单晶GaN平面研磨及材料脆塑性去除评估方法研究

1

作者 罗斌 张龙 +2 位作者 焦振华 柴京富 罗金星 《表面技术》 北大核心 2025年第16期141-155,共15页

目的针对异质外延生长的GaN晶片表面粗糙度高、亚表面损伤大等问题,通过优化平面研磨工艺,实现单晶GaN的高效率、高质量平面研磨加工。方法采用游离磨料对GaN表面进行单因素研磨实验,研究磨料种类、磨料粒径、研磨液流量、研磨盘转速、... 目的针对异质外延生长的GaN晶片表面粗糙度高、亚表面损伤大等问题,通过优化平面研磨工艺,实现单晶GaN的高效率、高质量平面研磨加工。方法采用游离磨料对GaN表面进行单因素研磨实验,研究磨料种类、磨料粒径、研磨液流量、研磨盘转速、研磨压力、研磨时间和研磨盘材质等对研磨效果的影响规律,通过图像分割识别法对已加工表面脆塑性域去除面积进行精准识别分割,研究工艺参数对脆塑域去除面积的影响规律。结果单晶GaN的材料去除速率(Material Removal Rate,MRR)和表面形貌受多种因素的影响。粒径为W3的金刚石磨料最适合GaN的研磨加工,与其他磨料和粒径相比其表面粗糙度和材料脆性域去除面积占比最小。随研磨液流量的增大,MRR先增大后减小,表面粗糙度Ra和材料脆性域去除面积占比逐渐减小。随研磨盘转速和研磨压力的增大,材料去除速率不断增大,表面粗糙度和材料脆性域去除面积占比先减小后增大。在工艺参数为1%(质量分数)W3金刚石磨料、合成铜盘、研磨液流量8 mL/min、研磨转速40 r/min、研磨压力166 kPa条件下研磨12 min后,表面粗糙度从Ra 190 nm下降到Ra 20 nm,材料去除速率为3.61μm/min,材料脆性域去除面积占比仅为7.66%。结论采用优化工艺进行单晶GaN游离磨料研磨能有效降低表面粗糙度,采用图像分割识别法能快速精准识别材料的脆塑性域去除面积,用于指导工艺参数优化。 展开更多

关键词 单晶GaN 平面研磨 材料去除 表面粗糙度 脆性域去除

在线阅读 下载PDF 职称材料

任意平面域上离散点集的三角化方法 被引量：34

2

作者 杨钦 徐永安 +1 位作者 陈其明 谭建荣 《软件学报》 EI CSCD 北大核心 1998年第4期241-245,共5页

本文提出了一种快速、有效的三角化算法，实现了任意平面域上散乱数据的三角化，生成的网络符合Ｄｅｌａｕｎａｙ准则，网格的优化是在网格生成过程中完成的，算法复杂度与点数呈近似线性关系．该算法运用于石油地质勘探领域，成功地解... 本文提出了一种快速、有效的三角化算法，实现了任意平面域上散乱数据的三角化，生成的网络符合Ｄｅｌａｕｎａｙ准则，网格的优化是在网格生成过程中完成的，算法复杂度与点数呈近似线性关系．该算法运用于石油地质勘探领域，成功地解决了包含复杂断层的大规模数据点的三角化问题． 展开更多

关键词 三角化 任意平面域 离散点集 石油勘探

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于Voronoi图的快速成型扫描路径生成算法研究 被引量：22

3

作者 陈剑虹 马鹏举 +2 位作者 田杰谟 刘振凯 卢秉恒 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第5期728-731,共4页

提出一种平面多连通区域的算法 ,该算法对波前传播算法进行了扩展 ,能适用于平面多连通区域。用 VC++实现了平面多连通区域的 Voronoi图算法 。

关键词 VORONOI图 快速成型 平面多连通区域

在线阅读 下载PDF 职称材料

平面多边形域的快速约束Delaunay三角化 被引量：25

4

作者 曾薇 孟祥旭 +1 位作者 杨承磊 杨义军 《计算机辅助设计与图形学学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第9期1933-1940,共8页

