基于单光子探测器阵列的抗噪声频域成像研究

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作者 陆茂霖 白妙青 秦成兵 《量子电子学报》 北大核心 2025年第4期537-545,共9页

单光子探测器阵列因其单光子极限探测灵敏度和多像元特性,被广泛应用于单光子雷达、生物荧光成像等领域。然而,受限于制备工艺,像元间探测效率存在差异,常常导致单光子探测器阵列成像发生畸变。本工作通过独立调控每个单光子探测器的反... 单光子探测器阵列因其单光子极限探测灵敏度和多像元特性,被广泛应用于单光子雷达、生物荧光成像等领域。然而,受限于制备工艺,像元间探测效率存在差异,常常导致单光子探测器阵列成像发生畸变。本工作通过独立调控每个单光子探测器的反向偏置电压,实现了对4×4探测器阵列探测效率的优化,将平均探测效率提高了1.77倍,差异性缩小为调节前的1/7。在此基础上,通过对每个单光子探测器光子到达时间进行傅里叶变换,发展了频域成像方案,该方案即使在背景噪声为信号强度的104倍的条件下,依然能够实现较好的频域成像效果,且对比信噪比达到2.29。本工作为基于单光子探测器阵列实现复杂环境下微弱光信号的探测提供了新的思路。 展开更多

关键词 量子信息 单光子探测器阵列 探测效率 傅里叶变换 光子计数成像 频域成像 对比信噪比

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中红外量子频谱迁移研究进展及应用

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作者 李金澎 韩赵其智 +2 位作者 李曜均 周志远 史保森 《中国测试》 CAS 北大核心 2024年第12期20-29,共10页

传统的中红外探测主要基于碲镉汞等窄带隙材料探测器,但此类探测器的高灵敏度探测需要依靠深制冷设备,且相较于成熟的硅基探测器性能差距较大。中红外量子频谱迁移可以将中红外信号上转换至硅基探测器的工作波段,以使用高性能硅探测器... 传统的中红外探测主要基于碲镉汞等窄带隙材料探测器,但此类探测器的高灵敏度探测需要依靠深制冷设备,且相较于成熟的硅基探测器性能差距较大。中红外量子频谱迁移可以将中红外信号上转换至硅基探测器的工作波段,以使用高性能硅探测器进行高效探测;该技术还可以将信号光子下转换至中红外波段,并在转换过程中完整保留光子信息,在中红外量子光场产生与调控领域发挥重要意义。文章系统介绍中红外量子频谱迁移的基本原理、主要参数和最新研究进展,并对其应用前景和研究方向进行展望。 展开更多

关键词 中红外探测 非线性频率变换 量子效率 中红外量子纠缠

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球面微通道板在极紫外波段的量子探测效率 被引量：5

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作者 尼启良 韩素立 +1 位作者 陈斌 王海峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2596-2602,共7页

由于球面微通道板(MCP)的量子探测效率与极紫外(EUV)相机的灵敏度有关,本文研究了球面MCP量子探测效率的特点和测量方法。根据微通道板在EUV波段光电子产额的理论模型,计算了球面MCP在该波段下随不同入射角变化的电子产额。使用激光等... 由于球面微通道板(MCP)的量子探测效率与极紫外(EUV)相机的灵敏度有关,本文研究了球面MCP量子探测效率的特点和测量方法。根据微通道板在EUV波段光电子产额的理论模型,计算了球面MCP在该波段下随不同入射角变化的电子产额。使用激光等离子体光源测量球面MCP在EUV波段的量子探测效率,搭建了球面MCP在该波段的量子探测效率的测量装置,测量了球面MCP在不同位置的量子探测效率随波长和入射角的变化曲线。实验结果表明,入射角为15°时的量子探测效率约为入射角为0°时的5倍。 展开更多

