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光学面形误差对环围能量比的影响
被引量：
7
1
作者
吴冬良
戴一帆
+1 位作者
王贵林
陈善勇
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期1328-1335,共8页
以发射光学系统为研究对象,假设面形误差为高斯平稳随机过程,建立了光学面形误差均方根梯度(GRMS)与远场靶面上环围能量比(EE)之间的数学关系模型,进行了仿真分析并对实际面形数据做了验证。研究表明,环围能量比随GRMS的增加呈指数衰减...
以发射光学系统为研究对象,假设面形误差为高斯平稳随机过程,建立了光学面形误差均方根梯度(GRMS)与远场靶面上环围能量比(EE)之间的数学关系模型,进行了仿真分析并对实际面形数据做了验证。研究表明,环围能量比随GRMS的增加呈指数衰减;同时面形误差低频和高频部分分别形成远场光强分布的中心核和边缘。在GRMS≤7nm/mm时,理论计算与仿真结果非常吻合。与实际分析结果的比较表明,该数学关系模型是正确的,能够用来分析GRMS对EE的影响。
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关键词
发射光学系统
面形误差
环围能量
位相误差
均方根梯度
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职称材料
大口径平面光学元件波前梯度数控抛光
被引量：
10
2
作者
黄金勇
赵恒
+1 位作者
胡庆
高胥华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第7期1473-1480,共8页
针对改善光学元件的波前梯度均方根指标,在总结面形精度及面形分布对波前梯度指标影响规律的基础上,提出了基于匀滑面形拟合加工的方法,给出了该方法的基本思想和工作流程。首先,对原始面形数据进行扫描计算,标记波前突变数据。然后,采...
针对改善光学元件的波前梯度均方根指标,在总结面形精度及面形分布对波前梯度指标影响规律的基础上,提出了基于匀滑面形拟合加工的方法,给出了该方法的基本思想和工作流程。首先,对原始面形数据进行扫描计算,标记波前突变数据。然后,采用NURBS拟合算法重构相邻面形突变点之间的数据,生成用于指导加工的面形数据。最后,根据待加工面形数据选择相应参数进行面形加工。采用多件610mm×440mm口径K9材料平面反射镜进行实验验证。实验结果表明,使用该方法进行数控加工,在2~3个加工周期内可使波前梯度均方根指标从11nm/cm收敛至7.7nm/cm以内,且面形几乎保持不变。
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关键词
光学加工
光学元件
数控抛光
波前梯度均方根
匀滑面形拟合
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职称材料
光学加工中高频误差对环围能量比的影响
被引量：
3
3
作者
吴冬良
戴一帆
王贵林
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期2705-2711,共7页
以大型光学系统主镜为研究对象,基于经典标量衍射理论分析了中高频误差对环围能量比(FEE)的影响。根据光学镜面面形误差近似为高斯平稳随机过程以及全频段面形误差对光强分布和FEE的影响,建立了光学镜面中高频误差梯度均方根(GRMS)与FE...
