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同步相移横向剪切干涉中偏振器件的误差建模被引量：1: 1; 作者张郁文刘丙才 +3 位作者王红军田爱玲任柯鑫王凯《中国光学（中英文）》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期640-647,共8页; 为了对同步相移横向剪切干涉系统中偏振器件的选型、装调以及误差补偿提供可靠的理论依据,本文根据琼斯矩阵原理,构建了系统中1/4波片和偏振片阵列误差对测量结果影响程度的误差模型,对四分之一波片的相位延迟误差、快轴方位角误差以及... 展开更多; 关键词横向剪切干涉同步相移偏振器件误差建模琼斯矩阵; 在线阅读下载PDF 职称材料

偏振正交性对偏振相移干涉检测精度的影响被引量：4: 2; 作者宣斌宋淑梅《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3001-3007,共7页; 为了提高线偏振相移干涉检测的精度,分析了参考光和测试光的偏振方向正交性对该项检测技术的影响。分析了线偏振相移干涉的原理,提出偏振非正交引起的检测误差与波像差有关,且检测误差峰谷值与测试光和参考光振幅之比以及偏振非正交量... 展开更多; 关键词光学检测偏振相移干涉偏振正交性波像差 Skip-Flat检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

单检偏器数字散斑干涉偏振相移方法被引量：1: 3; 作者李露董明利 +1 位作者李伟仙吴思进《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2019年第12期1467-1471,共5页; 针对曾经提出的数字散斑干涉时间偏振相移方法[1]所存在的结构复杂、操作不便等不足,提出了一种优化的数字散斑干涉偏振相移方法。不同于原先方法需要两组固定波片和可动检偏片,本方法仅需一组固定波片和可动检偏器即可实现相移,因此系... 展开更多; 关键词相移偏振数字散斑干涉; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于瞬态三维测量的点衍射干涉系统被引量：3: 4; 作者王朝王道档 +2 位作者朱其幸许新科孔明《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期93-100,共8页; 针对基于PZT移相的点衍射干涉三维测量系统中存在采样时间间隔过长和易受外界扰动影响等问题,提出了用于瞬态三维测量的点衍射干涉系统。通过对点衍射干涉三维测量系统光束偏振态调制并引入偏振相机,实现了三维空间坐标的瞬态移相干涉... 展开更多; 关键词三维测量点衍射干涉瞬态检测偏振相移误差校正; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名同步相移横向剪切干涉中偏振器件的误差建模被引量：1: 1; 作者张郁文刘丙才王红军田爱玲任柯鑫王凯; 机构西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室; 出处《中国光学（中英文）》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期640-647,共8页; 基金国家基础科研项目(No.JCKY2020426B009) 陕西省科技厅“科学家+工程师”队伍项目(No.2023KXJ-066)。; 文摘为了对同步相移横向剪切干涉系统中偏振器件的选型、装调以及误差补偿提供可靠的理论依据,本文根据琼斯矩阵原理,构建了系统中1/4波片和偏振片阵列误差对测量结果影响程度的误差模型,对四分之一波片的相位延迟误差、快轴方位角误差以及偏振片阵列透光轴方位角误差对测量结果的影响进行了定量分析。仿真结果表明:1/4波片的相位延迟误差在±1°以内时,波面测量误差为0.00002λ(PV)和0.000062λ(RMS);1/4波片的调整精度在±2°以内时,波面测量误差为0.0001λ(PV)和0.00006λ(RMS);偏振片阵列方位角误差在±1°以内时,测量误差为0.003λ(PV)和0.001λ(RMS)。根据仿真结果对测量系统中偏振元器件进行选型,同时选择两种不同精度的偏振元器件进行对比实验。实验结果的残差值与仿真结果的残差值的PV以及RMS值偏差均小于λ/20,可以在一定程度上验证模型的有效性。本文提出的数学模型可以为同步相移横向剪切干涉系统中偏振器件的选型提供可靠的理论依据。; 关键词横向剪切干涉同步相移偏振器件误差建模琼斯矩阵; Keywords lateral shearing interferometry simultaneous phase-shifted interferometry polarization device modeling of errors Jones matrix; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名偏振正交性对偏振相移干涉检测精度的影响被引量：4: 2; 作者宣斌宋淑梅; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3001-3007,共7页; 基金国家863高技术研究发展计划资助项目; 文摘为了提高线偏振相移干涉检测的精度,分析了参考光和测试光的偏振方向正交性对该项检测技术的影响。