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跨尺度微纳米三坐标测量机研制及误差分析
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作者 黄强先 刘慧洁 +4 位作者 张祖杨 李红莉 程荣俊 张连生 李瑞君 《光学精密工程》 北大核心 2025年第19期3058-3069,共12页
为解决三维超精密测量中大行程运动与高精度测量之间的矛盾,研制了一种新型的跨尺度微纳米三坐标测量机(Cross-Scale Micro-Nano Coordinate Measuring Machine,CSMN-CMM),测量体积为100 mm×100 mm×100 mm。不同于传统坐标测... 为解决三维超精密测量中大行程运动与高精度测量之间的矛盾,研制了一种新型的跨尺度微纳米三坐标测量机(Cross-Scale Micro-Nano Coordinate Measuring Machine,CSMN-CMM),测量体积为100 mm×100 mm×100 mm。不同于传统坐标测量机的结构形式,CSMN-CMM采用独立的、三维方向都符合阿贝原则的计量系统布局,既消除了运动系统对计量系统的影响,又避免阿贝误差。其运动系统由三维气浮宏动台和六自由度微动台构成,宏微协同的运动模式在提高测量效率的同时完成高精度触发及测量任务。测头系统方面,采用高精度三维接触式测头或谐振式触发测头完成测量,谐振式触发测头的光纤探针测球直径可达70μm以下。针对测量机存在的主要误差来源,基于坐标转换建立空间误差补偿模型并完成误差分离。依据ISO 10360-2,对CSMN-CMM整机测量性能进行检验,得到其最大允许误差优于±(250 nm+3.6×10^(-6)×L)。实验结果表明,CSMN-CMM具有亚微米三维测量精度,可以实现低至100μm内尺寸的测量,其结构设计及关键技术对高精度三维测量具有重要意义。 展开更多
关键词 微纳米测量机 无阿贝误差 宏微运动系统 精密测量 误差分析
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基于不同加工工艺的微孔节流空气静压轴承的特性研究
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作者 于贺春 寇新俊 +4 位作者 侯玮杰 刘海腾 李广平 张国庆 王文博 《机床与液压》 北大核心 2024年第7期123-128,133,共7页
随着超精密加工技术和地面微低重力仿真的发展,相关产业对空气静压轴承的性能要求越来越高。由于传统的孔式节流器其结构特点不能完全满足实际使用的需要,节流孔直径与气膜间隙同一数量级的微孔节流空气静压轴承因其良好的刚度和承载特... 随着超精密加工技术和地面微低重力仿真的发展,相关产业对空气静压轴承的性能要求越来越高。由于传统的孔式节流器其结构特点不能完全满足实际使用的需要,节流孔直径与气膜间隙同一数量级的微孔节流空气静压轴承因其良好的刚度和承载特性,越来越受到关注。但在微孔节流器的发展过程中,微孔的加工工艺却限制了其推广应用。针对目前常用的三类微孔加工工艺,进行了理论仿真研究,通过建立不同加工工艺轴承仿真模型,运用双向流固耦合仿真方法,对比分析了基于不同加工工艺的微孔节流空气静压轴承的动静态特性。研究结果表明:锥孔类轴承承载性能优于其他两类,但耗气量大且在小间隙时刚度较差;薄壁直孔类轴承承载性能稍逊,但在大间隙下轴承刚度较佳;嵌套类轴承承载性能较差,但在小间隙下轴承刚度较大且耗气量较低。 展开更多
关键词 空气静压轴承 超精密加工 微低重力仿真 微孔节流 静动态特性
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超声塑化微注射成型技术研究现状及展望 被引量:1
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作者 金胜祥 赵南阳 +3 位作者 许忠斌 叶如清 林增荣 胡高峰 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期168-174,共7页
简述了超声塑化中界面摩擦生热、黏弹性生热和空化效应3种生热机理及其研究现状,从超声塑化微注射成型(UPMIM)工艺参数的影响效果和成品性能的影响因素两个角度分析概括了UPMIM工艺的研究现状。介绍了现有UPMIM装置的结构及加工步骤,概... 简述了超声塑化中界面摩擦生热、黏弹性生热和空化效应3种生热机理及其研究现状,从超声塑化微注射成型(UPMIM)工艺参数的影响效果和成品性能的影响因素两个角度分析概括了UPMIM工艺的研究现状。介绍了现有UPMIM装置的结构及加工步骤,概括了UPMIM在精密药物输送装置、智能定制植入物和微流控设备等领域的应用研究现状,指出了UPMIM技术大规模工业化生产应用所具有的技术优势和面临的诸多技术挑战,对UPMIM未来的主要研究方向与应用领域进行了总结与展望。 展开更多