针对任意平面多边形域,采用增量思想和均匀网格,在局部范围内快速生成约束Delaunay三角形.该方法不会生成区域外的三角形;对存在折线、离散点以及含“洞”的情况不需要特殊处理.实验结果表明,该方法对于随机生成的简单多边形域三角化速... 针对任意平面多边形域,采用增量思想和均匀网格,在局部范围内快速生成约束Delaunay三角形.该方法不会生成区域外的三角形;对存在折线、离散点以及含“洞”的情况不需要特殊处理.实验结果表明,该方法对于随机生成的简单多边形域三角化速度快,平均计算时间呈近似线性.另外,针对文字、工业图案等带状图像的边界多边形,充分利用其近似等宽性优化算法,将其应用于带状图像骨架的快速提取. 展开更多

关键词 平面多边形域 约束DELAUNAY三角化 均匀网格

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种时域平面扫描三维成像算法研究 被引量：7

5

作者 胡楚锋 周洲 +1 位作者 李南京 张麟兮 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期764-768,共5页

提出了一种基于平面扫描模式下的三维成像时域算法。该算法在平面网格点上获取扫频幅相信息,经过相位补偿后变换到球面上,然后利用傅里叶逆变换将频域数据沿投影线转换为时域数据,对应球面的不同空间角度在投影线上作线性插值,最后通过... 提出了一种基于平面扫描模式下的三维成像时域算法。该算法在平面网格点上获取扫频幅相信息,经过相位补偿后变换到球面上,然后利用傅里叶逆变换将频域数据沿投影线转换为时域数据,对应球面的不同空间角度在投影线上作线性插值,最后通过二维角域积分获得目标的三维图像。仿真结果表明该算法聚焦效果良好。在微波暗室内构建了一套平面扫描三维成像系统,采用该算法处理后能获得高分辨率三维微波图像,成像的空间位置误差优于1 cm。 展开更多

关键词 平面扫描 三维成像 时域 投影线

在线阅读 下载PDF 职称材料

一个通用的快速三角化算法 被引量：23

6

作者 李伟青 彭群生 《计算机辅助设计与图形学学报》 EI CSCD 北大核心 2001年第9期769-773,共5页

提出了一个适用于任意平面多边形区域及散乱点集的通用三角化算法 .当算法应用于多边形区域时 ,首先对各个顶点和区域内部的散乱点按扫描方式排序 ,然后依次扫描各点 ,扩展生成新的三角形 ,从而获得局部已剖分区域 ,并最终完成整个区域... 提出了一个适用于任意平面多边形区域及散乱点集的通用三角化算法 .当算法应用于多边形区域时 ,首先对各个顶点和区域内部的散乱点按扫描方式排序 ,然后依次扫描各点 ,扩展生成新的三角形 ,从而获得局部已剖分区域 ,并最终完成整个区域的三角化 .将上述过程作适当改动后 ,可被用于平面散乱点集的三角网格化 .该通用算法除了具有快速三角化的特点之外 ,还采用局部区域的优化组合来体现最优化准则 。 展开更多

关键词 散乱点集 VORONOI图 三角化算法 凸多边形 计算机图形学

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于屏蔽暗箱窗口法的材料电磁脉冲屏蔽效能时域测试 被引量：15

7

作者 陈翔 陈永光 +1 位作者 魏明 胡小锋 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期668-674,共7页

