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Effects of Macroparticle Sizes on Two-phase Mixture Discharge Under DC Voltage 被引量:1
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作者 YAO Wenjun HE Zhenghao +6 位作者 DENG Heming WANG Guoli ZHANG Man MA Jun LI Jin YE Qizheng HU Hui 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第13期I0020-I0020,203,共1页
随着放电等离子体在各个领域应用的不断扩大,两相体放电问题越来越重要,需要解决的基础问题之一即是两相体中放电发生、发展的特点和规律及影响因素。采用21种不同的介质材料研究直流电压下两相体放电的效应,由实验结果可知介质的介... 随着放电等离子体在各个领域应用的不断扩大,两相体放电问题越来越重要,需要解决的基础问题之一即是两相体中放电发生、发展的特点和规律及影响因素。采用21种不同的介质材料研究直流电压下两相体放电的效应,由实验结果可知介质的介电常数对放电路径基本无影响,而介质颗粒的粒径大小对两相体放电路径的选择起决定作用,即粒径效应。此外,对颗粒介电常数、电场畸变、光电离作用和颗粒荷电等几个方面进行研究,可知两相体放电的粒径效应与颗粒粒径大小紧密相关。 展开更多
关键词 两相混合物 粒子大小 直流电压 宏观 放电 高压输电线路 排放法规 外部绝缘
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两相体放电中的粒径效应 被引量:15
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作者 邓鹤鸣 何正浩 +3 位作者 马军 许宇航 张召亮 李劲 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第22期135-142,共8页
两相体放电是指大量液体或固体颗粒物悬浮于气体中,或大量气泡悬浮于液体中的放电现象。为了解两相体放电的影响因素,采用21种不同介质颗粒来产生两相体,在分析测定了两相体中非气相物质的颗粒粒径的基础上,通过实验研究了两相体放电特... 两相体放电是指大量液体或固体颗粒物悬浮于气体中,或大量气泡悬浮于液体中的放电现象。为了解两相体放电的影响因素,采用21种不同介质颗粒来产生两相体,在分析测定了两相体中非气相物质的颗粒粒径的基础上,通过实验研究了两相体放电特性,发现了两相体体系的击穿电压及两相体对放电路径的影响存在颗粒粒径的影响远大于颗粒物材料影响的"粒径效应"。分析表明,两相体放电中的粒径效应是两相体颗粒对电场的畸变和两相体颗粒与粒子(电子、光子和离子)间的作用联合影响的结果。 展开更多
关键词 粒径效应 两相体 放电 路径选择 体积分数 冲击电压
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过滤电弧抑制薄膜中颗粒机理的实验分析 被引量:8
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作者 李成明 孙晓军 +2 位作者 张增毅 唐伟忠 吕反修 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2004年第3期268-271,共4页
讨论利用直线型过滤电弧制备TiAlN薄膜中,过滤磁场作用于弧斑、靶中毒现象,电子和离子的回流和叠加偏压等因素影响作用的大小进行了实验分析.结果表明,磁场对弧斑分裂和弧斑运动速度的综合作用最为显著是由于直线型过滤电弧形成的瓶颈... 讨论利用直线型过滤电弧制备TiAlN薄膜中,过滤磁场作用于弧斑、靶中毒现象,电子和离子的回流和叠加偏压等因素影响作用的大小进行了实验分析.结果表明,磁场对弧斑分裂和弧斑运动速度的综合作用最为显著是由于直线型过滤电弧形成的瓶颈磁场造成的电子和离子的回流,以及直流叠加脉冲偏压形成的放电空间的等离子体磁撞,分解和离化的所起的共同作用的结果.这对于控制电弧离子镀沉积薄膜中的颗粒尺寸和颗粒密度,指定合理的工艺参数有一定的指导作用. 展开更多
