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一种BGA封装的低损耗毫米波前端模组设计
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作者 蒲星明 赵怡 +3 位作者 董刚 韩世宏 范齐升 余怀强 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期40-44,共5页
针对小型化、低成本化、集成化T/R组件的需求,提出了一种工作在30~40 GHz的毫米波前端模组。该模组采用高温共烧陶瓷(HTCC)基板和球栅阵列(BGA)封装,实现了4个收发通道的高密度集成,具备信号放大、功率分配和幅相控制等功能。通过对该... 针对小型化、低成本化、集成化T/R组件的需求,提出了一种工作在30~40 GHz的毫米波前端模组。该模组采用高温共烧陶瓷(HTCC)基板和球栅阵列(BGA)封装,实现了4个收发通道的高密度集成,具备信号放大、功率分配和幅相控制等功能。通过对该模组毫米波信号垂直互连结构的仿真优化,实现了该结构在毫米波频段的低损耗信号传输。设计制作PCB测试板对该垂直互连结构进行测试验证,经计算得到该垂直互连结构最高插入损耗为0.78 dB。采用该毫米波信号垂直互连结构制作了一款Ka波段四通道毫米波前端模组。测试结果表明,该模组在30~40 GHz时单通道发射功率大于20 dBm,接收增益大于21.33 dB,驻波比优于1.51,满足射频系统的应用需求。 展开更多
关键词 球栅阵列(bga)封装 毫米波 前端模组 垂直互连结构 高温共烧陶瓷(HTCC)
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基于改进YOLOv8网络模型的芯片BGA缺陷检测
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作者 陈澍元 王鸣昕 +1 位作者 赵嘉宁 蒋忠进 《半导体技术》 北大核心 2025年第4期378-384,392,共8页
为提高芯片球栅阵列(BGA)缺陷检测的精度和效率,提出一种基于改进YOLOv8网络模型的芯片BGA缺陷检测方法。该方法以常规YOLOv8网络模型为基础,在骨干网络中引入双层路由注意力(BRA)机制,以增强模型捕捉长程依赖和复杂特征的能力;在检测... 为提高芯片球栅阵列(BGA)缺陷检测的精度和效率,提出一种基于改进YOLOv8网络模型的芯片BGA缺陷检测方法。该方法以常规YOLOv8网络模型为基础,在骨干网络中引入双层路由注意力(BRA)机制,以增强模型捕捉长程依赖和复杂特征的能力;在检测头网络中引入双标签分配策略,从而省略耗时的非极大值抑制(NMS)运算,以提高模型检测速度;此外,引入Focaler-WiseIoU边框回归损失函数,以提高模型的边框回归精度。进行了大量基于实测数据的BGA缺陷检测实验,实验结果验证了改进YOLOv8模型的有效性,其总体性能优于三种对比模型。相比常规YOLOv8模型,改进YOLOv8模型的精确率提高了1.2%,召回率提高了3.9%,平均精度均值mAP_(50)提高了2.9%,mAP_(50~95)提高了2.2%,每秒处理帧数(FPS)提高了33.8%。 展开更多
关键词 球栅阵列(bga) 缺陷检测 深度学习 YOLOv8 注意力机制
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面向广义Chiplet的高速BGA与PCB传输结构设计 被引量:1
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作者 陈天宇 李川 王彦辉 《计算机工程与科学》 CSCD 北大核心 2024年第6期977-983,共7页
从广义Chiplet互连设计出发,重点研究BGA区域孔串扰分析方法和优化措施。提出以单元阵列孔建模计算作为全芯片BGA区域孔串扰评估方式,进一步根据不同布线层互连分析需求构建了多层扇出的孔建模平台。单元阵列孔建模分析结果和多层扇出... 从广义Chiplet互连设计出发,重点研究BGA区域孔串扰分析方法和优化措施。提出以单元阵列孔建模计算作为全芯片BGA区域孔串扰评估方式,进一步根据不同布线层互连分析需求构建了多层扇出的孔建模平台。单元阵列孔建模分析结果和多层扇出孔阵建模分析结果相互印证,说明以单元阵列作为串扰评估最小单元是准确的,多层扇出孔阵建模方式是高效可行的。采用多层扇出孔阵建模平台对2种BGA封装管脚对应的PCB孔串扰进行了对比分析。结果显示,在封装管脚设计时,提高邻近信号孔间距与邻近信号孔地孔间距比例比增加地孔数量和管脚间距更能有效地抑制串扰。 展开更多
关键词 单元阵列 球栅阵列 管脚分配 信号完整性 串扰
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一种基于倒装芯片的超宽带BGA封装差分传输结构 被引量:2
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作者 杨振涛 余希猛 +4 位作者 张俊 段强 杨德明 白宇鹏 刘林杰 《半导体技术》 北大核心 2024年第1期91-96,共6页
