、钼3种金属基板材料的压电双晶梁最佳厚度比分别为0.3、0.1、0.2;在相同厚度比(0.3)条件下,钼基板的压电双晶梁能量转化效率高于铜、铝基板。随着杨氏模量比(金属基板/陶瓷)的增大,压电双晶梁能量转化效率逐渐降低,但变化不明显。 展开更多
关键词 压电双晶梁 模型 能量转化效率 厚度比 杨氏模量比
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悬臂式压电双晶片振子夹持长度变化对其动态特性的影响 被引量：13
6
作者 程光明 李新辉 +2 位作者 张海滨 曾平 温建明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1296-1303,共8页
以惯性压电驱动器的关键部件——悬臂式压电双晶片振子为研究对象,探讨了悬臂式压电双晶片振子的夹持长度变化对其动态特性的影响规律。首先,建立了悬臂式压电双晶片振子静态参数方程和动力学模型。然后,应用matlab软件仿真分析了夹持... 以惯性压电驱动器的关键部件——悬臂式压电双晶片振子为研究对象,探讨了悬臂式压电双晶片振子的夹持长度变化对其动态特性的影响规律。首先,建立了悬臂式压电双晶片振子静态参数方程和动力学模型。然后,应用matlab软件仿真分析了夹持长度变化对悬臂式压电双晶片振子的端部位移幅值和惯性加速度幅值的影响。最后,分别测试了悬臂式压电双晶片振子在不同夹持长度下的端部位移幅值以及惯性加速度幅值。结果显示：驱动电压为10V,频率为11Hz,悬臂式压电双晶片振子的夹持长度在9～20mm内变化时,其端部位移幅值最大为66.2μm,产生的惯性加速度幅值最大为10.2ms-2。仿真和试验结果表明：激励电场相同时,随着悬臂式压电双晶片振子的夹持长度增大,其端部位移幅值会变小,而其产生的惯性加速度会变大。 展开更多
关键词 压电双晶片振子 悬臂式双晶片振子 夹持长度 动态特性
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输送流体双腔并联压电泵性能分析与试验研究 被引量：16
7
作者 姜德龙 程光明 +1 位作者 孙晓锋 杨志刚 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期82-85,89,共5页
为了提高压电泵的输出能力,采用压电双晶片进行驱动,设计了双腔并联被动截止阀压电泵,并加工了试验样机.对不同压电振子驱动方式(同步驱动或异步驱动)的双腔并联压电泵输出性能的影响规律进行了理论分析,分别以液体和气体为介质对样机... 为了提高压电泵的输出能力,采用压电双晶片进行驱动,设计了双腔并联被动截止阀压电泵,并加工了试验样机.对不同压电振子驱动方式(同步驱动或异步驱动)的双腔并联压电泵输出性能的影响规律进行了理论分析,分别以液体和气体为介质对样机进行了试验测试.测试结果表明:在110 V驱动电压下,工作频率小于400 Hz时,输送液体最大输出流量为1 330 mL/min,2个振子异步驱动泵的输出能力好于同步驱动;输送气体最大输出流量为950 mL/min时,2个振子同步驱动和异步驱动泵的输出能力基本接近,从而确定了双腔并联压电泵输送流体时的最佳工作方式. 展开更多
关键词 双晶片 压电泵 并联 气体 液体
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压电双晶片的有限元分析及实验(英文) 被引量：13
8
作者 李龙土 邬军飞 +1 位作者 褚祥诚 季叶 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2378-2383,共6页
采用有限元分析方法,分析了压电双晶片悬臂梁的位移形变特征。研究了金属弹性层、压电陶瓷片的材料属性及几何尺寸对双晶片偏转位移的影响;计算了双晶片的弹性模量、厚度以及加载电压与位移形变产生弯应力的关系;通过位移测试、弯应力... 采用有限元分析方法,分析了压电双晶片悬臂梁的位移形变特征。研究了金属弹性层、压电陶瓷片的材料属性及几何尺寸对双晶片偏转位移的影响;计算了双晶片的弹性模量、厚度以及加载电压与位移形变产生弯应力的关系;通过位移测试、弯应力测试等相关实验对有限元分析进行了验证。当加载电压为60V(120Vp-p)时,双晶片的偏转位移和弯应力分别为166μm和34.7m.N,实验结果证明本文所建的有限元模型是合理有效的。此外,测试了压电双晶片的振动特性,测得其谐振频率为310Hz,在该频率下加载20Vp-p电压,其端部位移输出即可达1.7mm。有限元分析结果及实验验证为压电双晶片结构的优化设计提供了依据。 展开更多
关键词 压电双晶片 有限元法 PZT 偏转位移
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应用惯性冲击原理的非对称夹持式压电旋转驱动器的设计 被引量：11
9
作者 李晓韬 程光明 +2 位作者 杨志刚 马希里 曾平 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期156-161,共6页
