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用SPDT技术制备正弦调制靶的表面起伏图形 被引量:5
1
作者 谢军 黄燕华 +3 位作者 孙涛 郭俊杰 袁光辉 童维超 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期279-283,共5页
正弦调制靶是瑞利-泰勒(Rayleigh-Taylor,R-T)不稳定性研究的重要实验用靶。从国内外实验用靶的需求出发,采用金刚石车削技术,在紫铜表面完成了振幅为10μm、波长为100μm等一系列正弦曲线的加工。采用直线插补原理编制数控加工程序,利... 正弦调制靶是瑞利-泰勒(Rayleigh-Taylor,R-T)不稳定性研究的重要实验用靶。从国内外实验用靶的需求出发,采用金刚石车削技术,在紫铜表面完成了振幅为10μm、波长为100μm等一系列正弦曲线的加工。采用直线插补原理编制数控加工程序,利用超精密金刚石车床,设计了合理的加工工艺过程,分析了对正弦曲线轮廓加工及测量的主要影响因素及误差,通过Form Talysurf series 2型触针式轮廓仪对正弦曲线轮廓进行测量。结果表明:正弦曲线轮廓平滑,波长和振幅数值上与理论值基本相同。通过SPDT技术制备的正弦曲线图形基本满足R-T不稳定性实验需求。 展开更多
关键词 Rayleigh—Taylor不稳定性 单点金刚石切削 调制靶 惯性约束聚变
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SPDT 法控制非轴对称光学镜面的加工 被引量:1
2
作者 任要正 廖月明 陈懋圻 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期581-585,共5页
论述采用数控单点金刚石切削(SPDT)技术加工非轴对称光学镜面的设计与实现,介绍了该数控系统的软硬件结构及工艺参数的选择,分析了加工中的误差影响因素.实验表明:用数控SPDT加工非轴对称光学镜面是可行的.
关键词 数控切削 spdt 非轴对称 光学镜面
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非轴对称光学镜面的数控SPDT加工
3
作者 廖月明 任要正 +1 位作者 朱派龙 陈懋圻 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第6期47-50,共4页
论述采用数控单点金刚石车削(SPDT)技术加工非轴对称光学镜面的原理,介绍加工系统的结构、加工工艺参数及误差评定方法,实验表明,用数控SPDT技术加工非轴对称光学镜面是理想的。
关键词 非轴对称 光学镜面 金刚石切削 数控加工
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单点金刚石车削的离心变形误差修正策略
4
作者 薛志鹏 王佳宁 +5 位作者 陈顺发 肖皓维 李明志 刘畅 张雷 李文岩 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第3期291-298,共8页
铝合金反射镜在单点金刚石车削(Single-Point Diamond Turning, SPDT)加工过程中会因高速旋转产生离心变形,导致镜面的加工精度难以满足可见光级光学系统的质量要求。为解决上述问题,仿真分析了高速旋转状态下,反射镜表面存在的离心变... 铝合金反射镜在单点金刚石车削(Single-Point Diamond Turning, SPDT)加工过程中会因高速旋转产生离心变形,导致镜面的加工精度难以满足可见光级光学系统的质量要求。为解决上述问题,仿真分析了高速旋转状态下,反射镜表面存在的离心变形误差大小及形状,并进一步分析了离心变形对反射镜镜面加工的影响过程,提出包括镜体装夹方法以及轨迹修正方法的离心变形误差修正策略;针对300 mm口径的铝合金反射镜进行车削加工对比试验。反射镜加工精度PV=0.604λ,RMS=0.084λ,相较传统加工方案,RMS值和PV值分别降低了56.02%和58.88%,从而验证了所提出的离心变形误差修正策略能有效控制离心变形形状并实现误差的高效修正,为反射镜高精度加工提供了理论依据和技术支持。 展开更多