随着高速数字电路和射频微波电路对时钟频率和带宽的要求越来越高,差分传输结构因其优良的噪声抑制和抗干扰性能而受到越来越多的重视。提出了一种基于倒装芯片的超宽带球栅阵列(BGA)封装差分传输结构。整体传输结构包括采用陶瓷材料制... 随着高速数字电路和射频微波电路对时钟频率和带宽的要求越来越高,差分传输结构因其优良的噪声抑制和抗干扰性能而受到越来越多的重视。提出了一种基于倒装芯片的超宽带球栅阵列(BGA)封装差分传输结构。整体传输结构包括采用陶瓷材料制作的倒装芯片用基板、BGA封装焊球和印制电路板(PCB)。主要分析了差分垂直传输结构的尺寸参数对阻抗和截止频率的影响,并利用阶梯过孔减小阻抗不连续性。整体结构的传输性能通过矢量网络分析仪测试的散射参数来表征。测试与仿真结果具有较好的一致性,在DC~60 GHz频段,差分传输结构的回波损耗≤-15 dB,插入损耗优于-1 dB,为超宽带倒装芯片的封装设计提供参考。 展开更多
关键词 陶瓷基板 倒装芯片 球栅阵列(bga)封装差分传输结构 垂直互连 高次模 信号完整性
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基于虚拟样机的BGA供球机构动态性能仿真研究 被引量:2
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作者 夏链 吴斌 +2 位作者 田晓青 吴路路 韩江 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2013年第8期910-914,共5页
文章研究了基于虚拟样机技术的BGA植球机供球机构的动态性能,通过相关理论分析及仿真验证,解决了虚拟样机建模的关键技术问题,如刷子与推子和翻板之间的约束、基于接触碰撞理论的焊料球和翻板之间的摩擦接触定义等。分析供球机构实际工... 文章研究了基于虚拟样机技术的BGA植球机供球机构的动态性能,通过相关理论分析及仿真验证,解决了虚拟样机建模的关键技术问题,如刷子与推子和翻板之间的约束、基于接触碰撞理论的焊料球和翻板之间的摩擦接触定义等。分析供球机构实际工艺动作,确定了工艺循环时序图。由于目前翻板电机驱动普遍采用T型加减速控制方式,运动过程存在明显冲击,故提出采用一种改进的加减速三角函数控制方式,分别对2种控制方式进行动力学仿真,得到对应的动态性能曲线,经过反复实验验证,确定三角函数驱动方式的优越性。根据仿真结果及BGA植球机的实际情况,提出了优化的解决方案,为供球机构设计和性能评价提供了一种新的方法和手段。 展开更多
关键词 虚拟样机 球栅阵列 供球机构 动态性能
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基于焊点形态分析的小节距BGA焊盘尺寸设计 被引量:2
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作者 陈轶龙 贾建援 +1 位作者 付红志 朱朝飞 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第13期1779-1782,共4页
为了寻找BGA焊点体积、焊盘尺寸及焊点节距之间的最佳匹配关系以提高焊接成品率,研究了焊点形态对焊接高度的影响。通过Runge-Kutta方法求解带体积约束的Young-Laplace方程,仿真分析了特定节距下焊点体积与焊盘尺寸对焊接效果的影响。... 为了寻找BGA焊点体积、焊盘尺寸及焊点节距之间的最佳匹配关系以提高焊接成品率,研究了焊点形态对焊接高度的影响。通过Runge-Kutta方法求解带体积约束的Young-Laplace方程,仿真分析了特定节距下焊点体积与焊盘尺寸对焊接效果的影响。结果表明,焊点体积的变化会使得整个焊点高度与承载力的关系曲线向左或者向右平移,而焊盘直径则对焊点的最大高度影响更加明显。需要同时改变焊点体积及焊盘直径以得到能够适应相应封装形式的翘曲变形。最后,按照中兴通讯股份有限公司某封装的0.4mm节距BGA的标准,分析了0.35mm节距及0.3mm节距BGA封装下焊点体积与焊盘直径的最佳匹配关系。 展开更多
关键词 球栅阵列封装 承载力 焊盘 节距
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BGA植球机三维计算机辅助模块化设计 被引量:3
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作者 王晶 夏链 +1 位作者 戴文明 韩江 《现代制造工程》 CSCD 2006年第3期43-45,共3页
球栅阵列(BGA)封装能很好地满足IC芯片引脚数越来越多、IC尺寸越来越小的要求,成为新的IC封装技术主流。分析BGA植球机的工艺过程和工作原理,完成该设备的机械部分设计。在对BGA全自动植球机进行运动仿真后,可以确定各个机构运动正常。... 球栅阵列(BGA)封装能很好地满足IC芯片引脚数越来越多、IC尺寸越来越小的要求,成为新的IC封装技术主流。分析BGA植球机的工艺过程和工作原理,完成该设备的机械部分设计。在对BGA全自动植球机进行运动仿真后,可以确定各个机构运动正常。所设计的STAR-04Z型BGA全自动植球机产品样机能够满足市场的功能需求。 展开更多
