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LIGA相关技术及应用被引量：18: 1; 作者张永华丁桂甫 +1 位作者彭军蔡炳初《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第3期60-64,共5页; 微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用,推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发展。介绍了LIGA相关技术的发展状况并举例说明了它们在射频、光学等方面上的一些应用。; 关键词三维微细加工 liga技术准liga技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

脊状表面的准LIGA成形技术及其减阻试验研究被引量：6: 2; 作者胡海豹黄桥高 +2 位作者蒋雄宋保维潘光《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期336-339,共4页; 为了研究脊状表面的减阻特性,利用准LIGA成形技术在铝合金表面加工了两种不同尺寸的矩形脊状结构。在准LIGA成形技术中,以波长为300～400μm紫外光作为曝光光源,再通过显影、表面活化、微电铸及去胶工艺得到脊状表面。在低速风洞中对制... 展开更多; 关键词准liga成形技术脊状表面湍流边界层流动参数; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于准LIGA工艺的微型传动齿轮制作被引量：4: 3; 作者邓扬明李德胜《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z2期318-319,333,共3页; 研究了结合多层光刻胶工艺和金属牺牲层法制作微型传动齿轮的加工工艺,并给出了部分实验结果。; 关键词 MEMS 准liga 微齿轮多层光刻胶工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

准LIGA技术在微传感器制造中的应用被引量：3: 4; 作者魏兵《传感器技术》 CSCD 2000年第3期41-43,共3页; 准LIGA技术吸收了体硅微加工技术和LIGA技术的优点 ,利用此技术 ,用普通光学曝光机可将光刻图形转移到较厚的光刻胶上 ,获得较大的深宽比 ,从而解决了LIGA技术的光源问题。; 关键词准liga技术光刻微传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机械产品的应用及其微细加工方法的分析研究被引量：5: 5; 作者姜涛梁迎春赵岩《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2007年第10期9-13,共5页; 综述了国内外微机械产品在军事、医疗、航空航天等各领域应用的最新进展;分析了微细切削加工、LIGA技术、准LIGA技术、刻蚀技术及微细特种加工的工艺原理及特点。最后对微机械产品及其加工方法的新前景进行了展望。; 关键词微细加工准liga技术微机电系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机械制造工艺及其应用被引量：9: 6; 作者闫利文《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2004年第3期83-85,共3页; 介绍微机械制造工艺的特点及关键技术,阐述微机械制造工艺的新技术及其发展趋势。; 关键词 MEMS liga技术准liga技术微机械机械制造; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名LIGA相关技术及应用被引量：18: 1; 作者张永华丁桂甫彭军蔡炳初; 机构上海交通大学微纳米科学技术研究院西安电子科技大学微电子研究所; 出处《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第3期60-64,共5页; 基金信息产业部微电子技术项目(41308050116); 文摘微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用,推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发展。介绍了LIGA相关技术的发展状况并举例说明了它们在射频、光学等方面上的一些应用。; 关键词三维微细加工 liga技术准liga技术; Keywords 3-D micromachining liga technology quasi-liga technology; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名脊状表面的准LIGA成形技术及其减阻试验研究被引量：6: 2; 作者胡海豹黄桥高蒋雄宋保维潘光; 机构西北工业大学; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期336-339,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(50835009 10672136) 西北工业大学科技创新基金资助项目(2008KJ02012); 文摘为了研究脊状表面的减阻特性,利用准LIGA成形技术在铝合金表面加工了两种不同尺寸的矩形脊状结构。在准LIGA成形技术中,以波长为300～400μm紫外光作为曝光光源,再通过显影、表面活化、微电铸及去胶工艺得到脊状表面。在低速风洞中对制备的脊状表面进行流场测试,获得了其湍流边界层内流动参数的分布情况。试验结果表明,脊状表面改变了边界层内的流场结构,抑制了湍流脉动,降低了湍流度,达到了减阻效果。同时,利用准LIGA成形技术制备脊状表面的方法是可行的。; 关键词准liga成形技术脊状表面湍流边界层流动参数; Keywords quasi-- liga molding technology riblet surface turbulent boundary layer flow parameter; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化] O357.5 [理学—流体力学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于准LIGA工艺的微型传动齿轮制作被引量：4: 3; 作者邓扬明李德胜; 机构北京工业大学机械工程与应用电子学院; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z2期318-319,333,共3页; 文摘研究了结合多层光刻胶工艺和金属牺牲层法制作微型传动齿轮的加工工艺,并给出了部分实验结果。; 关键词 MEMS 准liga 微齿轮多层光刻胶工艺; Keywords MEMS quasi-liga Micro gear multilayers' photoresist technology; 分类号 TH7-55 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名准LIGA技术在微传感器制造中的应用被引量：3: 4; 作者魏兵; 机构湖北工学院机械系; 出处《传感器技术》 CSCD 2000年第3期41-43,共3页; 文摘准LIGA技术吸收了体硅微加工技术和LIGA技术的优点 ,利用此技术 ,用普通光学曝光机可将光刻图形转移到较厚的光刻胶上 ,获得较大的深宽比 ,从而解决了LIGA技术的光源问题。; 关键词准liga技术光刻微传感器; Keywords quasi-liga lithography multilayer photoresist technology electroforming microreplication; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械产品的应用及其微细加工方法的分析研究被引量：5: 5; 作者姜涛梁迎春赵岩; 机构哈尔滨工业大学机电学院; 出处《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2007年第10期9-13,共5页; 文摘综述了国内外微机械产品在军事、医疗、航空航天等各领域应用的最新进展;分析了微细切削加工、LIGA技术、准LIGA技术、刻蚀技术及微细特种加工的工艺原理及特点。最后对微机械产品及其加工方法的新前景进行了展望。; 关键词微细加工准liga技术微机电系统; Keywords Micro - machining quasi - liga technology MEMS; 分类号 TG71 [金属学及工艺—刀具与模具]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械制造工艺及其应用被引量：9: 6; 作者闫利文; 机构江苏省常熟高等专科学校机电系; 出处《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2004年第3期83-85,共3页; 文摘介绍微机械制造工艺的特点及关键技术,阐述微机械制造工艺的新技术及其发展趋势。; 关键词 MEMS liga技术准liga技术微机械机械制造; Keywords MEMS (Micro electromechanical system) liga technology quasi-liga technology; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	LIGA相关技术及应用	张永华丁桂甫彭军蔡炳初	《传感器技术》 CSCD 北大核心	2003	18	在线阅读下载PDF 职称材料
2	脊状表面的准LIGA成形技术及其减阻试验研究	胡海豹黄桥高蒋雄宋保维潘光	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	6	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于准LIGA工艺的微型传动齿轮制作	邓扬明李德胜	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	准LIGA技术在微传感器制造中的应用	魏兵	《传感器技术》 CSCD	2000	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	微机械产品的应用及其微细加工方法的分析研究	姜涛梁迎春赵岩	《制造技术与机床》 CSCD 北大核心	2007	5	在线阅读下载PDF 职称材料
6	微机械制造工艺及其应用	闫利文	《现代制造工程》 CSCD 北大核心	2004	9	在线阅读下载PDF 职称材料