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高粘度SiO2材料烧蚀传热机理及试验验证 被引量:5
1
作者 俞继军 姜贵庆 李仲平 《空气动力学学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第4期462-465,共4页
通过对高粘度SiO2材料的烧蚀及传热分析,建立了硅基材料的固体层-液体层的耦合烧蚀计算方法。给出了材料烧蚀过程中烧蚀速度、液层厚度、液层温度及固体温度的表达式及求解方法,并把计算结果与电弧加热器平板烧蚀试验的液层厚度分布及... 通过对高粘度SiO2材料的烧蚀及传热分析,建立了硅基材料的固体层-液体层的耦合烧蚀计算方法。给出了材料烧蚀过程中烧蚀速度、液层厚度、液层温度及固体温度的表达式及求解方法,并把计算结果与电弧加热器平板烧蚀试验的液层厚度分布及烧蚀量的精确测量结果进行了对比。结果表明新模型的液层厚度及烧蚀量与实验结果符合很好。 展开更多
关键词 烧蚀 sio2材料 液层
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GaAs基底TiO2/SiO2减反射膜的反射率性能分析 被引量:8
2
作者 肖祥江 涂洁磊 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期69-73,共5页
本文设计并制备了适用于砷化镓(GaAs)多结太阳电池的TiO2/SiO2双层减反射膜,通过实测反射谱来验证了理论设计的正确性。利用编程分析了TiO2、SiO2单层膜的厚度及其折射率对双层膜系反射率的影响。结果显示,在短波范围(300~600 nm),TiO... 本文设计并制备了适用于砷化镓(GaAs)多结太阳电池的TiO2/SiO2双层减反射膜,通过实测反射谱来验证了理论设计的正确性。利用编程分析了TiO2、SiO2单层膜的厚度及其折射率对双层膜系反射率的影响。结果显示,在短波范围(300~600 nm),TiO2膜厚对反射率的影响要大于SiO2,而SiO2折射率对反射率的影响比TiO2大;在中波范围(600~900 nm),随着单层膜的厚度和折射率的增加,双层膜系反射率存在一个最小值,变化趋势是先降低,而随后增加。同时,计算结果得到SiO2和TiO2的最优物理膜厚分别为78.61 nm和50.87 nm,此时在短波段中心波长λ1=450 nm处最小反射率为0.0034%,在中波段中心波长λ2=750 nm处最小反射率为0.495%。采用电子束蒸发法在GaAs基底上淀积TiO2/SiO2双层膜,厚度分别为78 nm和50 nm。实测短波和中波相应的反射率极小值分别为0.37%和2.95%,与理论结果吻合较好。 展开更多
关键词 GaAs多结太阳电池 TiO2/sio2双层减反射膜 电子束蒸发 折射率
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SiO2薄膜对太阳电池电学性能的影响 被引量:1
3
作者 胡宇 孟凡英 +2 位作者 汪建强 李翔 黄建华 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1828-1831,共4页
研究了SiO2薄膜对晶体硅片的钝化作用及其对太阳电池电学性能的影响.基于PC1D软件,对SiO2/SiNx双层膜结构的硅太阳电池进行模拟,分析了硅片前表面复合速率和体寿命对电学特性的影响.模拟结果表明,当前表面复合速率大于104cm/s时,电池输... 研究了SiO2薄膜对晶体硅片的钝化作用及其对太阳电池电学性能的影响.基于PC1D软件,对SiO2/SiNx双层膜结构的硅太阳电池进行模拟,分析了硅片前表面复合速率和体寿命对电学特性的影响.模拟结果表明,当前表面复合速率大于104cm/s时,电池输出特性线性衰降;当体寿命小于30μs时,电池的开路电压和短路电流随体寿命的增加而线性增加.对比研究了SiO2、SiNx和SiO2/SiNx3种薄膜对晶体硅片的钝化效果.结果表明,SiO2/SiNx钝化的硅片在退火处理后有效少子寿命提高,具有这种双层膜的太阳电池短路电流、开路电压、光电转换效率和量子效率都有明显改善. 展开更多
关键词 二氧化硅 钝化 双层膜 太阳电池