关键词 球栅阵列 半导体封装 机械设计 运动仿真
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高温高电流密度下BGA焊点电迁移损伤 被引量:6
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作者 郭福 文廷玉 +2 位作者 马立民 王乙舒 王娇娇 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第11期1264-1274,共11页
为了研究球栅陈列封装(ball grid array,BGA)焊点在高温、高电流密度条件下的电迁移损伤演化行为,基于COMSOL Multiphysics 5.5软件提出一种损伤记录方法来模拟电-热-力多物理场耦合的工况,分析电迁移空洞产生和扩展的过程.综合考虑了... 为了研究球栅陈列封装(ball grid array,BGA)焊点在高温、高电流密度条件下的电迁移损伤演化行为,基于COMSOL Multiphysics 5.5软件提出一种损伤记录方法来模拟电-热-力多物理场耦合的工况,分析电迁移空洞产生和扩展的过程.综合考虑了电子风力、温度梯度、应力梯度和原子浓度梯度4种原子扩散动力对原子迁移的作用.结果表明:电迁移过程中电子风力和原子浓度梯度对电迁移空洞的形成起着主要作用,随着损伤的积累,电流堆积因子不断提高,孔洞周围电子风力作用更加明显,相反,原子浓度梯度通量起到了抑制原子过度迁移的作用.环境温度会影响焊点原子扩散系数,较高的温度下原子扩散系数较大,当环境温度处于高低温循环条件时,应力梯度通量和电子风力通量成为原子迁移主要动力. 展开更多
关键词 电迁移 有限元 电-热耦合 损伤演化 COMSOL Multiphysics 球栅阵列封装(bga)
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一种基于BGA的Ka波段射频信号传输设计 被引量:3
9
作者 谢书珊 阮文州 蔡晓波 《微波学报》 CSCD 北大核心 2023年第S01期222-224,共3页
Ka波段射频信号的垂直传输技术是实现Ka波段SiP板级应用的关键技术。文中针对应用BGA管脚的陶瓷封装Ka波段SiP装配于PCB的情况,设计了从芯片键合、微带传输、类同轴陶瓷基板垂直传输、类同轴BGA传输、类同轴微波印制板垂直传输到PCB带... Ka波段射频信号的垂直传输技术是实现Ka波段SiP板级应用的关键技术。文中针对应用BGA管脚的陶瓷封装Ka波段SiP装配于PCB的情况,设计了从芯片键合、微带传输、类同轴陶瓷基板垂直传输、类同轴BGA传输、类同轴微波印制板垂直传输到PCB带状线传输的连续传输结构。通过对传输结构建模,并进行计算和电磁场仿真,完成了基于BGA的陶瓷基板和PCB联合设计。在基板完成制造、芯片装配后进行端口驻波测试,驻波测试曲线显示端口匹配良好,仿真模型与实物一致性高。 展开更多
关键词 KA波段 类同轴 垂直传输 球栅阵列 端口匹配
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BGA封装结构热黏弹塑性的双尺度分析
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作者 李英梅 刘军 刘均 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1669-1672,共4页
将倒装焊底充胶BGA封装结构简化为含有非完全(单层)周期性微结构的多层板,基于均匀化理论,焊料采用统一型Anand黏塑性本构模型,建立了一种非完全周期结构的热黏弹塑性双尺度分析方法.通过Rayleigh-Ritz法,采用高阶逐层离散模型,耦合解... 将倒装焊底充胶BGA封装结构简化为含有非完全(单层)周期性微结构的多层板,基于均匀化理论,焊料采用统一型Anand黏塑性本构模型,建立了一种非完全周期结构的热黏弹塑性双尺度分析方法.通过Rayleigh-Ritz法,采用高阶逐层离散模型,耦合解析求解了热循环载荷作用下的宏、细观问题,确定了焊球的热应力应变行为.通过与有限元方法的结果对照,验证了该分析方法是简洁、有效的.算例结果显示,温度载荷、胶层厚度等是影响焊球热黏弹塑性响应的主要因素. 展开更多
关键词 bga 均匀化理论 黏弹塑性 热循环载荷 多层板
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BGA器件焊接合格率的预测模型
11
作者 魏鹤琳 王奎升 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第8期718-722,共5页