关键词 微注射成型 超声塑化 生热机理 工艺研究 精密加工
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脉冲电解加工技术在精微加工领域中的新发展 被引量:15
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作者 王建业 张永俊 +1 位作者 余艳青 黄立勋 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期114-119,共6页
介绍了高频、窄脉冲成形加工技术新的研究成果,考察了国外微细加工技术的新发展状况,结果表明:精密窄脉冲电解加工近年来向提高频率、缩短脉宽方向发展;大电流、高频、窄脉冲电流源加工精密复杂型腔、型面的新工艺及新电源已投入模具、... 介绍了高频、窄脉冲成形加工技术新的研究成果,考察了国外微细加工技术的新发展状况,结果表明:精密窄脉冲电解加工近年来向提高频率、缩短脉宽方向发展;大电流、高频、窄脉冲电流源加工精密复杂型腔、型面的新工艺及新电源已投入模具、叶片的试生产中,显示出良好的技术经济效果,成形精度可达0.05mm;近期国外又发展了数百兆赫、数百纳秒级微小电流加工数十微米级零件的微细加工技术,开拓了电解加工用于微细加工的新领域,显示了脉冲电解加工巨大的发展潜势。试验研究表明,随着频率的提高、脉宽的变窄,引起阳极集中蚀除能力进一步加强,加工间隙进一步缩小,最终导致加工精度相应提高。所研制的1000A、20kHz矩形波电流源的脉冲前沿上升时间达微秒级,快速短路保护时间仅为数十微秒级。 展开更多
关键词 电解加工 高频 窄脉冲电流 精密加工 微细加工
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磨粒流精密光整加工的微切削机理 被引量:22
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作者 丁金福 刘润之 +1 位作者 张克华 鄂世举 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期3324-3331,共8页
利用磨粒流的流变特性,通过对应力张量的分析,研究了磨粒流加工中的微切削力。提出了磨粒流加工是兼挤压与微去除方式为一体的复合加工,微切削动力主要来自于磨粒挤压力、磨粒的犁削力及磨料介质的剪切力。建立了磨粒流动力学模型,通过... 利用磨粒流的流变特性,通过对应力张量的分析,研究了磨粒流加工中的微切削力。提出了磨粒流加工是兼挤压与微去除方式为一体的复合加工,微切削动力主要来自于磨粒挤压力、磨粒的犁削力及磨料介质的剪切力。建立了磨粒流动力学模型,通过改变磨粒流流道的加工条件和测试加工过程的接触区压力、去除量及表面粗糙度等参数,用量化的方式揭示了磨粒流加工中抽象微切削力的变化规律。最后,结合COMSOL Multiphysics软件的CFD模块数值仿真了剪切力。结果显示:基于加模芯的方法有效地提高了磨粒流加工的微切削力,滑块4经15次循环后表面粗糙度由加工前的2.918μm下降为1.027μm,而去除量下降了0.09g。实验表明,磨粒流加工中去除量确有变化,但随着加工次数增加去除作用迅速削弱,而表面粗糙度在挤压力的作用下仍有所降低。 展开更多
关键词 磨粒流 精密加工 去除机理 应力张量 挤压 微切削力
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金刚石飞切加工微结构表面的工艺参数优化 被引量:24
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作者 赵清亮 郭兵 +1 位作者 杨辉 王义龙 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期2512-2519,共8页
为了获得具有纳米级表面质量的微结构表面,利用‘Nanosys-300’超精密复合加工系统实现了微结构表面的三维金刚石飞切加工,研究了主轴转速、进给量以及背吃刀量对微结构表面粗糙度的影响。理论分析表明,金刚石飞切加工微结构时理论表面... 为了获得具有纳米级表面质量的微结构表面,利用‘Nanosys-300’超精密复合加工系统实现了微结构表面的三维金刚石飞切加工,研究了主轴转速、进给量以及背吃刀量对微结构表面粗糙度的影响。理论分析表明,金刚石飞切加工微结构时理论表面粗糙度沿法线方向并没有变化,而沿进给方向存在着周期变化。减小进给量和金刚石飞刀前端角或增大切削半径可以降低理论粗糙度值。实验分析表明,表面粗糙度值Ra随进给量的增加而增加,主轴转速对Ra影响不大。切削聚碳酸酯(PC)时,在5~40μmRa随背吃刀量的增加而增加;而切削铝合金(LY12)时,在2~10μmRa随背吃刀量的增加而减小。实验中Ra最好可达38 nm(LY12)和43 nm(PC)。最后,利用优化工艺参数加工出了微沟槽阵列和微金字塔矩阵微结构。 展开更多