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SiO2薄膜涂覆层数对304不锈钢抗高温氧化性能的影响 被引量:2
4
作者 马静 王瑞阳 温宁 《河北科技大学学报》 CAS 北大核心 2021年第1期75-81,共7页
为提高304不锈钢的抗高温氧化性能,以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,采用溶胶-凝胶法,在不锈钢表面制备了SiO2薄膜,通过氧化动力学,XRD,SEM和EDS分析,研究了涂覆层数对不锈钢900℃抗高温氧化性能的影响。结果表明,SiO2薄膜与不锈钢基体的附着... 为提高304不锈钢的抗高温氧化性能,以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,采用溶胶-凝胶法,在不锈钢表面制备了SiO2薄膜,通过氧化动力学,XRD,SEM和EDS分析,研究了涂覆层数对不锈钢900℃抗高温氧化性能的影响。结果表明,SiO2薄膜与不锈钢基体的附着性良好,促进了不锈钢表面发生选择性氧化,生成保护作用的Cr2O3和NiCr2O4氧化层,不锈钢的抗高温氧化性能显著提高,其中涂覆3层SiO2薄膜试样的抗高温氧化性能最佳,经900℃循环氧化100 h后氧化增重与氧化剥落仅为未涂覆试样的58.1%和41.4%。SiO2薄膜涂覆有效提高了不锈钢的抗高温氧化性能,是表面处理方法应用于高温环境的又一尝试,为溶胶-凝胶法制备其他薄膜提供了借鉴和参考。 展开更多
关键词 材料失效与保护 溶胶-凝胶法 sio2薄膜 涂覆层数 高温氧化 选择氧化
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多孔羰基铁/SiO2/聚吡咯核壳结构复合材料的制备及电磁特性 被引量:9
5
作者 谢明达 田晓霞 +1 位作者 屈绍波 程花蕾 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1261-1270,共10页
首先对羰基铁进行点腐蚀得到多孔羰基铁,然后采用St?ber法和原位聚合法将SiO_2和导电高分子聚吡咯包覆在多孔羰基铁表面,制备多孔羰基铁/SiO_2/聚吡咯电磁复合吸波材料。采用XRD、SEM、TEM、FT-IR对样品结构、微观形貌进行了表征,在网... 首先对羰基铁进行点腐蚀得到多孔羰基铁,然后采用St?ber法和原位聚合法将SiO_2和导电高分子聚吡咯包覆在多孔羰基铁表面,制备多孔羰基铁/SiO_2/聚吡咯电磁复合吸波材料。采用XRD、SEM、TEM、FT-IR对样品结构、微观形貌进行了表征,在网络分析仪中采用同轴法测试样品电磁参数,并根据传输线理论研究了2~18 GHz微波频段内吡咯含量及涂层厚度对样品吸波性能的影响。实验结果表明:制备的多孔羰基铁/SiO_2/聚吡咯复合电磁吸波材料具有核壳结构;随着吡咯加入量的增加,吸波材料吸收峰逐渐向低频方向移动;当涂层厚度为3.5 mm、吡咯加入量为6%(w/w)时,在9.44~17.56 GHz范围内反射率均低于-10 d B,频带宽度为8.12 GHz,损耗反射率达到-23 d B。良好的吸波性能归因于复合物有效的阻抗匹配特性及多重界面极化效应,多孔羰基铁/SiO_2/聚吡咯是一种轻质、宽频、强吸收的吸波材料。 展开更多
关键词 多孔羰基铁 sio2过渡层 聚吡咯 核壳结构 电磁特性
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Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7栅绝缘层的SiO2修饰对ZnO-TFTs性能的影响
6
作者 叶伟 崔立堃 常红梅 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1344-1351,共8页