关键词 单点金刚石车削 离心变形 误差补偿 光学制造
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刀尖微结构SPDT振动压印装置及其试验研究
5
作者 吕俊杰 俞虹飞 +2 位作者 任旭 冯凯 王艺蒙 《机电工程》 CAS 北大核心 2019年第12期1282-1285,共4页
针对拉刀前刀面内凹且材质坚硬,难以实现刀尖表面微结构加工的问题,对单点金刚石刀具(SPDT)振动压印制备微结构的加工原理进行了研究,提出了一种刀尖微结构SPDT振动压印装置;利用此装置成功在试验拉刀前刀面制备了3排×30列,最大圆... 针对拉刀前刀面内凹且材质坚硬,难以实现刀尖表面微结构加工的问题,对单点金刚石刀具(SPDT)振动压印制备微结构的加工原理进行了研究,提出了一种刀尖微结构SPDT振动压印装置;利用此装置成功在试验拉刀前刀面制备了3排×30列,最大圆截面直径为30μm、深度为10μm的"圆坑型"微结构;并将此试验拉刀与常规拉刀进行了对比拉削试验,研究了刀尖微结构对拉削负载的影响。研究结果表明:在稳定拉削阶段,相较于常规拉刀,试验拉刀的拉削负载均值、最大值、最小值降幅分别达到了5.20%、5.04%和12.33%,说明在拉刀前刀面制备微结构后,可以有效降低拉削负载,提高拉削性能,改善现有加工技术。 展开更多
关键词 内凹型表面 刀尖微结构 单点金刚石刀具 振动压印
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基于表面粗糙度和反射率多目标优化的6061铝合金超精密车削工艺研究 被引量:1
6
作者 王光余 靳刚 +4 位作者 李占杰 谭辉 詹奇云 林怀鑫 王晓然 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第12期193-206,共14页
目的探究工艺参数对6061铝合金滚压件超精密车削性能的影响,对工件超精密车削加工表面粗糙度和表面光学反射率进行协同优化研究。方法首先,对6061铝合金材料表面进行单向超声振动滚压以提高工件表面质量。其次,设计了四因素四水平的超... 目的探究工艺参数对6061铝合金滚压件超精密车削性能的影响,对工件超精密车削加工表面粗糙度和表面光学反射率进行协同优化研究。方法首先,对6061铝合金材料表面进行单向超声振动滚压以提高工件表面质量。其次,设计了四因素四水平的超精密车削正交试验,研究了切削工艺参数(主轴转速、进给速度、背吃刀量、刀尖半径)对6061铝合金滚压件表面粗糙度及表面光学反射率的影响规律。最后,采用灰色关联分析方法,将多个工艺目标参数优化问题转化为单目标的灰色关联度优化问题,通过超精密车削试验对优化结果进行验证。结果主轴转速对表面粗糙度Ra和Sa的影响最显著,其次是刀尖半径和背吃刀量,进给速度的影响最小;工艺参数对可见光波段和中红外光波段反射率的影响程度与表面粗糙度一致,各参数按对近红外光波段反射率影响程度由大到小的顺序依次为背吃刀量、刀尖半径、进给速度、主轴转速;通过灰色关联分析获得优化工艺参数组合为主轴转速3000 r/min、进给速度10 mm/min、背吃刀量5μm、刀尖半径0.5 mm,此时对应的表面粗糙度R_(a)和S_(a)分别为2.162 nm和7.855 nm,可见光、近红外光、中红外光波段反射率分别为88.892%、88.893%、97.788%。结论通过优化结果能够有效降低表面粗糙度、提升表面光学反射率,对制造高水平金属反射镜具有十分重要的现实意义和研究价值。 展开更多
关键词 单点金刚石车削 6061铝合金 正交试验 表面粗糙度 表面光学反射率 灰色关联分析
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轻量化铝反射镜拓扑优化与加工试验研究
7
作者 张楚鹏 杨贤昭 陈肖 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第5期1034-1041,共8页