关键词 超精密加工 微结构表面 飞切加工 金刚石刀具 表面粗糙度
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基于聚焦离子束铣削技术的微刀具制备 被引量:7
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作者 张少婧 徐宗伟 +1 位作者 房丰洲 胡小唐 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期469-472,共4页
提出了一种利用聚焦离子束(FIB)技术的铣削功能制备微细切削刀具的方法,通过设置恰当的离子束参数及精确控制刀具的不同刀面相对离子束的位置,可以获得具有高精度特征尺寸、锋锐刃口且复杂形状的微刀具.被加工刀具的典型特征尺寸为5~50... 提出了一种利用聚焦离子束(FIB)技术的铣削功能制备微细切削刀具的方法,通过设置恰当的离子束参数及精确控制刀具的不同刀面相对离子束的位置,可以获得具有高精度特征尺寸、锋锐刃口且复杂形状的微刀具.被加工刀具的典型特征尺寸为5~50,μm,可加工各种不同截面形状的微刀具.对硬质合金材料的毛坯进行FIB铣削,获得了宽度为7.65,μm、刃口半径小于30,nm的矩形微刀具.通过在超精密车床上进行加工试验,结果表明,FIB铣削的微刀具具有很好的加工性能. 展开更多
关键词 聚焦离子束 微刀具 微加工 超精密加工
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连续小直线段高速高精插补中的动力学约束条件 被引量:17
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作者 彭芳瑜 李黎 +1 位作者 陈徐兵 李斌 《计算机辅助设计与图形学学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第12期1812-1816,共5页
针对连续小直线段高速高精插补算法中起始点和终止点的速度规划,建立了包含机床加减速性能、转接处误差控制、最大加速度以及机床负载功率等的速度约束条件·通过仿真实验得出:当连续小直线段间拐角较小时,机床加减速性能是影响加... 针对连续小直线段高速高精插补算法中起始点和终止点的速度规划,建立了包含机床加减速性能、转接处误差控制、最大加速度以及机床负载功率等的速度约束条件·通过仿真实验得出:当连续小直线段间拐角较小时,机床加减速性能是影响加工效率和表面精度的最主要因素;当拐角增大到一定程度时,误差的限制成为约束速度提高的主要矛盾;当拐角较大时,机床的最大驱动力矩起到主要作用· 展开更多
关键词 连续小直线段插补 机床动力学 速度约束条件 高速高精
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微小型超精密微细铣削机床的研制 被引量:9
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作者 张鹏 王波 +1 位作者 卢礼华 梁迎春 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2010年第6期72-75,共4页
为了满足超薄壁微小结构零件的超精密加工需要,研制了一台微小型超精密三轴联动微细铣削加工机床。机床的总体尺寸为600mm×500mm×700mm,三个直线运动轴的行程均为75mm。为了克服传统的由滚珠丝杠驱动的伺服系统带来的非线性问... 为了满足超薄壁微小结构零件的超精密加工需要,研制了一台微小型超精密三轴联动微细铣削加工机床。机床的总体尺寸为600mm×500mm×700mm,三个直线运动轴的行程均为75mm。为了克服传统的由滚珠丝杠驱动的伺服系统带来的非线性问题,此机床采用了永磁直线电动机直接驱动气体静压导轨,并由5 nm分辨率的线性光栅作为位置反馈元件组成全闭环控制系统的伺服控制方法;采用高精度运动控制卡PMAC嵌入工控机的开放式数控系统,并采用"PID算法+前馈控制"的复合控制策略。跟踪阶跃信号和正弦信号的实验结果表明,机床可以实现纳米级的运动控制精度;使用分辨率为1nm的Renishaw激光干涉仪测量,得到补偿后的三个运动轴的定位精度均小于±0.25μm,重复定位精度均小于±0.2μm。使用0.5mm的硬质合金立铣刀加工一组高度为50μm的台阶,加工精度为±0.3μm;使用1mm的硬质合金立铣刀加工平面的表面粗糙度为40nm。 展开更多