关键词 极紫外(EUV)相机 球面微通道板 次级电子产额 量子探测效率

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X光作用下CsI:Tl晶体的转换效率研究 被引量：13

4

作者 江孝国 王伟 王婉丽 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期203-205,共3页

X光转换材料在数字辐射成像系统中具有很重要的作用,它的效率对整个系统的量子探测效率起到决定性的作用。对CsI∶Tl晶体在X光激发下的发光效率进行详细分析,根据 X光在物质中的衰减和吸收规律,从理论上推导了其对X光转换效率的关系,并... X光转换材料在数字辐射成像系统中具有很重要的作用,它的效率对整个系统的量子探测效率起到决定性的作用。对CsI∶Tl晶体在X光激发下的发光效率进行详细分析,根据 X光在物质中的衰减和吸收规律,从理论上推导了其对X光转换效率的关系,并建立了利用 CCD相机作接收系统时的图像数据的表达形式,表明该系统输出与入射X光照射量成线性关系;并在30 MeV射频加速器上进行了实验验证。 展开更多

关键词 发光效率 量子探测效率 X光转换材料 线性响应

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X射线增感屏的图象信息传输特性分析 被引量：3

5

作者 王义 杜宏亮 +3 位作者 王经瑾 王奎禄 刘国治 朱国富 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第2期155-160,共6页

本文采用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法详细模拟了不同能量光子与增感屏的作用过程，对于一种稀土（Ｇｄ２Ｏ２Ｓ∶Ｔｂ）增感屏，计算了出射可见光子数的概率分布、平均出射光子数、统计因子、Ｘ射线检测效率以及ＤＱＥ等增感屏出射可见... 本文采用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法详细模拟了不同能量光子与增感屏的作用过程，对于一种稀土（Ｇｄ２Ｏ２Ｓ∶Ｔｂ）增感屏，计算了出射可见光子数的概率分布、平均出射光子数、统计因子、Ｘ射线检测效率以及ＤＱＥ等增感屏出射可见光子数的概率分布曲线均有三个峰，随着入射Ｘ射线能量的增加，各峰之间距离增大，相对强弱对比增大；其余各曲线在Ｇｄ原子Ｋ壳层结合能（５０２４ｋｅＶ）附近，均有突变这些结果提供了增感屏图象信息传输性能的基本参数。 展开更多

关键词 增感屏 统计因子 量子效率 图象信息传输 X射线

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透镜耦合ICCD相机级联模型和探测量子效率 被引量：2

6

作者 盛亮 王奎禄 +1 位作者 吕敏 魏福利 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1701-1704,共4页

利用线性系统理论,建立了透镜耦合ICCD相机的级联模型,用一级虚拟散射过程来等效像增强器对量子的散射过程.用探测量子效率和量子统计曲线分析系统的性能,发现系统在高增益状态,低频时探测性能基本不变,高频时随着频率的增加,性能下降很... 利用线性系统理论,建立了透镜耦合ICCD相机的级联模型,用一级虚拟散射过程来等效像增强器对量子的散射过程.用探测量子效率和量子统计曲线分析系统的性能,发现系统在高增益状态,低频时探测性能基本不变,高频时随着频率的增加,性能下降很快;在低增益状态时,散射对系统性能影响明显,在散射级前端存在高增益级有助于提高系统性能. 展开更多

关键词 ICCD相机 级联模型 探测量子效率 量子统计曲线

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射线成像系统量子效率及噪声传播特性分析 被引量：2

7

作者 王义 王经瑾 王奎禄 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第6期407-413,共7页

检测量子效率（ＤＱＥ）可被用来精确描述图像噪声通过成像系统的传播特性。本文根据Ｍａｊｉｄ的ＭＭＧＦ理论，得出成像系统的空间频率ＤＱＥ表达式，从而推得包括被检物体的多级级联成像系统ＤＱＥ的统一表达式。并针对一个实例，计... 检测量子效率（ＤＱＥ）可被用来精确描述图像噪声通过成像系统的传播特性。本文根据Ｍａｊｉｄ的ＭＭＧＦ理论，得出成像系统的空间频率ＤＱＥ表达式，从而推得包括被检物体的多级级联成像系统ＤＱＥ的统一表达式。并针对一个实例，计算了系统的ＤＱＥ曲线及量子统计曲线（ＱＡＤ）。 展开更多