铝反射镜在航空航天和空间遥感卫星领域中广泛应用,为了提高铝反射镜的轻量化率,降低民用商业遥感卫星的发射成本,设计了一种背部开放式、三角形孔结构和三点支撑形式的轻量化铝反射镜。在此结构基础上,首先以质量最小为优化目标,以反... 铝反射镜在航空航天和空间遥感卫星领域中广泛应用,为了提高铝反射镜的轻量化率,降低民用商业遥感卫星的发射成本,设计了一种背部开放式、三角形孔结构和三点支撑形式的轻量化铝反射镜。在此结构基础上,首先以质量最小为优化目标,以反射镜背部加强筋的厚度和加强筋的布局为优化对象,以柔度最小为响应约束,应用有限元法对反射镜背部加强筋的厚度进行尺寸优化和加强筋的布局进行拓扑优化,得到的铝反射镜轻量化率超过63%;然后设计了工装夹具进行单点金刚石车削加工试验;最后使用激光干涉仪检测反射镜的面形精度。检测结果表明:反射镜的面形值PV(peak to valley)为1.48μm,能够满足民用商业遥感卫星的使用要求。 展开更多
关键词 铝反射镜 轻量化率 拓扑优化 单点金刚石车削
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硫系玻璃单点金刚石车削技术的研究进展
8
作者 周鹏 刘永华 +1 位作者 赵华 张加赢 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2024年第4期1237-1245,共9页
硫系玻璃是应用较为广泛且较难加工的红外光学元件。单点金刚石车削加工技术不仅具有较高的加工质量,还能有效避免磨料嵌入光学元件导致面形精度降低,适用于小口径、大批量硫系玻璃镜片的超精密加工。本文介绍了硫系玻璃单点金刚石车削... 硫系玻璃是应用较为广泛且较难加工的红外光学元件。单点金刚石车削加工技术不仅具有较高的加工质量,还能有效避免磨料嵌入光学元件导致面形精度降低,适用于小口径、大批量硫系玻璃镜片的超精密加工。本文介绍了硫系玻璃单点金刚石车削加工的原理和条件,综述了硫系玻璃单点金刚石车削加工过程中机床、刀具、加工工艺等对面形精度和表面光洁度的影响。 展开更多
关键词 硫系玻璃 单点金刚石车削加工 面形精度 表面光洁度 生产效率
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KDP晶体光学零件超精密加工技术研究的新进展 被引量:23
9
作者 王景贺 陈明君 +1 位作者 董申 尚元江 《工具技术》 北大核心 2004年第9期56-59,共4页
KDP晶体作为优质的非线性光学材料 ,被广泛的应用于激光非线性光学领域。由于大型KDP晶体具有一系列不利于光学加工的特点 ,因此被公认为是最难加工的光学零件。本文概述了KDP晶体超精密磨削和磁流变抛光的加工方法 ,阐述了KDP晶体光学... KDP晶体作为优质的非线性光学材料 ,被广泛的应用于激光非线性光学领域。由于大型KDP晶体具有一系列不利于光学加工的特点 ,因此被公认为是最难加工的光学零件。本文概述了KDP晶体超精密磨削和磁流变抛光的加工方法 ,阐述了KDP晶体光学零件单点金刚石加工技术的研究现状 ,并详细地分析了单点金刚石切削加工时机床精度、加工工艺参数、装夹变形、晶格方向变化、金刚石刀具几何参数、冷却液等对加工表面质量 (平面度、表面粗糙度、小尺度波纹等 ) 展开更多
关键词 超精密磨削 加工表面质量 光学零件 装夹 超精密加工技术 金刚石刀具 机床精度 光学加工 金刚石切削 磁流变抛光
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单点金刚石车削技术的研究 被引量:11
10
作者 李池娟 孙昌峰 +1 位作者 孟凡波 孟小龙 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2009年第12期1341-1343,共3页
介绍了单点金刚石车削原理,分析了单点金刚石车削技术中影响光学零件面形精度和粗糙度的重要技术因素,同时提出了相应的解决方案,并展望了单点金刚石车削技术在光学制造领域的应用前景。
关键词 单点金刚石车削(spdt) 面形精度 表面粗糙度
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微圆弧金刚石刀具车削锗单晶衍射元件 被引量:11
11
作者 李军琪 张云龙 +4 位作者 苏军 汪志斌 郭小岗 宗文俊 张磊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第11期3053-3058,共6页