关键词 超精密机床 运动控制 微细铣削 表面形貌
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滚柱滚压表面光整机理的解析分析和实验验证 被引量:12
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作者 李风雷 夏伟 周照耀 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期98-103,127,共7页
为深入了解滚柱滚压表面光整机理,解决目前滚压量选择完全凭经验和手感的不足,将滚柱滚压加工过程视为平面应变力学情形,利用Boussinesq-Flamant问题的求解并根据Von-Mises屈服准则得出了滚压局部发生微塑性变形的区域,根据Hertz接触理... 为深入了解滚柱滚压表面光整机理,解决目前滚压量选择完全凭经验和手感的不足,将滚柱滚压加工过程视为平面应变力学情形,利用Boussinesq-Flamant问题的求解并根据Von-Mises屈服准则得出了滚压局部发生微塑性变形的区域,根据Hertz接触理论得出了滚压接触压力分布及滚压过程中工件和工具的应力分布.考虑零件的粗糙表面形态,得出了构成滚压量的各因素如机床变形量、滚压工具变形量、工件整体变形量、工件滚压局部塑性变形量和弹性变形量以及粗糙表面变形量的滚压力参数方程,然后根据参数方程得出了滚压光整效果与滚压量的关系.最后,针对单滚柱式外圆滚压和复合滚柱式内孔滚压两种最典型的滚柱滚压形式,对比分析了各自的预测结果与实验结果,证明了推理假设和解析公式的有效性. 展开更多
关键词 滚柱滚压 表面精加工 微塑性变形 表面粗糙度 滚压机理
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新型金属阀在小型压电泵中的应用 被引量:4
11
作者 贺琳 纪秀 +1 位作者 郑文 杨志刚 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期72-75,共4页
为了减小压电泵的体积以便可在新的领域中使用,该文设计了一种新型压电泵。对该型压电泵的驱动原理、机械结构、制造方法和机械性能等进行了研究。首先说明了单腔单压电振子泵的工作原理;接着提出了新型的金属单向阀,这种单向阀为整体... 为了减小压电泵的体积以便可在新的领域中使用,该文设计了一种新型压电泵。对该型压电泵的驱动原理、机械结构、制造方法和机械性能等进行了研究。首先说明了单腔单压电振子泵的工作原理;接着提出了新型的金属单向阀,这种单向阀为整体开启式,可有效提高阀的使用寿命;然后讨论了该压电泵中组件的加工方法和装配后的整机尺寸的大小;最后介绍了该压电泵在医用胰岛素推注方面的应用。实验结果表明,新型的压电泵可承受背压为30 kPa,泵的整体尺寸为17 mm×20 mm×5 mm,推注液体精度可达到1.2μL。设计制作的整体开启式单向阀的性能稳定可靠、能承受较高背压,该型压电泵具有推注压力高、流量稳定等特点。 展开更多
关键词 压电泵 压电振子 微驱动 精密加工
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采用微刀具的菲涅耳器件超精密制造方法 被引量:3
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作者 张效栋 房丰洲 +3 位作者 程颖 徐宗伟 张少婧 魏桂爽 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第3期502-505,共4页
菲涅耳器件是红外传感器等领域不可或缺的高性能光学元件。其高效和高精度的制造方法是目前研究的重点。文中借助单点金刚石切削技术实现菲涅耳器件加工,采用半圆头型刀具有效减小不可切削区域,并基于聚焦离子束微加工方法进行微刀具制... 菲涅耳器件是红外传感器等领域不可或缺的高性能光学元件。其高效和高精度的制造方法是目前研究的重点。文中借助单点金刚石切削技术实现菲涅耳器件加工,采用半圆头型刀具有效减小不可切削区域,并基于聚焦离子束微加工方法进行微刀具制备。对所提出方法的关键技术和制造工艺进行了详细论述。对不同应用领域的两类菲涅耳器件进行加工实验,并建立光学测试平台进行光学性能分析,实验结果表明:所提出的方法可满足菲涅耳器件的应用需求。 展开更多
关键词 菲涅耳镜加工 超精密车削 微刀具