关键词 检测量子效率 量子效率 图像噪声 传播特性

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基于频谱迁移的红外探测研究进展(特邀) 被引量：4

8

作者 周志远 史保森 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第5期1-11,共11页

传统的红外探测主要基于铟镓砷、锑镉汞等半导体光子型探测器,然而这类探测器在常温下具有灵敏度低和噪声较大的缺点,高灵敏探测还需要深制冷,相对于成熟的硅探测器性能差距非常大。因此,将不易探测的红外波段转迁移至硅探测器的工作波... 传统的红外探测主要基于铟镓砷、锑镉汞等半导体光子型探测器,然而这类探测器在常温下具有灵敏度低和噪声较大的缺点,高灵敏探测还需要深制冷,相对于成熟的硅探测器性能差距非常大。因此,将不易探测的红外波段转迁移至硅探测器的工作波段,并且利用高性能的硅基探测器进行有效探测是一种可行的路径。基于这种思想,目前发展了一种有效的频谱迁移探测方法,即通过非线性和频上转换过程将红外光子的频谱迁移到硅探测器的探测波段,从而实现高效的探测。文中系统介绍了基于频谱迁移红外探测的基本原理、主要参数和最新研究进展,最后对潜在的研究趋势和应用前景进行了展望。 展开更多

关键词 红外探测 频谱迁移 量子效率 噪声 频率带宽 视场

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可见/近红外超光谱碲镉汞焦平面研究 被引量：1

9

作者 张姗 沈益铭 +7 位作者 刘丹 钟艳红 魏彦锋 廖清君 陈洪雷 林春 丁瑞军 何力 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期429-434,共6页

为了满足可见-近红外波段的高光谱分辨率和高灵敏观测需求,采用大面阵、低噪声碲镉汞焦平面制备技术和低损伤衬底去除技术,成功制备了高信噪比大面阵可见/近红外碲镉汞焦平面探测器。无损衬底去除技术采用机械抛光和化学腐蚀相结合的方... 为了满足可见-近红外波段的高光谱分辨率和高灵敏观测需求,采用大面阵、低噪声碲镉汞焦平面制备技术和低损伤衬底去除技术,成功制备了高信噪比大面阵可见/近红外碲镉汞焦平面探测器。无损衬底去除技术采用机械抛光和化学腐蚀相结合的方法,使焦平面的响应波段拓展至400 nm～2 600 nm。采用信号定量化焦平面测试评价手段对可见/近红外碲镉汞焦平面的性能进行评估,640×512 25μm中心距碲镉汞焦平面的波段量子效率可达到88.4%,信噪比达到287,有效像元率大于98%,能够获得清晰的可见和近红外波段图像。 展开更多

关键词 超光谱探测 可见/近红外成像 碲镉汞 衬底去除 量子效率

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基于热敏超导边界转变传感的单光子探测技术 被引量：1

10

作者 周品嘉 常相辉 +1 位作者 韦联福 于扬 《物理学进展》 CSCD 北大核心 2010年第4期371-386,共16页

单光子探测是实现光量子信息处理的关键技术之一。基于热敏超导边界转变传感的单光子探测技术以其独有的极低的暗计数率、极高的量子探测效率和极强的光子数分辨能力而倍受关注。对比于其他的几种单光子探测技术,如光电倍增管、工作于... 单光子探测是实现光量子信息处理的关键技术之一。基于热敏超导边界转变传感的单光子探测技术以其独有的极低的暗计数率、极高的量子探测效率和极强的光子数分辨能力而倍受关注。对比于其他的几种单光子探测技术,如光电倍增管、工作于盖革模式的雪崩二极管和超导纳米线等,本文将从其探测原理、实验样品制备和信号采集处理方法等方面出发,对基于热敏超导边界转变传感单光子探测技术研究的历史、现状进行综述,进而展望其未来可能的发展。 展开更多

关键词 单光子探测 热敏超导边界转变传感 计数率 暗计数 量子效率

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中子图像探测器的量子探测效率

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作者 韩长材 宋顾周 +3 位作者 王群书 马继明 宋岩 谢红卫 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期613-617,共5页

为研究由中子-可见光图像转换屏、光学系统以及CCD相机组成的中子图像探测器的成像性能,根据探测效率、量子增益和调制传递函数等性能评价参数,分析了中子探测效率与闪烁体厚度的关系以及薄板型和阵列型闪烁体与CCD相机之间采用不同耦... 为研究由中子-可见光图像转换屏、光学系统以及CCD相机组成的中子图像探测器的成像性能,根据探测效率、量子增益和调制传递函数等性能评价参数,分析了中子探测效率与闪烁体厚度的关系以及薄板型和阵列型闪烁体与CCD相机之间采用不同耦合方式下的量子增益,并给出了透镜耦合条件下的调制传递函数及相应的量子探测效率,最后全面分析了中子图像探测器的等效噪声量子数。 展开更多