锗单晶衍射光学元件具有特有的色散和温度特性,在红外光学领域,具有广阔的应用前景。衍射元件必须同时满足光学镜面及相位转变点的要求,采用微圆弧金刚石单点车削是解决这一途径的主要方法之一,但采用微圆弧刀具加工时,要求同时满足粗... 锗单晶衍射光学元件具有特有的色散和温度特性,在红外光学领域,具有广阔的应用前景。衍射元件必须同时满足光学镜面及相位转变点的要求,采用微圆弧金刚石单点车削是解决这一途径的主要方法之一,但采用微圆弧刀具加工时,要求同时满足粗糙度和相位突变点是加工衍射元件的难点,因此,研究微圆弧金刚石刀具车削锗单晶衍射元件具有重大意义。基于DEFORM 3D切削仿真软件,对金刚石刀具车削锗单晶材料进行了仿真分析,分析了切削参数、刀具参数对锗单晶材料粗糙度的影响,并依据仿真试验结果优选切削参数以及刀具参数进行试验,R0.1mm微圆弧刀具车削单晶材料粗糙度达到4 nm。 展开更多
关键词 单点金刚石车削 切削仿真 衍射光学元件 表面粗糙度
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光学阵列器件的慢刀伺服车削加工技术 被引量:17
12
作者 关朝亮 铁贵鹏 尹自强 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期31-35,47,共6页
慢刀伺服技术是相对于快刀伺服提出的方法。采用C轴、X轴、Z轴联动的方法在极坐标或圆柱坐标内进行加工。光学阵列如微透镜阵列、微反射镜阵列在高速数据、声音和视频信号传输中具有重要作用。将光学阵列看作一个自由曲面,使用慢刀伺服... 慢刀伺服技术是相对于快刀伺服提出的方法。采用C轴、X轴、Z轴联动的方法在极坐标或圆柱坐标内进行加工。光学阵列如微透镜阵列、微反射镜阵列在高速数据、声音和视频信号传输中具有重要作用。将光学阵列看作一个自由曲面,使用慢刀伺服车削技术一次加工成形,可以解决传统加工中将光学阵列分块加工后拼装和调整的困难。但是由于光学阵列表面形状复杂,其表面法线的突变可能会使机床运动超出伺服轴执行能力。根据慢刀伺服加工技术的特点,建立了伺服轴执行能力限制曲线,研究了不同刀具半径补偿方式对加工的影响。实验结果表明,根据机床伺服轴执行能力合理选择刀具半径补偿方式可实现微光学阵列器件高精度加工。 展开更多
关键词 慢刀伺服 超精密车削 光学阵列 自由曲面
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红外晶体等距恒速单点金刚石车削 被引量:9
13
作者 王朋 薛栋柏 +3 位作者 张昊 杨坤 李伟皓 回长顺 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第7期124-128,共5页
单点金刚石车削技术广泛应用于红外脆性晶体材料光学表面的加工。然而,受车削参数、材料特性、刀具参数等多因素的影响,将会导致车削表面质量的不均匀。为了获得更为均匀优质的表面质量,在分析单点金刚石车削影响因素的基础上,提出了等... 单点金刚石车削技术广泛应用于红外脆性晶体材料光学表面的加工。然而,受车削参数、材料特性、刀具参数等多因素的影响,将会导致车削表面质量的不均匀。为了获得更为均匀优质的表面质量,在分析单点金刚石车削影响因素的基础上,提出了等距恒速的车削方法。详细介绍了等距恒速车削的原理,分析了车削参数的确定过程,得到了等距恒速车削的工件转速和进给速度曲线。最后应用一CVD ZnS材料进行了车削试验,获得了该材料车削最佳的线速度,应用此参数进行车削,得到了均匀优质的车削表面,整体表面粗糙度由Ra=6.4 nm降低到了Ra=4.1 nm。 展开更多
关键词 红外晶体 等距恒速 单点金刚石车削
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状态方程实验用铜多台阶靶制备工艺 被引量:5
14
作者 谢军 邢丕峰 +8 位作者 杜凯 黄燕华 孙涛 易泰民 童维超 袁光辉 李朝阳 杨蒙生 郑风成 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期1493-1496,共4页