针对目前压电驱动器主要使用非对称锯齿波电信号驱动压电晶体实现驱动的现状,采用对称电压信号驱动压电振子,设计了非对称夹持式压电旋转驱动器。用对称波电信号作用在压电双晶片振子上,产生正反两个方向大小不同的周期性惯性冲击力,驱... 针对目前压电驱动器主要使用非对称锯齿波电信号驱动压电晶体实现驱动的现状,采用对称电压信号驱动压电振子,设计了非对称夹持式压电旋转驱动器。用对称波电信号作用在压电双晶片振子上,产生正反两个方向大小不同的周期性惯性冲击力,驱动机构实现旋转位移。建立了压电旋转驱动器的动力学模型,分析了非对称夹持旋转驱动器实现大小不同惯性冲击力的原理以及压电旋转驱动器的运动过程。组成了压电旋转驱动器的测试系统,在不同电压幅值、频率的方波激励下,对压电旋转驱动器的平均步长进行了测试。结果表明:非对称夹持式压电旋转驱动器能实现较稳定的单向转动,最大行程为360°,最大承载能力超过300g,步长分辨率为5μrad,最大转动速度为4000μrad/s;驱动器样机在20V、2Hz的方波激励下,平均运动步长为12μrad,转动速度为24μrad/s。 展开更多
关键词 非对称波 惯性冲击 压电双晶片 旋转驱动器
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压电双晶片执行器驱动位移模型研究 被引量：15
10
作者 李东明 孙宝元 +1 位作者 董维杰 张化岚 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第17期1499-1501,共3页
通过对压电双晶片执行器的受力分析 ,推导出弹性梁双面对称粘贴和单面粘贴压电片驱动位移模型的计算公式。通过计算机数值模拟 ,分析了弹性梁厚度及材料特性对驱动位移的影响。实验研究证明了所建模型的正确性 ,为双晶片结构中压电片和... 通过对压电双晶片执行器的受力分析 ,推导出弹性梁双面对称粘贴和单面粘贴压电片驱动位移模型的计算公式。通过计算机数值模拟 ,分析了弹性梁厚度及材料特性对驱动位移的影响。实验研究证明了所建模型的正确性 ,为双晶片结构中压电片和弹性梁的选择提供了理论依据。 展开更多
关键词 压电双晶片执行器 位移模型 弹性梁 数值模拟
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双压电复合薄圆板驱动器的理论分析 被引量：22
11
作者 刘品宽 孙立宁 +1 位作者 祝宇虹 赵研峰 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第2期111-115,共5页
双压电膜是由压电材料层、环氧树脂层、金属层组成的复合薄圆板。将多层双压电膜组合在一起构成管内移动微小机器人的驱动器。文章基于压电和金属材料的弹性薄板理论 ,应用瑞利 -李兹近似求解法 ,推导了在固支与简支两种边界条件下 ,双... 双压电膜是由压电材料层、环氧树脂层、金属层组成的复合薄圆板。将多层双压电膜组合在一起构成管内移动微小机器人的驱动器。文章基于压电和金属材料的弹性薄板理论 ,应用瑞利 -李兹近似求解法 ,推导了在固支与简支两种边界条件下 ,双压电膜的弯曲振动的固有频率与相对应的振型的计算表达式。将理论计算与有限元分析的结果进行对比分析 ,结果表明 ,两者的计算结果吻合好 ,验证理论分析的正确性。分析与讨论了压电层与金属层的厚度对固有频率的影响。 展开更多
关键词 双压电复合薄圆板 驱动器 理论分析
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双晶悬臂梁压电发电装置发电能力的仿真 被引量：16
12
作者 龚俊杰 许颖颖 +1 位作者 阮志林 边义祥 《振动．测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2014年第4期658-663,776,共6页
针对双晶片悬臂梁式压电振子的理论模型,分析了压电振子的结构参数对压电发电装置发电能力的影响。运用ANSYS有限元软件建立了压电振子的压电耦合模型,研究了压电振子的配重质量、悬臂梁长度和金属基板厚度等结构参数对压电振子的固有... 针对双晶片悬臂梁式压电振子的理论模型,分析了压电振子的结构参数对压电发电装置发电能力的影响。运用ANSYS有限元软件建立了压电振子的压电耦合模型,研究了压电振子的配重质量、悬臂梁长度和金属基板厚度等结构参数对压电振子的固有频率以及压电发电装置发电量的影响规律。为了验证有限元模型的正确性,对典型结构参数压电悬臂梁的一阶固有频率和发电电压进行了实验测量。仿真结果表明,增加悬臂梁的配置质量和长度、减小悬臂梁基板的厚度都可以降低结构的固有频率,选择恰当的结构参数匹配可以使发电装置的固有频率接近外界的激振频率,从而实现最佳的发电性能。 展开更多
关键词 压电发电 双晶压电悬臂梁 压电振子 压电耦合模型 发电能力 仿真分析
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压电双晶片驱动的仿生柔性扑翼机构研究 被引量：12
13