具有高介电常数的栅绝缘层材料存在某种极化及耦合作用,使得ZnO-TFTs具有高的界面费米能级钉扎效应、大的电容耦合效应和低的载流子迁移率.为了解决这些问题,本文提出了一种使用SiO 2 修饰的Bi 1.5 Zn 1.0 Nb 1.5 O 7 作为栅绝缘层的ZnO... 具有高介电常数的栅绝缘层材料存在某种极化及耦合作用,使得ZnO-TFTs具有高的界面费米能级钉扎效应、大的电容耦合效应和低的载流子迁移率.为了解决这些问题,本文提出了一种使用SiO 2 修饰的Bi 1.5 Zn 1.0 Nb 1.5 O 7 作为栅绝缘层的ZnO-TFTs结构,分析了SiO 2 修饰对栅绝缘层和ZnO-TFTs性能的影响.结果表明,使用SiO 2 修饰后,栅绝缘层和ZnO-TFTs的性能得到显著提高,使得ZnO-TFTs在下一代显示领域中具有非常广泛的应用前景.栅绝缘层的漏电流密度从4.5×10^-5 A/cm^2 降低到7.7×10^-7 A/cm^2 ,粗糙度从4.52nm降低到3.74nm,ZnO-TFTs的亚阈值摆幅从10V/dec降低到2.81V/dec,界面态密度从8×10^13 cm^-2 降低到9×10 12 cm^-2 ,迁移率从0.001cm^2 /(V·s)升高到0.159cm^2 /(V·s). 展开更多
关键词 sio2薄膜 氧化锌薄膜晶体管 修饰层 Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7薄膜 射频磁控溅射
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SiO2阻挡层对电子束沉积法生长高迁移率IWO薄膜性能的影响 被引量:2
7
作者 任世荣 陈新亮 +4 位作者 张存善 孙建 张晓丹 耿新华 赵颖 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期843-847,共5页
利用电子束沉积技术在玻璃衬底上制备了IWO(In2O3∶WO3)薄膜和SiO2缓冲层,并将SiO2缓冲层对IWO薄膜性能的影响作了探究。SiO2缓冲层在室温生长。SIMS测试表明:SiO2缓冲层能有效阻挡浮法玻璃中的杂质进入到IWO薄膜。实验获得的具有SiO2... 利用电子束沉积技术在玻璃衬底上制备了IWO(In2O3∶WO3)薄膜和SiO2缓冲层,并将SiO2缓冲层对IWO薄膜性能的影响作了探究。SiO2缓冲层在室温生长。SIMS测试表明:SiO2缓冲层能有效阻挡浮法玻璃中的杂质进入到IWO薄膜。实验获得的具有SiO2阻挡层的IWO薄膜的电子迁移率μ~54.5 cm.2V-.1s-1,电阻率ρ~5.86×10-4Ω.cm,电子载流子浓度n~1.95×1020 cm-3,400~1600 nm光谱区域内的平均透过率~76%。 展开更多
关键词 电子束沉积技术 sio2阻挡层 IWO薄膜 高迁移率
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阶段升温工艺对SiO2改性Al颜料包覆性能的影响 被引量:1
8
作者 司政凯 张―梦 +6 位作者 闫丽伟 苏向东 张燕黎 曹林方 江慧 王―巍 刘燕刚 《涂料工业》 CAS CSCD 北大核心 2020年第11期45-50,共6页
研究了正硅酸乙酯(TEOS)在片状铝颜料表面水解缩聚形成SiO2包覆膜制备Al颜料的反应过程,重点探讨了两阶段升温变化对包覆性能的影响。FE-SEM和刮板试验结果表明:第一阶段温度50℃,第二阶段80℃时,能在片状铝颜料表面形成一层均匀、致密... 研究了正硅酸乙酯(TEOS)在片状铝颜料表面水解缩聚形成SiO2包覆膜制备Al颜料的反应过程,重点探讨了两阶段升温变化对包覆性能的影响。FE-SEM和刮板试验结果表明:第一阶段温度50℃,第二阶段80℃时,能在片状铝颜料表面形成一层均匀、致密且遮盖性高、光泽高的SiO2薄膜;EDS和粒径分布测试结果表明:与未包覆的铝颜料相比,SiO2包覆的Al颜料表面硅元素含量增加了1.48%,氧元素含量由1.81%增加到4.60%,SiO2包覆的Al颜料的D50增大了约15%,表明在铝颜料表面形成的SiO2包覆膜非常薄;在pH为9的弱碱性溶液中,220 h后析出的H2体积仅为未包覆铝颜料的2.2%,具有良好的耐弱碱性。 展开更多
关键词 铝颜料 包覆机理 sio2薄膜 阶段温度 耐碱性
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分层状多孔SiO2负载Ni基催化剂用于甲烷二氧化碳重整反应的研究 被引量:1
9
作者 孟昭俊 王自军 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2020年第4期104-109,共6页