采用单点金刚石切削技术,通过合理的刀具设计、夹具设计及工艺过程设计,确定了加工工艺参数,完成了厚度几μm至几十μm的无氧铜多台阶靶的制备。通过触针式轮廓仪,台阶仪,白光干涉仪对表面轮廓及粗糙度进行了测量。结果表明:通过单点金... 采用单点金刚石切削技术,通过合理的刀具设计、夹具设计及工艺过程设计,确定了加工工艺参数,完成了厚度几μm至几十μm的无氧铜多台阶靶的制备。通过触针式轮廓仪,台阶仪,白光干涉仪对表面轮廓及粗糙度进行了测量。结果表明:通过单点金刚石切削技术加工成形的铜多台阶靶,各台阶表面均方根粗糙度小于50 nm,工件表面轮廓平直,台阶垂直度较好。采用阿基米德原理对材料密度进行测量,加工成形后密度为(8.945±0.074)g/cm3,接近材料理论密度。 展开更多
关键词 单点金刚石车削 多台阶
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KDP晶体塑性域超精密切削加工过程仿真 被引量:6
15
作者 陈明君 王景贺 +2 位作者 原大勇 罗熙淳 李旦 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期69-72,92,共5页
提出了压痕实验与有限元仿真结合的方法。它采用压痕深度与有限元仿真深度进行对比,可求解出KDP晶体的塑性特性参数。建立了KDP晶体塑性域切削的有限元模型,并用该模型仿真研究了切削参数对KDP晶体表面形成过程的影响。结果表明,在刀具... 提出了压痕实验与有限元仿真结合的方法。它采用压痕深度与有限元仿真深度进行对比,可求解出KDP晶体的塑性特性参数。建立了KDP晶体塑性域切削的有限元模型,并用该模型仿真研究了切削参数对KDP晶体表面形成过程的影响。结果表明,在刀具前角为-40°左右时,工件表面质量可达到最佳值。研究还发现,当刀具刃口半径为80nm时,其能够产生切屑的最小切削厚度在10nm-30nm之间,此时法向切削力与主切削力之比为0.96,该结论对KDP晶体超光滑表面的获取有着重要指导意义。 展开更多
关键词 KDP晶体 超精密加工 单点金刚石车削 模拟
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单点金刚石机床及其在光学工程领域的应用 被引量:12
16
作者 巩岩 赵磊 《中国光学》 EI CAS 2011年第6期537-545,共9页
介绍了单点金刚石车床概念,总结回顾了单点金刚石车床在国防和商业领域内的发展状况,给出了目前商用单点金刚石车床的典型产品。对单点金刚石车床的关键零部件和核心技术,如空气静压主轴、液压导轨、直流电机、对刀装置、误差补偿和自... 介绍了单点金刚石车床概念,总结回顾了单点金刚石车床在国防和商业领域内的发展状况,给出了目前商用单点金刚石车床的典型产品。对单点金刚石车床的关键零部件和核心技术,如空气静压主轴、液压导轨、直流电机、对刀装置、误差补偿和自适应控制等进行了分析。最后,介绍了适宜单点金刚石车削加工的材料,分析了快刀伺服和慢刀伺服在光学元件中的应用以及所加工的光学元件在国防和商用光电产品中的应用,并以主次镜望远镜系统和精密光学系统无调整装配为例,说明了单点金刚石车削在光电产品中的重要作用。 展开更多
关键词 超精密机床 单点金刚石车削 光学元件
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单点金刚石车削表面粗糙度的研究 被引量:6
17
作者 陈俊云 赵清亮 《北京工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1013-1019,共7页
为了进一步研究单点金刚石车削加工所获得的工件表面粗糙度,在前人工作的基础上,详细阐述了现有的具有代表性的单点金刚石车削表面粗糙度的研究方法及其优缺点,主要包括基于切削理论的方法、谱分析方法和人工智能方法.研究表明,最有前... 为了进一步研究单点金刚石车削加工所获得的工件表面粗糙度,在前人工作的基础上,详细阐述了现有的具有代表性的单点金刚石车削表面粗糙度的研究方法及其优缺点,主要包括基于切削理论的方法、谱分析方法和人工智能方法.研究表明,最有前途的方法是将上述几种方法结合起来,以发挥各自的优点. 展开更多