作者 王姝歆 陈国平 +1 位作者 周建华 颜景平 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期617-622,共6页
分析了昆虫的翅膀-胸部运动系统,并以此为基础,仿生设计出压电双晶片驱动,柔性双摇杆机构放大位移并带动仿生翅拍动的扑翼系统。分析了压电双晶片的工作原理,讨论了柔性四杆机构的自由度和运动学,并对整个系统的准静力学进行探讨,以确... 分析了昆虫的翅膀-胸部运动系统,并以此为基础,仿生设计出压电双晶片驱动,柔性双摇杆机构放大位移并带动仿生翅拍动的扑翼系统。分析了压电双晶片的工作原理,讨论了柔性四杆机构的自由度和运动学,并对整个系统的准静力学进行探讨,以确定能否产生足够的力克服空气阻尼。仿真和实验结果表明,通过柔性机构放大压电双晶片位移,能实现仿生翅所需运动,同时进一步的优化设计将有助于改进扑翼机构的运动性能。 展开更多
关键词 压电双晶片 柔性机构 扑翼系统 微型扑翼飞行器
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压电双晶片驱动的压电微泵的研究 被引量：10
14
作者 王海宁 崔大付 +1 位作者 耿照新 陈兴 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第3期302-304,共3页
介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用双面湿法腐蚀形成被动阀,并利用压电双晶片作为驱动部件。对压电双晶片的理论变形量和压电微泵的泵腔变化量、泵腔压缩比进行了理论分析,并对其输出流... 介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用双面湿法腐蚀形成被动阀,并利用压电双晶片作为驱动部件。对压电双晶片的理论变形量和压电微泵的泵腔变化量、泵腔压缩比进行了理论分析,并对其输出流量进行了测试。在100 V、20 Hz的方波驱动下,该压电微泵的最大输出流量为317μL/min。结果显示该压电微泵的制作工艺简单,具有良好的流体驱动性能。 展开更多
关键词 微泵 压电双晶片 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
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泵用圆形压电双晶片弯曲变形分析 被引量：8
15
作者 孙晓锋 杨志刚 +2 位作者 邵泽波 段浩 姜斌 《排灌机械工程学报》 EI 北大核心 2013年第1期31-35,共5页
为了准确获得压电泵泵腔容积的变化量,需要对压电振子的变形特性进行理论分析.将压电双晶片的受力模型分成2部分,即中间压电陶瓷和金属基板的3层复合部分,以及外部的金属基板部分.应用弹性薄板的小挠度弯曲变形理论,推导出固定边界条件... 为了准确获得压电泵泵腔容积的变化量,需要对压电振子的变形特性进行理论分析.将压电双晶片的受力模型分成2部分,即中间压电陶瓷和金属基板的3层复合部分,以及外部的金属基板部分.应用弹性薄板的小挠度弯曲变形理论,推导出固定边界条件下双晶片振动时的容积变化方程.结果表明:压电双晶片振动时容积变化的大小,是与双晶片的几何参数、材料的性能参数以及驱动电压有关的量.为了验证理论推导的正确性,对铜基板直径为35 mm、压电陶瓷直径为29 mm的压电双晶片,在不同直流电压驱动下中心点振幅进行非接触式激光测试,并将测试结果与理论计算值进行比较,结果表明:理论计算值要略大于实际测试值,两者之间存在20%左右的误差,但存在着一致性.应用泵腔容积变化量的理论计算方法,计算得到利用该压电振子制作的单腔压电泵在110 V,200 Hz正弦电压信号的作用下,泵腔每次振动产生的容积变化量约为128.81 mm3,理论上最大输出流量为3 091 mL/min. 展开更多
关键词 圆形压电双晶片 弯曲变形 容积 压电泵 输出流量
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双压电薄膜微机器人驱动器的模态分析 被引量：8
16
作者 罗怡 龚振邦 +1 位作者 孙麟治 汪勤悫 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2001年第3期85-87,共3页
讨论了一种双压电薄膜驱动的微机器人 ,它适用于 2 0mm管径的管道检测。本文利用有限元分析的方法研究了双压电薄膜不同边界条件对微机器人驱动器固有频率的影响 ,对样机的实验结果表明理论计算和实验基本符合结论揭示了双压电薄膜微... 讨论了一种双压电薄膜驱动的微机器人 ,它适用于 2 0mm管径的管道检测。本文利用有限元分析的方法研究了双压电薄膜不同边界条件对微机器人驱动器固有频率的影响 ,对样机的实验结果表明理论计算和实验基本符合结论揭示了双压电薄膜微机器人依靠惯性冲击振动获得驱动的机理 。 展开更多
关键词 双压电薄膜 微机器人 驱动器 固有频率 模态分析
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一种无阀压电微泵的研究 被引量：5