在表面贴装技术(SMT)大规模生产过程中,如果能够对焊接合格率进行预测,无疑对提高SMT产品的生产率、产品可靠性及成本控制具有重要意义。以球栅阵列(BGA)器件为例,研究SMT焊接合格率的预测方法。通过统计分析,结合焊点成形软件的方法,... 在表面贴装技术(SMT)大规模生产过程中,如果能够对焊接合格率进行预测,无疑对提高SMT产品的生产率、产品可靠性及成本控制具有重要意义。以球栅阵列(BGA)器件为例,研究SMT焊接合格率的预测方法。通过统计分析,结合焊点成形软件的方法,建立了BGA器件焊接合格率的预测模型,运用该模型可以找出影响焊接合格率的制约因素。结合仿真技术模拟焊点形态,发现引起焊接缺陷各参数之间的关系,并提出相应的解决方案。 展开更多
关键词 球栅阵列 焊接合格率 焊接缺陷 焊点形态
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堆叠结构BGA焊接可靠性评价方法 被引量:7
12
作者 冉红雷 韦婷 +4 位作者 张魁 黄杰 柳华光 赵海龙 尹丽晶 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第5期407-411,共5页
设计了基于实时监测菊花链拓扑结构动态电阻的叠层球栅阵列封装(BGA)焊接可靠性评价方法,使用该方法研究叠层器件BGA焊接互连结构的环境可靠性。以基于硅通孔(TSV)技术的BGA互连的硅基双层器件为例,首先通过有限元仿真确定叠层器件各层... 设计了基于实时监测菊花链拓扑结构动态电阻的叠层球栅阵列封装(BGA)焊接可靠性评价方法,使用该方法研究叠层器件BGA焊接互连结构的环境可靠性。以基于硅通孔(TSV)技术的BGA互连的硅基双层器件为例,首先通过有限元仿真确定叠层器件各层焊点在-55~125℃条件下的应变和应力,并根据应变和应力将每一叠层焊点划分为敏感焊点和可靠焊点;然后将敏感焊点通过器件键合焊盘、键合丝、TSV、垂直过孔、可靠焊点和PCB布线相连接形成菊花链。由于敏感焊点是菊花链的薄弱环节,可以通过监测菊花链电阻变化来研究叠层器件的环境可靠性,并以此为基础设计了堆叠结构BGA产品焊接可靠性试验系统。该方法简单高效,能快速解决常规失效分析方法无法检测的BGA虚焊接、微小缺陷等问题。 展开更多
关键词 球栅阵列封装(bga) 焊接可靠性 菊花链 动态监测 应变和应力
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基于BGA/CSP封装技术的微型存储测试系统的研制 被引量:3
13
作者 陈鲁疆 熊继军 +1 位作者 马游春 张文栋 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2005年第2期94-96,共3页
文中主要研究设计了基于BGA/CSP微小封装技术的微型存储测试系统,并阐述了该系统的设计原理。系统采用CPLD(复杂可编程逻辑器件)与先进球栅阵列封装技术相结合的设计理念,使存储测试系统在微型化、微功耗和微噪声方面有了很大突破,进而... 文中主要研究设计了基于BGA/CSP微小封装技术的微型存储测试系统,并阐述了该系统的设计原理。系统采用CPLD(复杂可编程逻辑器件)与先进球栅阵列封装技术相结合的设计理念,使存储测试系统在微型化、微功耗和微噪声方面有了很大突破,进而拓展了存储测试技术的应用领域。同时指出了存储测试系统进一步微型化的发展趋势。 展开更多
关键词 存储测试系统 bga/CSP 封装技术 复杂可编程逻辑器件 研制 存储测试技术 设计原理 研究设计 设计理念 球栅阵列 CPLD 应用领域 发展趋势 微型化 微功耗
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Thermo-mechanical fatigue reliability optimization of PBGA solder joints based on ANN-PSO 被引量:2
14
作者 周继承 肖小清 +2 位作者 恩云飞 陈妮 王湘中 《Journal of Central South University of Technology》 EI 2008年第5期689-693,共5页
Based on a method combined artificial neural network (ANN) with particle swarm optimization (PSO) algorithm, the thermo-mechanical fatigue reliability of plastic ball grid array (PBGA) solder joints was studied. The s... Based on a method combined artificial neural network (ANN) with particle swarm optimization (PSO) algorithm, the thermo-mechanical fatigue reliability of plastic ball grid array (PBGA) solder joints was studied. The simulation experiments