针对现有材料电磁脉冲屏蔽效能时域测试方法的不足,提出使用屏蔽暗箱窗口法进行材料屏蔽效能的时域测试。分别在频域和时域分析了影响材料屏蔽效能测试的因素,并根据分析结果搭建了屏蔽暗箱窗口法的时域测试系统。在搭建的系统中测量了... 针对现有材料电磁脉冲屏蔽效能时域测试方法的不足,提出使用屏蔽暗箱窗口法进行材料屏蔽效能的时域测试。分别在频域和时域分析了影响材料屏蔽效能测试的因素,并根据分析结果搭建了屏蔽暗箱窗口法的时域测试系统。在搭建的系统中测量了有、无屏蔽材料时的时域波形参数,并计算了峰值比值屏蔽效能。结果表明:测试点应靠近窗口;窗口尺寸的改变比箱体尺寸的改变对于测试结果的影响更大,应尽量选择大尺寸窗口;时域测试中脉冲上升时间应<1ns。实测频域试验表明,采用屏蔽暗箱窗口法与屏蔽室窗口法的测试结果基本一致,总体比法兰同轴法的测试结果偏大。综上所述,屏蔽暗箱窗口法有很好的适用性,能够可靠评价材料的时域屏蔽效能。 展开更多

关键词 屏蔽暗箱 窗口法 平面屏蔽材料 屏蔽效能 时域测试 CST仿真

在线阅读 下载PDF 职称材料

任意平面区域的自动三角剖分 被引量：7

8

作者 李世森 朱志夏 +1 位作者 秦岭 时钟 《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CAS CSCD 2000年第5期592-598,共7页

提出平面区域内点集的新的自动生成法以及更加通用、健壮的任意平面区域的Delaunay三角剖分法 .前者同时保证新生成的点均位于域内 ,点的疏密程度连续变化和最终网格具有良好形态 ;后者在不添加辅助线 ,不改变原有点集和不增加编程难度... 提出平面区域内点集的新的自动生成法以及更加通用、健壮的任意平面区域的Delaunay三角剖分法 .前者同时保证新生成的点均位于域内 ,点的疏密程度连续变化和最终网格具有良好形态 ;后者在不添加辅助线 ,不改变原有点集和不增加编程难度的前提下 ,统一解决了任意平面区域 (多连通、多点共圆和非凸 )的自动三角剖分问题 ,并讨论了计算机数值精度问题 . 展开更多

关键词 任意平面区域 三角剖分 数值精度 水力计算

在线阅读 下载PDF 职称材料

任意平面域上内部特征约束的变密度三角化方法 被引量：4

9

作者 杨晓东 申长雨 刘春太 《计算机应用与软件》 CSCD 北大核心 2003年第3期50-51,共2页

基于Delaunay三角化方法和前沿生成方法,给出了具有任意内部特征的平面域变密度三角形网格生成方法。针对不同的内部特征,可任意设定其网格尺寸,通过加权平均,有效地控制网格的尺寸变化,最终实现了网格的疏密光滑过渡。

关键词 变密度三角化方法 平面区域 内部特征约束 网格划分 变密度网格 DELAUNAY三角形 图形处理

在线阅读 下载PDF 职称材料

平面光波导结构的FDTD分析 被引量：8

10

作者 孔繁敏 李康 +1 位作者 郭毅峰 刘新 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期281-283,共3页

将各向异性理想匹配层 (APML)吸收边界条件用于平面光波导结构的时域有限差分法(FDTD)分析中 ,导出了APML媒质中适用于角域和边缘的通用差分方程 ,并对平行介质带定向耦合器进行了数值模拟和验证 ,所得数值解与解析解非常一致

关键词 时域有限差分法 各向异性理想匹配层 平面光波导

在线阅读 下载PDF 职称材料

时域近场测试中的采样面截断误差分析与修正 被引量：6

11

作者 刘超 薛正辉 +2 位作者 高本庆 刘瑞祥 杨仕明 《微波学报》 CSCD 北大核心 2001年第2期81-84,共4页

采样面截断误差是影响近场测试结果的一个很重要的因素。本文结合频域近场测量中对采样面截断误差的分析结果 ,根据时域近场测量的时域近场特性 ,借助 PSTD算法和 PML技术 ,提出一种修正时域近场测量采样面截断误差的新方法 ,数值例子... 采样面截断误差是影响近场测试结果的一个很重要的因素。本文结合频域近场测量中对采样面截断误差的分析结果 ,根据时域近场测量的时域近场特性 ,借助 PSTD算法和 PML技术 ,提出一种修正时域近场测量采样面截断误差的新方法 ,数值例子验证了方法的有效性。 展开更多