关键词 量子探测效率 阵列型闪烁体 平板型闪烁体

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p-GaN/ZnO纳米线/ZnO薄膜三明治异质结紫外光电探测器光电性能

12

作者 李刚 付政伟 +4 位作者 宋艳东 马宗义 刘子童 冯礼志 冯思雨 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期384-391,共8页

目的通过设计一种新型p-GaN/ZnO(薄膜+纳米线)三明治异质结结构,提高ZnO对紫外光的响应。方法利用化学气相沉积(CVD)方法,在蓝宝石/GaN衬底上生长出纳米线+薄膜交错排列的ZnO,得到具有三明治结构的p-GaN/ZnO材料。通过旋涂Ag纳米线(NWS... 目的通过设计一种新型p-GaN/ZnO(薄膜+纳米线)三明治异质结结构,提高ZnO对紫外光的响应。方法利用化学气相沉积(CVD)方法,在蓝宝石/GaN衬底上生长出纳米线+薄膜交错排列的ZnO,得到具有三明治结构的p-GaN/ZnO材料。通过旋涂Ag纳米线(NWS)、滴银胶为电极,制备三明治结构的异质结紫外(UV)光电探测器。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)表征物相及形貌;利用光致发光(PL)和拉曼(Raman)光谱分析晶体结晶情况;利用半导体分析测试仪对该三明治异质结UV光电探测器进行光电性能测试,得到其光电性能变化规律。结果该三明治结构光电探测器顶部为ZnO薄膜,中间为ZnONWS与纳米片交错排列分布,底部为GaN。这种二维(2D)/一维(1D)/2D结构使入射光在结构内多次反射和散射,提高了光程长度,进而提高了光吸收。另外,由于p-GaN和n-ZnO形成PN结,在内建电场作用下,可以有效提高光生电子-空穴分离效率。光电性能测试结果表明,在偏压2V、光功率密度520μW/cm^(2)(365nm)条件下,响应度(R)为35.8A/W,上升时间(t_(r))为41.83ms,下降时间(t_(d))为43.21ms,外量子效率(E_(q))为122%,比探测率(D^(*))为1.31×10^(12)cm·Hz^(1/2)·W^(-1)。结论通过一步CVD法制备新型p-GaN/ZnO纳米线/ZnO薄膜三明治结构UV光电探测器,可以有效提高ZnO对紫外光的响应,为探索新式结构光电探测器提供可能。 展开更多

关键词 异质结 光电探测器 CVD 响应度 比探测率 外量子效率

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积分辐射探测器量子效率计算式的新式推导

13

作者 张帆 牛憨笨 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期490-492,共3页

当入射到积分模式辐射探测器上的每一入射粒子最终产生的可检测光电子数服从参数为g的泊松分布时,探测器的量子探测效率极限值的计算式为g/(g+1)。该工作给出了此计算式在某种程度上更易理解的另一推导,并计算了典型透镜耦合医用X射线... 当入射到积分模式辐射探测器上的每一入射粒子最终产生的可检测光电子数服从参数为g的泊松分布时,探测器的量子探测效率极限值的计算式为g/(g+1)。该工作给出了此计算式在某种程度上更易理解的另一推导,并计算了典型透镜耦合医用X射线数字成像探测器的量子探测效率。计算表明,在光圈数为1.0,系统放大率为11.5倍,采用白色衬底碘化铯闪烁体屏这样的典型情况下,因低的透镜耦合效率造成的量子探测效率的降低仅为33%,在实际应用中尚可接受。 展开更多

关键词 积分 X射线 探测器 量子探测效率 量子检测效率 数字化X线摄影

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单光子雪崩二极管探测系统测试与设计分析 被引量：7

14

作者 白宗杰 陈世军 周扬 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第8期775-779,共5页

