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题名新型高灵敏度压电陶瓷多层膜结构加速度传感器
被引量：1
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作者
张望重
李国荣
郑嘹赢
殷庆瑞
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机构
中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期624-626,共3页
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基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2001AA325031)
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2002CB613306)
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文摘
采用压电陶瓷粉体厚膜流延成型工艺和陶瓷内电极共烧技术制成了一种圆环状多层膜结构的压电陶瓷片,用它代替以往圆环状单片压电陶瓷片后,其压电加速度的灵敏度大幅度提高。本文对该加速度的性能进行了研究。这种体积小、重量轻、灵敏度高的新型加速度计可望在高新技术领域中获得应用。
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关键词
流延技术
多层片式结构
压电陶瓷敏感元件
加速度传感器
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Keywords
tape-casting
monolithic multilayer
piezoelectric sensitive element
accelerometer the monolithic multilayered piezoelectric sensitive element
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分类号
O611
[理学—无机化学]
O782
[理学—晶体学]
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题名用于矢量水听器的压电单晶面剪切模式加速度计设计
被引量：2
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作者
李争徽
李世阳
葛骑岐
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机构
上海交通大学电子信息与电气工程学院
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第1期117-123,共7页
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文摘
面剪切振动模式产生于[011]极化方向zxt-45°切型的压电单晶,因具有高压电系数、高机械品质因数、高柔顺系数和低串扰效应等优点,故面剪切模式成为小尺寸、高灵敏度压电传感器的理想选择,在矢量水听器中有着良好的应用前景。该文通过分析面剪切模式振动原理,推导了面剪切模式压电加速度计的电压灵敏度表达式。利用有限元分析软件构建面剪切加速度计模型,研究结构参数对面剪切压电加速度计电压灵敏度和谐振频率的影响规律,优化结构尺寸,最终仿真得到面剪切加速度计开路电压灵敏度为389.72 mV/g,工作频带为20 Hz~3 kHz,横向灵敏度小于3.45%。研究结果表明,与传统的剪切式加速度计相比,所设计的面剪切式加速度计在质量块质量降低50%的同时,电压灵敏度提高了11.6%,这为降低水听器的平均密度、提升水声探测性能提供了新思路。
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关键词
压电加速度计
压电单晶
面剪切模式
有限元仿真
高灵敏度
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Keywords
piezoelectric accelerometer
piezoelectric single crystal
face shear mode
finite element simulation
high sensitivity
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分类号
TB565.1
[交通运输工程—水声工程]
TN384
[电子电信—物理电子学]
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