关键词 时域平面近场测量 采样面截断 时域拟谱法 时域近场测试

在线阅读 下载PDF 职称材料

移动台适用的平面型紧凑极化分集天线 被引量：5

12

作者 余川 王秉中 吴炜霞 《电波科学学报》 EI CSCD 2003年第5期593-595,共3页

给出一种适用于移动台的平面型紧凑极化分集天线。该天线由两个十字交叉的微带分支提供极化分集。每一分支都有单独的微带 -垂直探针馈电系统 ,并在分支上蚀刻有一个细槽以提高两个端口的隔离度。通过电容加载大大缩短了分支长度。利用... 给出一种适用于移动台的平面型紧凑极化分集天线。该天线由两个十字交叉的微带分支提供极化分集。每一分支都有单独的微带 -垂直探针馈电系统 ,并在分支上蚀刻有一个细槽以提高两个端口的隔离度。通过电容加载大大缩短了分支长度。利用时域有限差分法 ,在 90 0MHz频段对该天线进行了分析和优化。天线模型的测量结果与仿真结果基本吻合 ,在约 5 %的带宽内两个端口的隔离度大于 2 0dB、回波损耗均低于 - 10dB。该天线两端口的包络相关系数远小于 0 1,能够满足分集的要求。 展开更多

关键词 移动台 平面天线 紧凑极化分集天线 时域有限差分法

在线阅读 下载PDF 职称材料

长江口北槽水域的Delaunay三角剖分 被引量：4

13

作者 李世森 时钟 朱志夏 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1697-1702,共6页

为了进行长江口水动力过程等的有限元数值模拟 ,研究了任意平面区域的 Delaunay三角剖分和基于背景网格等值线点集的新的自动生成方法 :在局部三角形内得到等值线、进行自动加点 ;改进了任意平面区域的 Delaunay三角剖分法 ,与行波法结... 为了进行长江口水动力过程等的有限元数值模拟 ,研究了任意平面区域的 Delaunay三角剖分和基于背景网格等值线点集的新的自动生成方法 :在局部三角形内得到等值线、进行自动加点 ;改进了任意平面区域的 Delaunay三角剖分法 ,与行波法结合 ,从区域边界向域内逐步三角化 .前者简化了自动加点算法 ,保证新生成点均位于域内、疏密连续变化和最终网格具有良好形态 ;后者则统一解决了多连通、4点共圆和非凸域的自动三角剖分问题 ,逐步减少人为给定边界的影响 ,从而减少了算法的运行时间 .据此开发的软件包可动态监控点、网格的生成过程 ,并经大量的测试、验证 ,应用于长江口北槽水域的自动加点和三角剖分 。 展开更多

关键词 任意平面区域 点集生成 DELAUNAY三角剖分 长江口

在线阅读 下载PDF 职称材料

蓝牙平面倒F天线辐射对人体比吸收率仿真 被引量：7

14

作者 韩宇南 吕英华 +1 位作者 张金玲 张洪欣 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第2期360-364,共5页

基于可变网格的时域有限差分法,仿真了用于蓝牙通信系统2.4GHz的平面倒F天线电磁辐射在高保真人体模型中产生的比吸收率分布,分析了天线对人体的影响以及人体对天线辐射的影响。研究的情况是用高保真人体模型模拟蓝牙终端使用者,在胸口... 基于可变网格的时域有限差分法,仿真了用于蓝牙通信系统2.4GHz的平面倒F天线电磁辐射在高保真人体模型中产生的比吸收率分布,分析了天线对人体的影响以及人体对天线辐射的影响。研究的情况是用高保真人体模型模拟蓝牙终端使用者,在胸口的正前方10mm处放置了蓝牙射频发射平面倒F天线。仿真结果显示,人体对在人体方向60°范围的电磁波产生了20dB的吸收。天线辐射在人体中的比吸收率分布高的区域位于靠近天线附近的体表,皮肤、肌肉和血液组织的10克组织的平均比吸收率的最大值高于其他组织。对于100m长距离蓝牙通信系统的天线的最大射频功率100mW,比吸收率最大值小于最新的IEEE安全标准值。 展开更多