以"膨胀-酸化"改性处理蛭石(VTM)制备的二维层状多孔纳米片(EXVTM-SiO2)为载体,采用浸渍法制备负载量不同的Ni/EXVTM-SiO2催化剂用于甲烷重整反应。通过BET、XRD、XRF、SEM、H2-TPR、TEM、TG等对催化剂进行表征,在常压750℃... 以"膨胀-酸化"改性处理蛭石(VTM)制备的二维层状多孔纳米片(EXVTM-SiO2)为载体,采用浸渍法制备负载量不同的Ni/EXVTM-SiO2催化剂用于甲烷重整反应。通过BET、XRD、XRF、SEM、H2-TPR、TEM、TG等对催化剂进行表征,在常压750℃条件下进行300 min稳定性实验。结果表明,10%Ni/EXVTM-SiO2表现出较好的催化活性及稳定性,其CO2、CH4的初始转化率分别为92%、55%。这主要是由于10%Ni/EXVTM-SiO2催化剂具有大的比表面积、较好的金属分散性,从而使催化剂具有一定的抗积碳和抗烧结性。 展开更多
关键词 膨胀-酸化 甲烷重整 蛭石 层状多孔sio2 镍基催化剂
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改性SiO2杂化层相变微胶囊的制备与表征 被引量:10
10
作者 王鑫 方建华 +4 位作者 吴江 刘坪 冯彦寒 刘娜 林旺 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期1431-1438,共8页
以相变温度为32℃的石蜡为芯材,三聚氰胺-甲醛树脂/改性SiO2杂化层为壁材,采用原位聚合法制备相变微胶囊。使用接触角测定仪考察了KH-570对纳米SiO2的有机改性效果;运用扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱仪(EDS)分析了微胶囊表面形貌及壳... 以相变温度为32℃的石蜡为芯材,三聚氰胺-甲醛树脂/改性SiO2杂化层为壁材,采用原位聚合法制备相变微胶囊。使用接触角测定仪考察了KH-570对纳米SiO2的有机改性效果;运用扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱仪(EDS)分析了微胶囊表面形貌及壳层表面的元素分布;采用差示扫描量热仪(DSC)测定了相变微胶囊的热性能参数。结果表明:使用KH-570有机改性的纳米SiO2颗粒制备杂化层能显著提升微胶囊的热稳定性与使用耐久性。当改性SiO2质量分数为3%时,制得的微胶囊呈光滑球形,SiO2颗粒在胶囊壳层表面分散均匀,其相变焓为135.1J/g,相变过程滞后,并且微胶囊芯材在有机溶剂中的渗透率由66.1%降至45.8%,经历1000次热循环后的质量与相变焓损失率仅为7%与24.4%。 展开更多
关键词 纳米sio2 微胶囊 相变材料 三聚氰胺-甲醛树脂 杂化层 渗透率
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一种新型的Cu-LBMS@SiO2纳米复合材料的合成及缓释性能研究
11
作者 王辉 杨海峰 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2020年第8期85-90,共6页
水滑石类层状化合物因具有易于聚集特点,使其在医药等方面的应用受到限制。利用水热合成法,将层状氢氧化苯甲酸铜(Cu-LBMS)不加任何交联剂直接沉积到SiO2微球上,制备了一种新型核壳结构的纳米复合材料Cu-LBMS@SiO2,并将其用于缓释给药... 水滑石类层状化合物因具有易于聚集特点,使其在医药等方面的应用受到限制。利用水热合成法,将层状氢氧化苯甲酸铜(Cu-LBMS)不加任何交联剂直接沉积到SiO2微球上,制备了一种新型核壳结构的纳米复合材料Cu-LBMS@SiO2,并将其用于缓释给药系统。制备的纳米复合微球通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和红外光谱(FT-IR)等方法进行表征和分析,SEM结果表明该复合微球的形貌为疏松多孔的球形,XRD和FT-IR进一步证明了该纳米复合材料的形成。最后以槲皮素为模型药物,探讨了该纳米复合微球对槲皮素的载药性能及体外的释药性。结果表明:Cu-LBMS@SiO2纳米复合微球对槲皮素的载药量比Cu-LBMS高31.49mg/g,其体外释药主要集中在5~7h,在7h的累积释药量达到91.56%,其缓释效果明显优于Cu-LBMS和其物理混合物。 展开更多
