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HT-7超导托卡马克第一壁硼碳膜的XPS分析
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作者 方应翠 张晓东 +2 位作者 辜学茂 王小明 何也熙 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2002年第4期595-598,共4页
通常在托卡马克第一壁沉积 1层硼碳膜 ,以降低托卡马克等离子体的氧杂质。现在 H T-7第一壁位置处放置几个石墨和不锈钢基体样品 ,与 H T-7一起硼化 ,硼化后取出部分样品膜 ,剩余样品留在真空室接受聚变等离子体的轰击 ,通过对鲜膜和轰... 通常在托卡马克第一壁沉积 1层硼碳膜 ,以降低托卡马克等离子体的氧杂质。现在 H T-7第一壁位置处放置几个石墨和不锈钢基体样品 ,与 H T-7一起硼化 ,硼化后取出部分样品膜 ,剩余样品留在真空室接受聚变等离子体的轰击 ,通过对鲜膜和轰击膜进行 XPS分析 ,发现膜由硼、碳、氧和铁等元素组成 ,并在膜深度方向上均匀分布 ,在成膜及等离子体轰击过程中 。 展开更多
关键词 HT-7 超导托卡马克 第一壁 硼碳膜 等离子体轰击 xps分析
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