随着在弱光探测量子通讯领域研究的深入,光子探测逐渐成为国内外研究的热点。基于Si单光子雪崩光电二极管探测系统,介绍了系统相关性能参数以及相应的测试方法,对主要结构、性能指标和外界环境条件进行了综合性分析,总结并设计了一套完... 随着在弱光探测量子通讯领域研究的深入,光子探测逐渐成为国内外研究的热点。基于Si单光子雪崩光电二极管探测系统,介绍了系统相关性能参数以及相应的测试方法,对主要结构、性能指标和外界环境条件进行了综合性分析,总结并设计了一套完整的测试平台以及测试手段用于对单光子探测系统主要性能进行测试。测试平台采用主动与被动淬火电路两种方式对样品进行测试,结果表明了其相关参数与外偏置电压的非简单线性关系,与理论推理进行比较验证,并讨论了测试平台的优化方案。 展开更多

关键词 单光子探测 雪崩二极管 淬火电路 暗计数 量子效率

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超导纳米线单光子探测器的光耦合结构 被引量：4

15

作者 刘登宽 陈思井 +2 位作者 尤立星 何宇昊 张玲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1496-1502,共7页

为了提高超导纳米线单光子探测系统(SNSPD)的探测效率,搭建了超导纳米线单光子探测系统,研究了该系统的光耦合结构及该结构随温度降低而发生的变化。首先,测量了SNSPD在不同电流下的量子效率,确定了器件的性能。然后,提出了两种不同的... 为了提高超导纳米线单光子探测系统(SNSPD)的探测效率,搭建了超导纳米线单光子探测系统,研究了该系统的光耦合结构及该结构随温度降低而发生的变化。首先,测量了SNSPD在不同电流下的量子效率,确定了器件的性能。然后,提出了两种不同的光纤直接对准的器件封装方法,这些方法可以在室温下自主控制光纤端面与器件表面的距离(gap)。考虑封装材料的热胀冷缩,gap在温度变化时有很明显的变化,研究了温度变化对gap的影响。最后,提出通过改变入射光的波长来观察器件表面反射光光强的周期性波动,从而精确测量不同温度下gap的大小。实验结果表明,对于两种不同的光耦合结构,gap在温度降低270K以后分别减小了4.1μm和17μm。理论计算和实验数据基本吻合,可为未来器件封装和新型封装结构的设计提供参考依据。 展开更多

关键词 超导单光子探测 量子效率 光耦合 降温形变

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高性能超导相变边缘单光子探测器(特邀) 被引量：3

16

作者 李佩展 钟家强 +7 位作者 张文 王争 耿悦 姚骑均 缪巍 任远 李婧 史生才 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期1-9,共9页

研究了钛膜的特性及调控机制,通过烘烤后处理工艺分析了临界温度随烘烤时间和烘烤温度的变化关系,发现临界温度随烘烤时间对数降低,但是随烘烤温度指数降低。拓展了二流体模型提取了超导相变边缘单光子探测器的温度灵敏度系数和电流灵... 研究了钛膜的特性及调控机制,通过烘烤后处理工艺分析了临界温度随烘烤时间和烘烤温度的变化关系,发现临界温度随烘烤时间对数降低,但是随烘烤温度指数降低。拓展了二流体模型提取了超导相变边缘单光子探测器的温度灵敏度系数和电流灵敏度系数,并结合脉冲响应得到了器件的热容,进一步理论计算了能量分辨率对器件临界温度的依存性。最终,在器件制备过程中集成光学腔体,在1550 nm波长的光子吸收效率接近100%。研制的超导相变边缘单光子探测器系统探测效率超过90%,能量分辨率约为0.5 eV,可分辨至少10个1550 nm光子,满足快速时变天体的观测需求。 展开更多

关键词 相变边缘探测器 单光子探测 能量分辨率 量子效率

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GaAs/InGaAs量子点探测器件微光读出研究 被引量：1

17

作者 尤虎 郭方敏 +3 位作者 朱晟伟 越方禹 范梁 茅惠兵 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期59-62,共4页

