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MEMS宽带电化学地震检波器
被引量：
6
1
作者
何文涛
陈德勇
+1 位作者
王军波
张正宇
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期444-451,共8页
针对深部油气勘探的需要,研制了基于微机电系统（MEMS）的宽带电化学地震检波器。仿真分析了影响该检波器频带的结构参数,并对其MEMS实现及封装方法进行了研究。利用有限元软件分析绝缘层厚度和阴极孔径对检波器幅频特性的影响,得到了...
针对深部油气勘探的需要,研制了基于微机电系统（MEMS）的宽带电化学地震检波器。仿真分析了影响该检波器频带的结构参数,并对其MEMS实现及封装方法进行了研究。利用有限元软件分析绝缘层厚度和阴极孔径对检波器幅频特性的影响,得到了优化的几何参数。基于仿真结果,利用MENS工艺加工硅基的Pt电极和Su-8的绝缘层,然后用物理紧固的方法进行器件封装。最后,分别在水平振动台和基岩上进行了检波器的性能测试和微震监测实验。实验结果表明：无需进行频率补偿,由20μm孔径阴极和200μm厚绝缘层封装的器件的频带可扩展到3~90 Hz,低频扩展到60S的补偿额度小于30dB,检波器的动态范围不小于130dB。实验显示：这种改进的检波器可以作为宽带地震检波器用于深部或海底的油气勘探。
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关键词
微机电系统(MEMS)
电化学地震检波器
宽频带
su-
8
绝缘层
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职称材料
题名
MEMS宽带电化学地震检波器
被引量：
6
1
作者
何文涛
陈德勇
王军波
张正宇
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期444-451,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.61072022)
欧盟第七框架计划资助项目(No.247641)
文摘
针对深部油气勘探的需要,研制了基于微机电系统（MEMS）的宽带电化学地震检波器。仿真分析了影响该检波器频带的结构参数,并对其MEMS实现及封装方法进行了研究。利用有限元软件分析绝缘层厚度和阴极孔径对检波器幅频特性的影响,得到了优化的几何参数。基于仿真结果,利用MENS工艺加工硅基的Pt电极和Su-8的绝缘层,然后用物理紧固的方法进行器件封装。最后,分别在水平振动台和基岩上进行了检波器的性能测试和微震监测实验。实验结果表明：无需进行频率补偿,由20μm孔径阴极和200μm厚绝缘层封装的器件的频带可扩展到3~90 Hz,低频扩展到60S的补偿额度小于30dB,检波器的动态范围不小于130dB。实验显示：这种改进的检波器可以作为宽带地震检波器用于深部或海底的油气勘探。
关键词
微机电系统(MEMS)
电化学地震检波器
宽频带
su-
8
绝缘层
Keywords
Micro-electro-mechanical System（MEMS）
electrochemical seismometer
broadband
su-8 insulating spacer
分类号
P631.436 [天文地球—地质矿产勘探]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS宽带电化学地震检波器
何文涛
陈德勇
王军波
张正宇
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
6
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