关键词 过滤电弧 电弧离子镀 TIALN薄膜 沉积 磁场 工艺参数
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磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的制备及其强化机理研究 被引量:11
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作者 史新伟 李杏瑞 +1 位作者 邱万起 刘正义 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期486-491,共6页
采用电弧离子镀(AIP)和磁过滤电弧离子镀(MFAIP)方法分别在不锈钢和硅片上制备了两种不同的TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)观察了薄膜的表面形貌及组织结构;利用X射线衍射(XRD)及透射电镜(TEM)进行相鉴定;用纳米力学测试系统(NHT)测量了薄... 采用电弧离子镀(AIP)和磁过滤电弧离子镀(MFAIP)方法分别在不锈钢和硅片上制备了两种不同的TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)观察了薄膜的表面形貌及组织结构;利用X射线衍射(XRD)及透射电镜(TEM)进行相鉴定;用纳米力学测试系统(NHT)测量了薄膜的硬度。结果表明:MFAIP TiN薄膜具有强烈的(111)面择优取向,薄膜表面光滑、表面熔滴颗粒(MP)少、薄膜的柱状晶组织细小、致密,薄膜具有较高的硬度。并在此基础上讨论了薄膜的强化机理,认为磁过滤器是制备高质量TiN薄膜及其复合薄膜行之有效的一种方法,是今后制备高性能TiN及其复合膜的发展方向。 展开更多
关键词 TIN薄膜 磁过滤器 熔滴颗粒 复合膜
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电弧离子镀的旋转横向磁场弧源设计 被引量:7
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作者 赵彦辉 郎文昌 +2 位作者 肖金泉 宫骏 孙超 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期387-391,共5页
电弧离子镀工艺中电弧蒸发产生的大颗粒污染严重影响了所沉积涂层的性能。为了从源头上解决大颗粒难题,本文提出了一种新的旋转横向磁场的设计思路,通过频率和强度可调且覆盖整个靶面的旋转横向磁场控制弧斑的运动。通过有限元模拟磁场... 电弧离子镀工艺中电弧蒸发产生的大颗粒污染严重影响了所沉积涂层的性能。为了从源头上解决大颗粒难题,本文提出了一种新的旋转横向磁场的设计思路,通过频率和强度可调且覆盖整个靶面的旋转横向磁场控制弧斑的运动。通过有限元模拟磁场的分布,对旋转横向磁场控制的电弧离子镀弧源进行了优化设计。并根据方案制作了旋转磁场发生装置及其电源,使该弧源的旋转磁场具有多模式可调频调幅的功能,用以改善弧斑的放电形式,提高靶材刻蚀均匀性和靶材利用率,减少靶材大颗粒的发射,用以制备高质量的薄膜以及功能薄膜,以拓展电弧离子镀的应用范围。 展开更多
关键词 电弧离子镀 大颗粒污染 旋转横向磁场 弧源设计
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脉冲偏压占空比和放置状态对大颗粒分布规律的影响 被引量:6
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作者 魏永强 刘建伟 +2 位作者 文振华 蒋志强 田修波 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第4期134-137,共4页
利用电弧离子镀方法在201不锈钢基体上制备了Ti N薄膜,研究了脉冲偏压占空比和基体放置状态对大颗粒形貌和分布规律的影响。采用扫描电镜观察了Ti N薄膜的表面形貌,利用Image J图像软件对Ti大颗粒的数目和尺寸进行了分析。结果表明:在... 利用电弧离子镀方法在201不锈钢基体上制备了Ti N薄膜,研究了脉冲偏压占空比和基体放置状态对大颗粒形貌和分布规律的影响。采用扫描电镜观察了Ti N薄膜的表面形貌,利用Image J图像软件对Ti大颗粒的数目和尺寸进行了分析。结果表明:在工艺参数相同情况下,转动时Ti N薄膜表面的大颗粒数目较多;随脉冲偏压占空比的增大,薄膜表面的大颗粒数目迅速降低,当占空比为40%时,大颗粒所占的面积比达到最小值,分别为静止时的1.9%和转动时的6.8%,为最佳的占空比值。 展开更多