GaAs/InGaAs量子点光电探测器,在633 nm激光辐射3.5 nW条件下,器件偏压-1.4 V时,测得响应电流8.9×10-9A,电流响应率达到2.54 A/W,量子注入效率超过90%。基于GaAs/InGaAs量子点光电探测器的高量子注入效率、高灵敏度等特点,采用具... GaAs/InGaAs量子点光电探测器,在633 nm激光辐射3.5 nW条件下,器件偏压-1.4 V时,测得响应电流8.9×10-9A,电流响应率达到2.54 A/W,量子注入效率超过90%。基于GaAs/InGaAs量子点光电探测器的高量子注入效率、高灵敏度等特点,采用具有稳定的电压偏置,高注入效率和低噪声特点的CTIA(电容互阻跨导放大器)作为列放大器读出结构,输出部分采用相关双采样(CDS)结构去除系统和背景噪声。实验结果表明,在3.5 nW的微光辐射下,器件偏压为-2.5 V时,50μm×50μm像素探测器与读出电路互联后有7.14×107V/W的电压响应率。 展开更多

关键词 量子点 量子效率 响应率 微光探测 CTIA读出

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p-GaAs同质结太赫兹探测器的优化与性能 被引量：1

18

作者 钱飞 王天盟 +1 位作者 张月蘅 沈文忠 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期29-35,共7页

从提高p-GaAs同质结太赫兹探测器量子效率出发,在考虑温度和偏压等参数的影响后,优化了谐振腔增强的p-GaAs同质结太赫兹探测器的材料及结构参数,使探测器的量子效率提高到了17%.并计算了探测器的响应率、探测率和偏压、温度、光谱频率... 从提高p-GaAs同质结太赫兹探测器量子效率出发,在考虑温度和偏压等参数的影响后,优化了谐振腔增强的p-GaAs同质结太赫兹探测器的材料及结构参数,使探测器的量子效率提高到了17%.并计算了探测器的响应率、探测率和偏压、温度、光谱频率的关系,得到了最佳工作偏压（10~40 m V）、最佳工作温度（〈8 K）和最大探测率（4.1×10^10cm Hz1/2/W）.而通过施加一对匹配的反射镜来构造谐振腔的设计,所能获得的极限量子效率为26%,极限探测率和响应率分别为5.7×10^10cm Hz1/2/W、25.9 A/W. 展开更多

关键词 p-GaAs同质结太赫兹探测器 谐振器增强 量子效率 探测率

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量子密码中的新型时移攻击 被引量：1

19

作者 韩宇 王伟 李宏欣 《计算机工程与设计》 CSCD 北大核心 2013年第12期4162-4166,共5页

为提升量子密码时移攻击效果,提出了一种新型时移攻击方法。根据时移攻击的技术原理,对其具体步骤进行了分析,指出攻击可操作空间是时移攻击的重要参数,对比了已有的两类时移攻击方法。在此基础上,提出了新型时移攻击的基本流程与具体方... 为提升量子密码时移攻击效果,提出了一种新型时移攻击方法。根据时移攻击的技术原理,对其具体步骤进行了分析,指出攻击可操作空间是时移攻击的重要参数,对比了已有的两类时移攻击方法。在此基础上,提出了新型时移攻击的基本流程与具体方法,并对实际参数进行了求解。计算结果表明,该方法可以显著扩展攻击可操作空间并降低时移攻击被发现的概率。 展开更多

关键词 量子密钥分发 时移攻击 探测效率 误码率 可操作空间

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宽禁带半导体SiC紫外光电探测器研究进展 被引量：2

20

作者 张峰 付钊 +2 位作者 张泽阳 李子豪 吴正云 《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期254-268,共15页

紫外光电探测器在天气监测、火灾告警、空间探测、细胞检测以及紫外辐射测量方面有着广泛的应用,具有重要的研究价值.宽带隙半导体碳化硅(SiC)天然具有紫外波段的探测优势.近年来,随着SiC材料与器件技术的不断突破,全球诸多研究小组利用... 紫外光电探测器在天气监测、火灾告警、空间探测、细胞检测以及紫外辐射测量方面有着广泛的应用,具有重要的研究价值.宽带隙半导体碳化硅(SiC)天然具有紫外波段的探测优势.近年来,随着SiC材料与器件技术的不断突破,全球诸多研究小组利用SiC研制出各种高性能紫外光电探测器.本文围绕4种典型结构的SiC紫外探测器,从新结构、新工艺、新材料几个方面总结回顾过去几十年国内外及厦门大学SiC课题组的研究历程与进展,分析目前SiC探测器研究所面临的问题与挑战,并提出相应的解决方案,阐明SiC紫外探测器未来发展的趋势以及重要的应用领域. 展开更多

关键词 光电流 响应度 量子效率 探测率

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