关键词 比吸收率 时域有限差分法 平面倒F天线

在线阅读 下载PDF 职称材料

带槽孔多层平面结构的谱域解及其数值技术 被引量：3

15

作者 刘波 金荣洪 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期359-362,共4页

建立了带单槽孔多层平面结构场分布的谱域电磁模型 .对该模型的数值求解讨论了相应的数值技术 ,以解决谱域积分中的奇异和振荡问题 .通过采用分离快慢变函数、大宗量简化函数、合理划分积分区域等一系列加速计算方法 ,大大缩短了计算时间 .

关键词 槽孔 多层平面结构 谱域解 数值技术 天线 RLSA

在线阅读 下载PDF 职称材料

MRTD算法在集成平面光波导组件分析中的应用 被引量：2

16

作者 孔繁敏 郭毅峰 +1 位作者 李康 刘新 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1068-1071,共4页

将基于Daubechies紧支集尺度函数的时域多分辨分析 (MRTD)算法用于集成平面光波导组件的时域分析中 ,实现了MRTD算法的各向异性理想匹配层 (APML)吸收边界条件 ,并对平行介质带定向耦合器进行了数值模拟和验证 ,所得结果与解析解非常一... 将基于Daubechies紧支集尺度函数的时域多分辨分析 (MRTD)算法用于集成平面光波导组件的时域分析中 ,实现了MRTD算法的各向异性理想匹配层 (APML)吸收边界条件 ,并对平行介质带定向耦合器进行了数值模拟和验证 ,所得结果与解析解非常一致 与传统的FDTD算法相比 。 展开更多

关键词 时域多分辨分析算法 各向异性理想匹配层 集成平面光波导组件

在线阅读 下载PDF 职称材料

采用PML吸收边界条件的FDTD法在分析平面微带结构中的应用 被引量：9

17

作者 崔俊海 钟顺时 《微波学报》 CSCD 北大核心 2000年第5期537-541,共5页

本文将理想匹配层 ( PML)吸收边界条件用于平面微带结构的时域有限差分法( FDTD)分析中 ,给出平面微带结构的 PML吸收边界条件 ,并编制程序 ,进行数值计算。结果表明 ,与传统的 Mur吸收边界条件相比 ,采用 PML吸收边界条件只需采用最简... 本文将理想匹配层 ( PML)吸收边界条件用于平面微带结构的时域有限差分法( FDTD)分析中 ,给出平面微带结构的 PML吸收边界条件 ,并编制程序 ,进行数值计算。结果表明 ,与传统的 Mur吸收边界条件相比 ,采用 PML吸收边界条件只需采用最简单的馈源模型就可明显地减小计算网格空间和加快收敛速度 ,并且可用于分析任意复杂结构的微带电路。本文方法对微带电路及微带天线的 CAD设计将具有实际意义。 展开更多

关键词 时域有限差分法 吸收边界条件 理想匹配层 平面微带结构

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于Voronoi图的复杂曲面加工刀具轨迹规划 被引量：2