关键词 层状氢氧化苯甲酸铜 Cu-LBMS@sio2 槲皮素 载药性能 缓释性能
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纤维和SiO_2填料对EPDM绝热材料烧蚀性能影响的实验研究 被引量:9
12
作者 徐义华 胡春波 +2 位作者 李江 李强 王书贤 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期491-496,共6页
EPDM绝热材料中的纤维和SiO2填料是影响其烧蚀性能的重要成份,为了充分认识纤维和SiO2填料对炭层形成及结构状态的影响,了解其抗烧蚀作用机理,并为建立EPDM烧蚀模型提供实验依据,文章对EPDM基本配方、无纤维和无SiO2的EPDM配方绝热材料... EPDM绝热材料中的纤维和SiO2填料是影响其烧蚀性能的重要成份,为了充分认识纤维和SiO2填料对炭层形成及结构状态的影响,了解其抗烧蚀作用机理,并为建立EPDM烧蚀模型提供实验依据,文章对EPDM基本配方、无纤维和无SiO2的EPDM配方绝热材料在实验发动机中进行了烧蚀实验,比较分析了其炭层结构特点和烧蚀率,得出纤维对炭层的固结作用增强了抗气流和粒子冲刷能力;SiO2在高温下熔融对炭层孔隙具有包覆和填充作用,可固结炭层、缓解高温燃气流渗入,从而起到抗烧蚀的作用。 展开更多
关键词 EPDM 纤维 sio2 炭层结构 烧蚀性能
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新一代栅介质材料——高K材料 被引量:5
13
作者 李驰平 王波 +1 位作者 宋雪梅 严辉 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期17-20,25,共5页
介绍了微电子工业的发展趋势和Si O2作为CMOS栅介质减薄所带来的问题,从而引出对高K材料的需求,简单介绍了作为栅极介质的各种高介电常数材料的性能的比较及制备高K薄膜的主要方法,总结了一些高K材料的研究现状,论述了目前有待进一步解... 介绍了微电子工业的发展趋势和Si O2作为CMOS栅介质减薄所带来的问题,从而引出对高K材料的需求,简单介绍了作为栅极介质的各种高介电常数材料的性能的比较及制备高K薄膜的主要方法,总结了一些高K材料的研究现状,论述了目前有待进一步解决的问题,并展望了高K材料的发展趋势。 展开更多
关键词 高K材料 sio2栅介质减薄 等效sio2厚度 介质材料 高介电常数材料 一代 发展趋势 微电子工业 CMOS sio2
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有机-无机复合材料光波导的制备 被引量:3
14
作者 王哲哲 赵高扬 +2 位作者 李美莲 盛淑月 张晓磊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期892-895,共4页
有机-无机复合光波导在光通信领域具有重要的应用价值,是目前的研究热点之一。采用溶胶-凝胶法分别制备了膜厚达13μm的光滑平整的PMMA膜和具有紫外感光性的膜厚为1.76μm的SiO2/ZrO2凝胶膜,研究了SiO2/ZrO2凝胶膜的感光性及紫外光照对... 有机-无机复合光波导在光通信领域具有重要的应用价值,是目前的研究热点之一。采用溶胶-凝胶法分别制备了膜厚达13μm的光滑平整的PMMA膜和具有紫外感光性的膜厚为1.76μm的SiO2/ZrO2凝胶膜,研究了SiO2/ZrO2凝胶膜的感光性及紫外光照对两种薄膜折射率的影响。在此基础上,以PMMA膜为包层膜,SiO2/ZrO2凝胶膜为芯层膜,实现了光波导的包芯层复合。利用SiO2/ZrO2凝胶膜的感光性,结合紫外掩模技术,制备了条形的有机-无机复合光波导,理论分析表明该复合条形光波导能够实现入射波长为1.31μm,模数为0,1的传输。 展开更多
关键词 复合光波导 PMMA膜 sio2/ZrO2凝胶膜 折射率
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相变光盘介电层ZnS-SiO_2薄膜的性能研究 被引量:3
15