分析了线偏振相移干涉的原理,提出偏振非正交引起的检测误差与波像差有关,且检测误差峰谷值与测试光和参考光振幅之比以及偏振非正交量成正比。讨论了偏振非正交产生的原因,认为测试光在被检元件表面的折射或者反射都有可能引起偏振非正交。针对不同被检元件,给出了减少偏振非正交的几种方法,包括合理镀膜、选择合理入射角偏振方向等。通过Skip-Flat检测对理论分析进行了验证。结果显示,对于入射角为45°的检测光路,偏振正交性引入的检测误差呈现与条纹一致的分布,峰谷值为0.174 1λ,这与理论分析相吻合。文章指出,进行偏振相移干涉检测时,需要针对不同的被检元件进行分析,以确保偏振非正交产生的检测误差能够满足技术要求。; 关键词光学检测偏振相移干涉偏振正交性波像差 Skip-Flat检测; Keywords optical testing polarization phase shifting interferometry（ppsi） polarization orthogonality Optical Path Difference （OPD） Skip-Flat testing; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名单检偏器数字散斑干涉偏振相移方法被引量：1: 3; 作者李露董明利李伟仙吴思进; 机构北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院; 出处《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2019年第12期1467-1471,共5页; 基金国家重点研发计划重大科学仪器设备开发专项项目(No.2016YFF0101801) 国家自然科学基金项目(No.51705025 +1 种基金 No.51675055 No.11672045)资助; 文摘针对曾经提出的数字散斑干涉时间偏振相移方法[1]所存在的结构复杂、操作不便等不足,提出了一种优化的数字散斑干涉偏振相移方法。不同于原先方法需要两组固定波片和可动检偏片,本方法仅需一组固定波片和可动检偏器即可实现相移,因此系统结构和操作过程都更加简单,且减少了光路调节不准所带来的相移误差,相位图质量更高。实验结果显示,结合传统的三步、四步、五步相移算法,基于单检偏器偏振相移器的数字散斑干涉方法能够获取质量较好的相位图,因此证明了这种方法可有效替代原方法。; 关键词相移偏振数字散斑干涉; Keywords phase shift polarization digital speckle pattern interferometry; 分类号 TH74 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于瞬态三维测量的点衍射干涉系统被引量：3: 4; 作者王朝王道档朱其幸许新科孔明; 机构中国计量大学计量测试工程学院桂林电子科技大学广西光电信息处理重点实验室; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期93-100,共8页; 基金国家自然科学基金(51775528) 广西光电信息处理重点实验室(培育基地)基金(GD18205) 中国博士后科学基金(2017M621928)项目资助.; 文摘针对基于PZT移相的点衍射干涉三维测量系统中存在采样时间间隔过长和易受外界扰动影响等问题,提出了用于瞬态三维测量的点衍射干涉系统。通过对点衍射干涉三维测量系统光束偏振态调制并引入偏振相机,实现了三维空间坐标的瞬态移相干涉测量。针对偏振相机存在的视场误差及其对三维测量精度的影响,研究了基于相位插值的视场误差校正方法。为了验证系统方案的可行性,分别进行了数值仿真与三维在线测量比对实验。实验结果表明,利用本系统可实现亚微米量级的三维空间瞬态测量,且测量重复性小于5%。所提出的瞬态点衍射干涉系统具有对外界扰动不敏感、重复性测量精度高和快速测量等特点,为无导轨三维位移和尺寸等瞬态测量提供了一种可行的方法。; 关键词三维测量点衍射干涉瞬态检测偏振相移误差校正; Keywords three-dimensional measurement point-diffraction interferometry transient measurement polarization phase shift error calibration; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	同步相移横向剪切干涉中偏振器件的误差建模	张郁文刘丙才王红军田爱玲任柯鑫王凯	《中国光学（中英文）》 EI CAS CSCD 北大核心	2024	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	偏振正交性对偏振相移干涉检测精度的影响	宣斌宋淑梅	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	单检偏器数字散斑干涉偏振相移方法	李露董明利李伟仙吴思进	《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心	2019	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	用于瞬态三维测量的点衍射干涉系统	王朝王道档朱其幸许新科孔明	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2020	3	在线阅读下载PDF 职称材料