18

作者 王军 郭保苏 何志新 《燕山大学学报》 CAS 北大核心 2018年第6期479-485,500,共8页

刀具轨迹规划算法是数控加工的核心技术,是多轴联动机床数控加工的重要基础。本文针对复杂曲面直接偏置法生成环形刀轨时经常出现轮廓局部自交与全局自交问题,将Voronoi图理论应用于平面多连通域环切刀具轨迹规划中。首先,分析了平面多... 刀具轨迹规划算法是数控加工的核心技术,是多轴联动机床数控加工的重要基础。本文针对复杂曲面直接偏置法生成环形刀轨时经常出现轮廓局部自交与全局自交问题,将Voronoi图理论应用于平面多连通域环切刀具轨迹规划中。首先,分析了平面多连通域特点,提出了一种适合于多连通域Voronoi图的分治波阵面传播算法,该算法首先将多连通域看成若干单连通域的组合,采用波阵面传播算法构造各单连通域,即构建外轮廓和孤岛Voronoi图,然后将这些Voronoi图进行缝合,缝合线包括内外轮廓Voronoi图的缝合以及内轮廓相互之间Voronoi图的缝合。之后,基于构建的Voronoi图进行加工区域划分,然后在各小区域即区内保持偏置量一致的条件下依次对各边界轮廓作偏置来生成环形刀具轨迹,为使刀具轨迹满足实际加工的需要,对环间最优切削行距进行了分析和规划。最后,以核电站水室封头零件的外表面粗加工为例,验证了算法的有效性。本研究不仅为具有多连通域特点的复杂零件加工提供刀具轨迹规划算法,同时也为进一步开发数控软件提供技术支持。 展开更多

关键词 VORONOI图 刀具轨迹 平面多连通域

在线阅读 下载PDF 职称材料

无人机声学定位技术综述 被引量：10

19

作者 陈鹏 陈洋 王威 《华南理工大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期109-123,共15页

近年来“低小慢”无人机的过快增长,肆意飞行严重威胁了城市安防和公众安全。如何在复杂低空环境下有效地定位“低小慢”无人机,成为亟待解决的社会问题。由于雷达、光电探测等手段存在盲区、辐射强度弱等问题,导致近距离定位效果不理... 近年来“低小慢”无人机的过快增长,肆意飞行严重威胁了城市安防和公众安全。如何在复杂低空环境下有效地定位“低小慢”无人机,成为亟待解决的社会问题。由于雷达、光电探测等手段存在盲区、辐射强度弱等问题,导致近距离定位效果不理想。声学定位因其传感器成本低,阵列布放形式灵活,近距离定位误差较小,有效地补充了雷达、光电等定位方法的缺陷。文中对无人机声学定位方法进行了综述,分析了无人机噪声的频谱,发现这些噪声信号具有很强的线谱结构,这些线谱具有丰富的谐频成分和很高的信噪比,且抗干扰能力较强。首先结合旋翼噪声的声学特性得出了从时域角度和频域角度定位无人机的可行性;接着介绍了声学定位方法的原理,并给出了算法仿真结果,比较了时域和频域定位方法的均方根误差;然后统计了近年来国内外高校基于声学定位的低空无人机的实现方法,发现基于到达时间差(TDOA)的平面阵列使用最广,定位效果较好;最后对未来低空无人机声学定位进行了展望。 展开更多

关键词 声学定位 低空无人机 时域分析 频域分析 到达时间差 平面阵

在线阅读 下载PDF 职称材料

时域平面近场测量的数值分析方法 被引量：2

20

作者 王加莹 高本庆 +1 位作者 刘瑞祥 杨仕明 《电子科学学刊》 CSCD 2000年第3期478-484,共7页

本文以H面喇叭为例,研究了天线时域近场的运动状态,用谱域法分析了平面近场分布状况,得出采样原则,为平面近场扫描测量提供了理论依据。介绍了时域平面近场测量的近远场变换公式,包括时域和频域两种计算途径。对各自的优点作出了探讨。... 本文以H面喇叭为例,研究了天线时域近场的运动状态,用谱域法分析了平面近场分布状况,得出采样原则,为平面近场扫描测量提供了理论依据。介绍了时域平面近场测量的近远场变换公式,包括时域和频域两种计算途径。对各自的优点作出了探讨。运用近远场变换方法计算了时域远场和频域方向图。 展开更多

关键词 时域平面近场测量 天线 数值分析

在线阅读 下载PDF 职称材料