作者 刘波 阮昊 干福熹 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期190-194,共5页
利用AFM、XRD、TEM、紫外可见光谱仪和椭偏仪等多种研究手段研究了ZnS-SiO2薄膜的性能.研究表明,沉积态ZnS-SiO2薄膜为非晶态,表现为层核生长型(Straski-Krastanov型)结构,表面很平滑,其中包含着大小为2-10nm的微小晶粒;ZnS-SiO2薄膜的... 利用AFM、XRD、TEM、紫外可见光谱仪和椭偏仪等多种研究手段研究了ZnS-SiO2薄膜的性能.研究表明,沉积态ZnS-SiO2薄膜为非晶态,表现为层核生长型(Straski-Krastanov型)结构,表面很平滑,其中包含着大小为2-10nm的微小晶粒;ZnS-SiO2薄膜的透过率比较大,消光系数很小,这可以减少入射激光能量的损失;ZnS-SiO2薄膜拥有比较高的折射率,能够对记录层起到很好的保护作用. 展开更多
关键词 ZnS-sio2薄膜 性能 介电层 相变光盘 硫化锌 二氧化硅
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电子束蒸发SiO_2薄膜残余应力在不同湿度环境下的对比 被引量:4
16
作者 叶晓雯 丁涛 +5 位作者 程鑫彬 沈正祥 王孝东 刘永利 鲍刚华 何文彦 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第3期713-717,共5页
采用电子束蒸发方法在BK7基底上制备SiO2单层膜,通过台式探针轮廓仪分别测量了大气(45%RH)和干燥环境(5%RH)中不同沉积温度下制备的SiO2单层膜残余应力,同时使用分光光度计和原子力显微镜对样品的折射率和表面形貌进行研究。测试结果表... 采用电子束蒸发方法在BK7基底上制备SiO2单层膜,通过台式探针轮廓仪分别测量了大气(45%RH)和干燥环境(5%RH)中不同沉积温度下制备的SiO2单层膜残余应力,同时使用分光光度计和原子力显微镜对样品的折射率和表面形貌进行研究。测试结果表明:SiO2薄膜的残余应力在两个环境中均表现为压应力,且随沉积温度的升高均逐渐增大。干燥环境下与大气环境相比,应力值减小了约100MPa。此外,随沉积温度的升高,薄膜折射率不断增大,表面粗糙度逐渐减小。说明:随着沉积温度的变化,SiO2薄膜的微结构发生了改变。相应地,由水诱发的应力随薄膜致密度的增加而逐渐减小。 展开更多
关键词 sio2单层膜 沉积温度 残余应力 由水诱发的应力 折射率 表面形貌
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碳化硅直接键合机理及其力学性能研究 被引量:2
17
作者 王心心 梁庭 +4 位作者 贾平岗 王涛龙 刘雨涛 张瑞 熊继军 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1282-1287,共6页
随着碳化硅(Si C)材料的MEMS器件在恶劣环境测量中的应用前景和迫切需求,进行了碳化硅的直接键合实验。研究了工艺条件对键合样品力学性能的影响,同时借助激光共聚焦扫描显微镜(CLSM)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和拉曼光谱仪等... 随着碳化硅(Si C)材料的MEMS器件在恶劣环境测量中的应用前景和迫切需求,进行了碳化硅的直接键合实验。研究了工艺条件对键合样品力学性能的影响,同时借助激光共聚焦扫描显微镜(CLSM)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和拉曼光谱仪等对碳化硅键合样品界面的微观结构进行了分析。结果表明:退火温度和加载压力是影响键合效果的关键性因素。当退火温度为1 300℃,加载压力为3 MPa和退火时间为3 h时,此时键合样品的气密性非常好,力学性能达到最佳,键合强度2 MPa。最后通过样品微观界面分析表明碳化硅直接键合的机理为界面氧化硅过渡层的形成及粘性流动与碳化硅和碳化硅的熔融直接键合。 展开更多
关键词 MEMS 碳化硅直接键合 微观结构 碳化硅过渡层 粘性流动 熔融键合
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Ru籽晶层对CoCrPt-SiO_2垂直记录层形貌及结构的影响 被引量:4