以大型光学系统主镜为研究对象,基于经典标量衍射理论分析了中高频误差对环围能量比(FEE)的影响。根据光学镜面面形误差近似为高斯平稳随机过程以及全频段面形误差对光强分布和FEE的影响,建立了光学镜面中高频误差梯度均方根(GRMS)与FEE之间的数学关系模型,进行了仿真分析并利用实际面形误差数据进行了验证。研究表明,FEE随着中高频误差GRMS的增加近似呈指数规律衰减,同时各频段误差将无误差时对应的光强分布边缘部分能量转移到光强分布的中心以及更宽范围,并且随着中高频误差的增大,能量转移曲线出现反复振荡。结果表明,在特定光学口径下,中高频误差GRMS值分别<12nm/mm以及30nm/mm时,中高频误差对FEE的影响均<5%,可用于控制中高频误差对FEE的影响,为中高频误差的进一步修形提供理论支持。
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关键词
光学主镜
中频误差
高频误差
环围能量比
梯度均方根
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职称材料
题名
光学面形误差对环围能量比的影响
被引量：
7
1
作者
吴冬良
戴一帆
王贵林
陈善勇
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期1328-1335,共8页
基金
国家重大基础研究资助项目
文摘
以发射光学系统为研究对象,假设面形误差为高斯平稳随机过程,建立了光学面形误差均方根梯度(GRMS)与远场靶面上环围能量比(EE)之间的数学关系模型,进行了仿真分析并对实际面形数据做了验证。研究表明,环围能量比随GRMS的增加呈指数衰减;同时面形误差低频和高频部分分别形成远场光强分布的中心核和边缘。在GRMS≤7nm/mm时,理论计算与仿真结果非常吻合。与实际分析结果的比较表明,该数学关系模型是正确的,能够用来分析GRMS对EE的影响。
关键词
发射光学系统
面形误差
环围能量
位相误差
均方根梯度
Keywords
optical transmitting system
surface error
encircled energy
phase error
root-mean- square gradient （grms）
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
大口径平面光学元件波前梯度数控抛光
被引量：
10
2
作者
黄金勇
赵恒
胡庆
高胥华
机构
成都精密光学工程研究中心
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第7期1473-1480,共8页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目
文摘
针对改善光学元件的波前梯度均方根指标,在总结面形精度及面形分布对波前梯度指标影响规律的基础上,提出了基于匀滑面形拟合加工的方法,给出了该方法的基本思想和工作流程。首先,对原始面形数据进行扫描计算,标记波前突变数据。然后,采用NURBS拟合算法重构相邻面形突变点之间的数据,生成用于指导加工的面形数据。最后,根据待加工面形数据选择相应参数进行面形加工。采用多件610mm×440mm口径K9材料平面反射镜进行实验验证。实验结果表明,使用该方法进行数控加工,在2~3个加工周期内可使波前梯度均方根指标从11nm/cm收敛至7.7nm/cm以内,且面形几乎保持不变。
关键词
光学加工
光学元件
数控抛光
波前梯度均方根
匀滑面形拟合
Keywords
optical manufacture
optical elements
Computer Numerical Controlled(CNC) polishing
gradient
Root Mean
square
(
grms
)
smoothing surface shape by fitting
分类号
TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
光学加工中高频误差对环围能量比的影响
被引量：
3
3
作者
吴冬良
戴一帆
王贵林
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期2705-2711,共7页
基金
国家重大基础研究资助项目
国家自然科学基金资助项目(No.50975277)
文摘
以大型光学系统主镜为研究对象,基于经典标量衍射理论分析了中高频误差对环围能量比(FEE)的影响。根据光学镜面面形误差近似为高斯平稳随机过程以及全频段面形误差对光强分布和FEE的影响,建立了光学镜面中高频误差梯度均方根(GRMS)与FEE之间的数学关系模型,进行了仿真分析并利用实际面形误差数据进行了验证。研究表明,FEE随着中高频误差GRMS的增加近似呈指数规律衰减,同时各频段误差将无误差时对应的光强分布边缘部分能量转移到光强分布的中心以及更宽范围,并且随着中高频误差的增大,能量转移曲线出现反复振荡。结果表明,在特定光学口径下,中高频误差GRMS值分别<12nm/mm以及30nm/mm时,中高频误差对FEE的影响均<5%,可用于控制中高频误差对FEE的影响,为中高频误差的进一步修形提供理论支持。
关键词
光学主镜
中频误差
高频误差
环围能量比
梯度均方根
Keywords
primary mirror
mid-frequency error
high-frequency error
Fractional Encircled Energy（FEE）
gradient
Root-mean
square
（grms
）
分类号
TQ171.684 [化学工程—玻璃工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光学面形误差对环围能量比的影响
吴冬良
戴一帆
王贵林
陈善勇
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
大口径平面光学元件波前梯度数控抛光
黄金勇
赵恒
胡庆
高胥华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
10
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
光学加工中高频误差对环围能量比的影响
吴冬良
戴一帆
王贵林
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
3
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职称材料
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