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三点式氧碘化学激光器光腔准直技术 被引量:2
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作者 熊木地 贾思楠 +1 位作者 张增宝 邹晓杰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1812-1816,共5页
提出三点式动态准直法,并以此设计具有自动校准功能的光腔自准直系统,提高了氧碘化学激光器的光束质量。该系统采用位置传感器作为光束位置检测元件,压电陶瓷作为动态调整元件,建立三输入三输出的耦合模型,利用多变量自适应闭环解耦控制... 提出三点式动态准直法,并以此设计具有自动校准功能的光腔自准直系统,提高了氧碘化学激光器的光束质量。该系统采用位置传感器作为光束位置检测元件,压电陶瓷作为动态调整元件,建立三输入三输出的耦合模型,利用多变量自适应闭环解耦控制法,实现准直系统的高速动态调整,实现了光腔准直,提高了光束质量。经初步实验验证,该系统准直范围可达4 mrad,精度为5μrad,响应频率达20 Hz,满足氧碘化学激光器对光腔准直系统的要求。 展开更多
关键词 氧碘化学激光器 三点式动态准直法 自动校准 解耦控制
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