18
作者 张俊敏 王传军 +4 位作者 沈月 谭志龙 毕珺 闻明 周砚田 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期23-28,共6页
采用磁控溅射方法,制备了以不同厚度Ru薄膜为籽晶层的CoCrPt-SiO2垂直磁记录薄膜。利用原子力显微镜(AFM)、透射电镜(TEM)分析Ru薄膜的结构和形貌,并研究了其结构对CoCrPt-SiO2薄膜表面形貌、粗糙度及结构的影响。结果表明,CoCrPt-SiO2... 采用磁控溅射方法,制备了以不同厚度Ru薄膜为籽晶层的CoCrPt-SiO2垂直磁记录薄膜。利用原子力显微镜(AFM)、透射电镜(TEM)分析Ru薄膜的结构和形貌,并研究了其结构对CoCrPt-SiO2薄膜表面形貌、粗糙度及结构的影响。结果表明,CoCrPt-SiO2记录层的晶粒尺寸和粗糙度均随着Ru籽晶层厚度的增加而增加,薄而粗糙的籽晶层适合于高密度磁记录介质。对于CoCrPt-SiO2记录层晶粒的优化,厚度为70nm的Ru籽晶层有利于记录层薄膜晶粒的完全隔离,从而提高了磁记录性能。 展开更多
关键词 金属材料 垂直磁记录介质 CoCrPt-sio2 Ru籽晶层 薄膜结构 微观形貌
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SiO_2内保护层对LiB_3O_5晶体倍频增透膜损伤阈值的影响 被引量:2
19
作者 于爱芳 范飞镝 +2 位作者 刘中星 朱镛 陈创天 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期603-606,共4页
利用离子辅助电子束沉积方法在LiB3O5基底上镀制了不加SiO2内保护层和加SiO2内保护层的倍频增透膜,测量了两类薄膜在波长1064 nm多脉冲辐照下的激光损伤阈值,获得了两种不同的损伤形貌,并对损伤原因作了初步探讨。实验结果表明:保护层... 利用离子辅助电子束沉积方法在LiB3O5基底上镀制了不加SiO2内保护层和加SiO2内保护层的倍频增透膜,测量了两类薄膜在波长1064 nm多脉冲辐照下的激光损伤阈值,获得了两种不同的损伤形貌,并对损伤原因作了初步探讨。实验结果表明:保护层的加入把由基底膜层界面缺陷吸收所决定的阈值改变到由HfO2膜层内缺陷吸收所决定的阈值,显著提高了倍频增透膜的抗激光损伤能力。 展开更多
关键词 LiB3O5 sio2内保护层 倍频增透膜 激光损伤阈值 损伤形貌
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新型混凝土表面防护材料的研究 被引量:6
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作者 马保国 戚华辉 +3 位作者 梅军鹏 李海南 刘晓海 姜文斌 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第7期2167-2172,共6页
以纳米SiO_2、硅灰、粉煤灰作为矿物掺和料对水泥基材料进行改性,形成混凝土表面防护层。利用RCM法测定氯离子扩散系数,并通过SEM、XRD、DSC等手段研究改性水泥基材料的水化产物组成及微观结构,分析改善机理。结果表明:混凝土表面砂浆... 以纳米SiO_2、硅灰、粉煤灰作为矿物掺和料对水泥基材料进行改性,形成混凝土表面防护层。利用RCM法测定氯离子扩散系数,并通过SEM、XRD、DSC等手段研究改性水泥基材料的水化产物组成及微观结构,分析改善机理。结果表明:混凝土表面砂浆防护层能将混凝土抗氯离子侵蚀能力提升56.75%,并且这种提升效果随着粉煤灰、硅灰、纳米SiO_2的掺入更加明显,且其提升能力依次增加;粉煤灰依靠其微集料效应及填充效应,增强了水泥石的密实程度;纳米SiO_2、硅灰依靠其火山灰活性促进水泥的水化并产生二次水化,进而提升抗氯离子侵蚀能力。研究结果说明了利用无机矿物掺合料对水泥基材料进行改性形成防护层可明显提升混凝土的抗氯离子侵蚀能力,为进一步研究无机混凝土表面防护体系提供了研究基础。 展开更多
关键词 氯离子侵蚀 砂浆保护层 纳米sio2 硅灰 粉煤灰
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