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用光探针法测量表面复合速率
1
作者
张峰
葛万来
+1 位作者
沈其英
吴雅美
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第12期1590-1594,共5页
通过系统的研究分析，建立了应用光探针的光电（ＰＣ）测量方法，应用镜像法和点源产生近似原理建立了物理模型，并进行了系统的理论分析．导出了光电流与表面复合速率相应关系的计算公式，确定了可进行电量测量的实验装置．采用此方法...
通过系统的研究分析，建立了应用光探针的光电（ＰＣ）测量方法，应用镜像法和点源产生近似原理建立了物理模型，并进行了系统的理论分析．导出了光电流与表面复合速率相应关系的计算公式，确定了可进行电量测量的实验装置．采用此方法，测量了台面型高压硅半导体器件的无机钝化和有机保护界面的表面复合速率．通过测量结果和计算结果的归一化比较，获得了其表面复合速率．
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关键词
光电测量
表面复合速率
光探针法
半导体
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职称材料
题名
用光探针法测量表面复合速率
1
作者
张峰
葛万来
沈其英
吴雅美
机构
上海交通大学信息与控制工程系
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第12期1590-1594,共5页
基金
国家"八五"重点科技攻关项目
文摘
通过系统的研究分析，建立了应用光探针的光电（ＰＣ）测量方法，应用镜像法和点源产生近似原理建立了物理模型，并进行了系统的理论分析．导出了光电流与表面复合速率相应关系的计算公式，确定了可进行电量测量的实验装置．采用此方法，测量了台面型高压硅半导体器件的无机钝化和有机保护界面的表面复合速率．通过测量结果和计算结果的归一化比较，获得了其表面复合速率．
关键词
光电测量
表面复合速率
光探针法
半导体
Keywords
photo current measurement
surface recombination velocity
angle beveled mesa structure silicon pn junction
分类号
O472.4 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用光探针法测量表面复合速率
张峰
葛万来
沈其英
吴雅美
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999
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