of accelerated thermal cycling test were performed by ANSYS software. Based on orthogonal array experiments, a back-propagation artificial neural network (BPNN) was used to establish the nonlinear multivariate relationship between thermo-mechanical fatigue reliability and control factors. Then, PSO was applied to obtaining the optimal levels of control factors by using the output of BPNN as the affinity measure. The results show that the control factors, such as print circuit board (PCB) size, PCB thickness, substrate size, substrate thickness, PCB coefficient of thermal expansion (CTE), substrate CTE, silicon die CTE, and solder joint CTE, have a great influence on thermo-mechanical fatigue reliability of PBGA solder joints. The ratio of signal to noise of ANN-PSO method is 51.77 dB and its error is 33.3% less than that of Taguchi method. Moreover, the running time of ANN-PSO method is only 2% of that of the BPNN. These conclusions are verified by the confirmative experiments. 展开更多
关键词 thermo-meehanical fatigue reliability solder joints plastic ball grid array finite element analysis Taguehi method artificial neural network particle swarm optimization
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温循与振动条件下三种加固方式的BGA焊点可靠性评估 被引量:2
15
作者 屈云鹏 张小龙 +4 位作者 李逵 覃拓 栗凡 李雪 陈轶龙 《半导体技术》 北大核心 2023年第12期1137-1144,共8页
围绕球栅阵列(BGA)封装器件加固,建立器件和板级有限元模型,分析在温循和随机振动条件下螺钉紧固、底部填充及局部点胶三种加固方式对BGA焊点可靠性的耦合作用规律。结果表明:静应力下,相比局部胶加固方式,底部填充方式会将螺钉紧固引... 围绕球栅阵列(BGA)封装器件加固,建立器件和板级有限元模型,分析在温循和随机振动条件下螺钉紧固、底部填充及局部点胶三种加固方式对BGA焊点可靠性的耦合作用规律。结果表明:静应力下,相比局部胶加固方式,底部填充方式会将螺钉紧固引起的变形传递给所有焊点,从而使焊点整体静应力处于较高水平;温循应力作用下,螺钉安装距离相同时,加固方式相较于螺钉位置对焊点热应力的影响更大,四角L形点胶加固方式具有更低的焊点热应力;振动应力作用下,螺钉紧固方式与局部点胶加固方式对降低随机振动应力均有积极作用,当螺钉位置与点胶加固位置交叉分布时,抗振性能最优。研究结果可为BGA印制件的结构设计与加固工艺设计提供参考。 展开更多
关键词 球栅阵列(bga)封装器件 有限元仿真 螺钉布局 底部填充加固 局部点胶加固
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基于自组装成品率的球栅阵列焊点工艺参数分析 被引量:3
16
作者 陈轶龙 贾建援 +1 位作者 付红志 朱朝飞 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第19期2658-2662,共5页
为了提高球栅阵列焊点封装器件的自组装成品率,研究了焊点体积偏差率及焊盘直径对器件自组装成品率的影响。考虑封装器件的温度翘曲变形、焊点体积的不可避免的制造误差及焊点位置的随机性,分析了器件自组装过程。通过求解不同体积焊点... 为了提高球栅阵列焊点封装器件的自组装成品率,研究了焊点体积偏差率及焊盘直径对器件自组装成品率的影响。考虑封装器件的温度翘曲变形、焊点体积的不可避免的制造误差及焊点位置的随机性,分析了器件自组装过程。通过求解不同体积焊点的形态,得到了不同体积焊点的液桥刚度曲线。基于不同体积焊点的液桥刚度曲线,仿真分析了焊点体积偏差率及焊盘直径对器件自组装成品率的影响。结果表明,焊点体积偏差率及焊盘直径的减小会增大焊点液桥刚度曲线的公共范围,从而提高器件的自组装成品率。 展开更多