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微磨料水射流精确送料装置设计及应用研究 被引量:4
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作者 戴良博 雷玉勇 +2 位作者 刘克福 卫排峰 王荣娟 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2010年第9期17-19,25,共4页
针对微磨料水射流加工中磨料连续、均匀供给问题,利用螺杆泵送原理设计开发了微磨料精确送料装置。螺杆泵采用微型直流减速电动机驱动,通过相应的控制电器板控制电动机转速,从而实现磨料流量精确控制。根据实验测试数据,对磨料质量流量... 针对微磨料水射流加工中磨料连续、均匀供给问题,利用螺杆泵送原理设计开发了微磨料精确送料装置。螺杆泵采用微型直流减速电动机驱动,通过相应的控制电器板控制电动机转速,从而实现磨料流量精确控制。根据实验测试数据,对磨料质量流量与电动机电压关系进行了线性拟合。计算表明,在10~24V范围,螺杆泵送磨料质量流量平均误差1·03g/min,最大误差为1·96g/min;平均相对误差0·2%,最大相对误差1·79%。该方程可以用于磨料流量精确控制方程。在现有水射流机床上应用该装置进行切割实验表明,工件切割断面的表面粗糙度平均值比传统自吸式供料系统提高2.64倍。微磨料水射流供料装置在精密加工领域具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 微磨料 磨料水射流 精密加工
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微细电火花成形加工设备关键技术研究 被引量:4
14
作者 付伟 王先逵 +2 位作者 曹凤国 李勇 杨大勇 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2010年第4期1-4,共4页
基于微细电火花加工的要求,对微细电火花成形加工设备中的关键技术进行研究,成功研制了一套高精度的微细放电加工设备产品,包括一台微细电火花加工机床和一台精密脉冲电源。优化机床关键零/部件的结构后,机床的变形小,运动精度高;电源... 基于微细电火花加工的要求,对微细电火花成形加工设备中的关键技术进行研究,成功研制了一套高精度的微细放电加工设备产品,包括一台微细电火花加工机床和一台精密脉冲电源。优化机床关键零/部件的结构后,机床的变形小,运动精度高;电源放电稳定,控制精确。经加工试验表明,该设备加工效果较好,加工精度和稳定性较高,加工出的窄槽工件的尺寸精度可达到5μm,加工直径为300μm的小孔,其圆度误差达到3μm,可满足微细电火花加工的要求。 展开更多
关键词 微细电火花加工 设备 机床 脉冲电源 精密
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弹性材料微小方孔的微细电解铣削加工技术研究 被引量:5
15
作者 张长富 孙立力 张振羽 《制造技术与机床》 北大核心 2015年第3期101-104,共4页
高强度、高硬度弹性材料3J21微小方孔是航空、仪器仪表、模具等行业中常用的结构且加工困难。分析了难加工金属材料微小结构常用的加工方法,阐述了微细电解铣削加工的原理和实验系统,在研究微细圆柱电极在线制备基础上,利用回形单一加... 高强度、高硬度弹性材料3J21微小方孔是航空、仪器仪表、模具等行业中常用的结构且加工困难。分析了难加工金属材料微小结构常用的加工方法,阐述了微细电解铣削加工的原理和实验系统,在研究微细圆柱电极在线制备基础上,利用回形单一加工、折线粗加工结合回形精加工2种方案进行了难加工材料3J21微小方孔的微细电解分层铣削加工研究,加工得到具有较高精度的微小方孔。研究表明,直流电源折线粗加工结合纳秒脉冲电源回形精加工方法所加工的微小方孔菱角分明、结构规整,具有较高的加工精度和表面质量,且无加工变质层和残余应力,是实现高弹性材料3J21微小结构加工成形的一种理想方法。 展开更多
关键词 弹性材料 微细电解铣削加工 微小方孔 加工精度
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特种加工技术在精密微细加工中的应用 被引量:3
16
作者 赵葛霄 吕文阁 陈远志 《工具技术》 北大核心 2001年第8期5-8,共4页
介绍了特种加工技术的概况及特点 ,并对精密微细加工中常用的特种加工方法的技术特点、应用领域及加工精度进行了评述。
关键词 特种加工 精密加工 超精密加工 微细加工
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压电陶瓷微位移驱动技术的研究 被引量:4