17
作者 王海宁 崔大付 +2 位作者 耿照新 刘长春 陈兴 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2006年第6期668-670,共3页
介绍了一种适用于微流体系统的无阀微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用硅各向异性腐蚀形成扩散口/喷口结构,并利用压电双晶片作为驱动部件。该微泵的制作工艺简单,使用寿命长,具有良好的液体驱动性能。对于使用15 mm长... 介绍了一种适用于微流体系统的无阀微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用硅各向异性腐蚀形成扩散口/喷口结构,并利用压电双晶片作为驱动部件。该微泵的制作工艺简单,使用寿命长,具有良好的液体驱动性能。对于使用15 mm长的压电双晶片作为驱动器的压电无阀微泵,在100 V6、0 Hz、占空比为1的方波驱动下,最大流速可达151μL/min。 展开更多
关键词 无阀 微泵 压电双晶片 PDMS
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双压电片镜在同步辐射光源光学系统中的应用 被引量：5
18
作者 金利民 罗红心 +2 位作者 王劼 王纳秀 徐中民 《中国光学》 EI CAS CSCD 2017年第6期699-707,共9页
介绍了双压电片镜自适应光学技术,同时为其在同步辐射光学领域中的应用与进一步发展提供前瞻性的思考与探索。根据目前已公开发表的相关文献资料,总结介绍了双压电片镜自适应光学技术,阐述了该技术的工作机理与关键参数,并对其在国际上... 介绍了双压电片镜自适应光学技术,同时为其在同步辐射光学领域中的应用与进一步发展提供前瞻性的思考与探索。根据目前已公开发表的相关文献资料,总结介绍了双压电片镜自适应光学技术,阐述了该技术的工作机理与关键参数,并对其在国际上具有代表性的同步辐射机构中的应用情况作出描述,并指出涉及的关键技术问题与未来的发展趋势:不仅要有效地解决"连接点效应"对双压电片镜技术的负面影响,还要实现亚微米乃至纳米级的聚焦光斑,这两项内容都是双压电片镜技术需要进一步解决的重要问题。未来,双压电片镜自适应光学技术可望在我国先进的第三代同步辐射装置—"上海光源(Shanghai Synchrotron Radiation Facility,SSRF)"二期工程建设中得到应用。 展开更多
关键词 自适应光学 双压电 面形精度 同步辐射
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37单元双压电片变形镜板条激光光束净化 被引量：7
19
作者 晏虎 雷翔 +5 位作者 刘文劲 王帅 高源 董理治 杨平 许冰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1663-1666,共4页
为了校正板条激光器输出光束波前像差,改善输出光束质量,提出了基于37单元双压电片变形镜的板条激光光束净化系统。采用柱面反射式单向扩束器使主振荡功率放大结构板条激光器输出光束尺寸与37单元双压电片变形镜有效口径相匹配,利用随... 为了校正板条激光器输出光束波前像差,改善输出光束质量,提出了基于37单元双压电片变形镜的板条激光光束净化系统。采用柱面反射式单向扩束器使主振荡功率放大结构板条激光器输出光束尺寸与37单元双压电片变形镜有效口径相匹配,利用随机并行梯度下降算法控制双压电片变形镜面形,进行波前像差闭环校正,校正后光束远场归一化桶中功率提高到净化前的2～3倍。 展开更多
关键词 自适应光学系统 双压电片变形镜 板条激光器 光束净化 光束质量
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超精表面缺陷检测系统的实验研究 被引量：5
20
作者 李玉和 李庆祥 +2 位作者 王东生 葛杨翔 廖小华 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期65-68,共4页
电子产品高度集成化与高性能化发展,对超精表面及亚表面无损伤性要求越来越高。为实现纳米尺度分辨率、大视场表面损伤检测,利用原子力微悬臂探针设计了一种新型超精表面缺陷探测系统,采用柔性机构进行微悬臂探针俯仰与倾斜度微调,利用... 电子产品高度集成化与高性能化发展,对超精表面及亚表面无损伤性要求越来越高。为实现纳米尺度分辨率、大视场表面损伤检测,利用原子力微悬臂探针设计了一种新型超精表面缺陷探测系统,采用柔性机构进行微悬臂探针俯仰与倾斜度微调,利用压电双晶片实现接触、非接触以及轻敲3种不同探测模式。系统特性实验表明:该探测系统位移分辨率可达2 nm,共振频率90 Hz,满足超精表面缺陷检测系统性能要求。 展开更多
关键词 微探头 柔性铰链 压电双晶片 激光干涉
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