关键词 球栅阵列封装 成品率 焊盘直径 体积偏差率
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跌落碰撞下球栅阵列无铅焊点失效分析 被引量:2
17
作者 刘芳 孟光 赵玫 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期727-730,共4页
为探究板级跌落碰撞下球栅阵列(BGA)无铅焊点的失效机制,分别进行了3种不同高度下BGA无铅焊点跌落试验和染色试验,分析无铅焊点在跌落碰撞下的失效机制,并与前人结果加以对比.结果表明,在跌落碰撞下,无铅焊点的失效机制为靠近封装一侧... 为探究板级跌落碰撞下球栅阵列(BGA)无铅焊点的失效机制,分别进行了3种不同高度下BGA无铅焊点跌落试验和染色试验,分析无铅焊点在跌落碰撞下的失效机制,并与前人结果加以对比.结果表明,在跌落碰撞下,无铅焊点的失效机制为靠近封装一侧的金属间化合物(IMC)界面脆性断裂,BGA无铅焊点失效的根本原因是机械冲击和电路板(PCB)的往复弯曲. 展开更多
关键词 无铅焊点 球栅阵列 跌落碰撞 失效 金属间化合物
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倒装陶瓷球栅阵列电子封装的热分析 被引量:1
18
作者 杨少柒 谢秀娟 +1 位作者 罗成 周立华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期63-67,共5页
建立了倒装陶瓷球栅阵列(flip chip ceramic ball grid array,FC-CBGA)封装的三维热模型。在5 W热负荷下,比较了裸芯片式、盖板式和盖板加装热沉三种情况下芯片的热性能,进而分析了有无热沉和不同空气流速下,盖板式封装的具体热流分配... 建立了倒装陶瓷球栅阵列(flip chip ceramic ball grid array,FC-CBGA)封装的三维热模型。在5 W热负荷下,比较了裸芯片式、盖板式和盖板加装热沉三种情况下芯片的热性能,进而分析了有无热沉和不同空气流速下,盖板式封装的具体热流分配情况。结果表明:在自然对流下,与裸芯片式相比,采用盖板式能使芯片结点温度降低约16℃,盖板加装热沉能使芯片结温降低47℃。芯片产生的热量大部分向上流向盖板,且随着空气流速的增加比例增大;由芯片流向盖板的热量有相当大一部分经过侧面流向基板,且随着流速增大比例较小。 展开更多
关键词 倒装 陶瓷 球栅阵列 电子封装 热分析
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MEMS封装技术研究进展与趋势 被引量:9
19
作者 田斌 胡明 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第5期58-60,共3页
介绍了MEMS(microelectromechanicalsystems)封装技术的研究现状和存在的问题,重点介绍了倒装芯片技术(flip chiptechnology简称FCT)、上下球栅阵列封装技术和多芯片模块封装技术三种很有前景的封装技术的特点及其在MEMS领域的应用实例... 介绍了MEMS(microelectromechanicalsystems)封装技术的研究现状和存在的问题,重点介绍了倒装芯片技术(flip chiptechnology简称FCT)、上下球栅阵列封装技术和多芯片模块封装技术三种很有前景的封装技术的特点及其在MEMS领域的应用实例,并且对MEMS封装有可能的发展趋势进行了分析。 展开更多
关键词 MEMS封装 研究现状 倒装芯片技术 上下球栅阵列 多芯片模块封装 微电子机械系统
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微机电系统的封装技术 被引量:7
20
作者 胡雪梅 吕俊霞 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第12期5-8,共4页
MEMS封装是在微电子封装技术基础上发展起来的一项关键的MEMS技术。介绍了MEMS封装技术的功能、特点与分类。在此基础上,重点介绍了键合技术、上下球栅阵列技术、倒装芯片技术、多芯片技术以及3-D技术等几种重要的MEMS封装技术。最后,... MEMS封装是在微电子封装技术基础上发展起来的一项关键的MEMS技术。介绍了MEMS封装技术的功能、特点与分类。在此基础上,重点介绍了键合技术、上下球栅阵列技术、倒装芯片技术、多芯片技术以及3-D技术等几种重要的MEMS封装技术。最后,进一步探讨了MEMS封装的发展趋势及研究方向。 展开更多
关键词 微机电封装 键合 上下球栅阵列 倒装焊 多芯片封装技术 3-D技术
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