17
作者 许黎明 胡德金 +1 位作者 张广鹏 赵晓明 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2003年第9期31-35,共5页
精密异形非圆回转曲面的加工是精密加工中很重要的内容 ,微位移驱动技术是其中的关键技术。压电陶瓷驱动控制精度高、可操作性强 ,但它的输出位移小 ,而且对于一定的驱动电源 ,输出幅度与输出频率负相关 ,制约了它在高频响、较大幅度位... 精密异形非圆回转曲面的加工是精密加工中很重要的内容 ,微位移驱动技术是其中的关键技术。压电陶瓷驱动控制精度高、可操作性强 ,但它的输出位移小 ,而且对于一定的驱动电源 ,输出幅度与输出频率负相关 ,制约了它在高频响、较大幅度位移输出场合中的应用。文章首先对压电陶瓷的静、动态驱动特性进行了分析 ,并就特定PZT(PiezoelectricTranslator)进行了实验 ,在此基础上提出了该类微位移驱动有效的加工范围和改善其输出特性的措施 。 展开更多
关键词 压电陶瓷 微位移驱动 异形曲面 精密加工 切削加工
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大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用 被引量:2
18
作者 郭隐彪 王振忠 +2 位作者 彭云峰 杨炜 毕果 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期286-292,共7页
超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证.以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制... 超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证.以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制、大尺寸检测、加工环境监控、快速抛光、表面织构化等研究应用情况. 展开更多
关键词 微纳米加工 检测 超精密加工装备 快速抛光 加工监控 表面织构化
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超精密加工中的微位移技术 被引量:8
19
作者 马淑梅 陈彬 《同济大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期684-687,共4页
微位移技术是实现超精密加工的重要途径 ,据此介绍了微位移的实现方法 ,并对压电陶瓷微位移机构系统作了进一步的介绍 ,阐述了系统的组成、工作原理、结构及特点 .最后进行了采用MCS - 5 1系列单片机控制的压电陶瓷微位移机构闭环控制... 微位移技术是实现超精密加工的重要途径 ,据此介绍了微位移的实现方法 ,并对压电陶瓷微位移机构系统作了进一步的介绍 ,阐述了系统的组成、工作原理、结构及特点 .最后进行了采用MCS - 5 1系列单片机控制的压电陶瓷微位移机构闭环控制系统来提高工件的面形精度的实验 .结果表明 ,工件的面形精度提高了 5 0 展开更多
关键词 微位移技术 超精密加工 压电陶瓷
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基于显微机器视觉的微纳米级构件的精密检测 被引量:6
20
作者 杨晓京 王思琪 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2017年第5期227-230,共4页
随着微纳米技术的发展,大量精密微小型机电产品得到了广泛的应用。针对微机电产品中微纳米构件精密检测的技术需求,提出了一种万向体式显微镜与高分辨率CCD相机相结合的显微机器视觉测量系统。采用MATLAB软件对采集到的图像进行了图像... 随着微纳米技术的发展,大量精密微小型机电产品得到了广泛的应用。针对微机电产品中微纳米构件精密检测的技术需求,提出了一种万向体式显微镜与高分辨率CCD相机相结合的显微机器视觉测量系统。采用MATLAB软件对采集到的图像进行了图像预处理、阈值分割及数学形态学处理、边缘检测及提取等的分析与研究。并且测量了微小齿轮的齿根圆直径,对测量结果进行了分析。结果表明该测量系统的测量误差较小,测量精度高,满足对微纳米级构件的精密测量的要求。 展开更多
关键词 显微机器视觉 MATLAB 微纳米级构件 图像处理与分析 精密检测
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