关键词 表面粗糙度 单点金刚石车削 理论模型 谱分析 人工智能
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切削用量对铝靶表面质量的影响 被引量:4
18
作者 谢军 黄燕华 +4 位作者 杜凯 袁光辉 郑凤成 黄丽珍 朱磊 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1693-1695,共3页
采用单点金刚石切削技术,完成了对ICF实验用铝靶的切削加工,重点研究了切削用量对加工表面质量的影响。实验结果表明:采用较小的进给速度,较大的主轴转速能够获得较低的表面粗糙度,切削深度对表面质量影响较小。通过Form Talysurf表面... 采用单点金刚石切削技术,完成了对ICF实验用铝靶的切削加工,重点研究了切削用量对加工表面质量的影响。实验结果表明:采用较小的进给速度,较大的主轴转速能够获得较低的表面粗糙度,切削深度对表面质量影响较小。通过Form Talysurf表面轮廓仪测量,结果表明表面粗糙度小于50 nm。 展开更多
关键词 单点金刚石切削 惯性约束聚变 铝靶 表面粗糙度
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超精密车削表面微观形貌对光学特性的影响 被引量:12
19
作者 黄昆涛 房丰洲 宫虎 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期101-107,共7页
研究了超精密车削表面微观拓扑形貌与光散射特性之间的关系,用于评价车削加工表面的光学性能并优化加工过程。采用阈值分析和粗糙表面散射理论分析两种方法研究了仅有理想刀痕的表面所产生的重影现象。阈值分析是指先计算单段圆弧刀痕... 研究了超精密车削表面微观拓扑形貌与光散射特性之间的关系,用于评价车削加工表面的光学性能并优化加工过程。采用阈值分析和粗糙表面散射理论分析两种方法研究了仅有理想刀痕的表面所产生的重影现象。阈值分析是指先计算单段圆弧刀痕的散射特性,再根据周期性结构对光的调制性来求得被加工表面为镜面对刀尖圆弧半径和进给率(主轴每转的进给距离)选择的大约临界值要求。在入射光波长500nm的情况下,当刀尖圆弧半径选择500μm时,可以计算得出阈值进给率为19μm。粗糙度散射理论分析则是通过电场积分公式——Stratton-Chu公式进行更精确的计算。实验表明,对于超精密车削加工得到的表面,当从入射光的非镜面方向,尤其是一极大散射方向观察不到光强时,即可以认为加工出了镜面效果。 展开更多
关键词 超精密车削 散射特性 Stratton—Chu积分 微观形貌
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无氧铜超精加工表面微观形貌的分形维数表征 被引量:5
20
作者 杨洋 王罡 +3 位作者 俞建超 周婷婷 李遥 帅茂兵 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期52-56,共5页
单点金刚石超精密加工能够获得纳米级的低粗糙度表面。进一步的实验表明,采用该工艺进行退火态无氧铜切削,已加工表面在刀痕基础上还会出现清晰的晶界浮凸现象。传统的粗糙度概念无法有效表征与区分含有晶界浮凸信息的超精加工表面微观... 单点金刚石超精密加工能够获得纳米级的低粗糙度表面。进一步的实验表明,采用该工艺进行退火态无氧铜切削,已加工表面在刀痕基础上还会出现清晰的晶界浮凸现象。传统的粗糙度概念无法有效表征与区分含有晶界浮凸信息的超精加工表面微观形貌。引入分形维数概念,采用该理论中尺码法对无氧铜超精加工表面的微观形貌进行分形维数计算;为降低切削刀痕信号干扰、突出晶界浮凸信息,设计表面信号带阻滤波方法。计算结果表明,超精加工后的表面分形维数包含了加工刀痕与晶界浮凸信息,由于两者尺度相近,传统的粗糙度测量无法区分其差异;采用带阻滤波与尺码法耦合方式,能够有效识别晶界浮凸特点,定量地反映微观尺度下超精加工表面的形貌特征信息。 展开更多
关键词 分形维数 晶界浮凸 尺码法 带阻滤波 单点金刚石切削
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