关键词 电弧离子镀 TIN 脉冲偏压 大颗粒 占空比
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电弧离子镀中大颗粒缺陷清除方法的研究现状 被引量:7
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作者 魏永强 侯军兴 +1 位作者 蒋志强 田修波 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2016年第6期28-32,共5页
电弧离子镀所制备薄膜中的大颗粒缺陷是研究热点之一。本文对其清除方法进行了概述,主要包括阻挡过滤、电场抑制、工艺优化和磁场消除等方法,并对其工作原理、发展历程和未来研究的方向进行总结,比较了各种方法存在的优缺点。最终提出... 电弧离子镀所制备薄膜中的大颗粒缺陷是研究热点之一。本文对其清除方法进行了概述,主要包括阻挡过滤、电场抑制、工艺优化和磁场消除等方法,并对其工作原理、发展历程和未来研究的方向进行总结,比较了各种方法存在的优缺点。最终提出了多级磁场直管磁过滤装置和脉冲偏压电场组合的电弧离子镀方法。 展开更多
关键词 电弧离子镀 薄膜 大颗粒 磁过滤
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电弧离子镀中Ti大颗粒空间传输过程中受力变化特征分析 被引量:4
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作者 魏永强 宗晓亚 +1 位作者 蒋志强 田修波 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期27-35,共9页
电弧离子镀所制备薄膜中的大颗粒缺陷是研究热点之一,文中利用尘埃等离子体的理论,以Ti大颗粒为研究对象,对电弧离子镀中大颗粒空间传输过程中的受力进行了分析,主要包括重力、离子拖曳力、热泳力、电场力等4种类型,对其影响规律、作用... 电弧离子镀所制备薄膜中的大颗粒缺陷是研究热点之一,文中利用尘埃等离子体的理论,以Ti大颗粒为研究对象,对电弧离子镀中大颗粒空间传输过程中的受力进行了分析,主要包括重力、离子拖曳力、热泳力、电场力等4种类型,对其影响规律、作用大小以及综合表现进行了总结,为有效避免大颗粒在薄膜表面的沉积概率提出了理论依据。通过对大颗粒传输过程中的空间受力的计算,发现大颗粒受到自身重力、热泳力、电场力和离子拖曳力的综合作用是影响其在薄膜表面数目变化的主要原因。 展开更多
关键词 电弧离子镀 薄膜 大颗粒 受力
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放置方向和沉积时间对Ti大颗粒分布状态的影响 被引量:4
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作者 魏永强 魏永辉 +1 位作者 蒋志强 田修波 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期6-10,41,共6页
目的研究基体表面和靶表面不同放置方向以及沉积时间对Ti大颗粒形貌和分布规律的影响。方法利用电弧离子镀方法在基体上制备TiN薄膜,采用扫描电子显微镜观察TiN薄膜的表面形貌,利用ImageJ图像软件对TiN薄膜表面中Ti大颗粒的数目和尺... 目的研究基体表面和靶表面不同放置方向以及沉积时间对Ti大颗粒形貌和分布规律的影响。方法利用电弧离子镀方法在基体上制备TiN薄膜,采用扫描电子显微镜观察TiN薄膜的表面形貌,利用ImageJ图像软件对TiN薄膜表面中Ti大颗粒的数目和尺寸进行分析。结果靶基间距保持25cm,当基体表面与靶表面垂直放置时。薄膜表面的大颗粒数目和所占面积比比平行放置时要少,同时出现了典型的长条状大颗粒:随着沉积时间从5min增加到50min,大颗粒数目和所占面积比出现先减小后增加的趋势。结论选择基体表面与靶表面垂直放置,沉积时间为30~40min时,薄膜的沉积厚度和减少大颗粒缺陷可以兼顾。 展开更多
关键词 电弧离子镀 TIN 大颗粒 放置方向 沉积时间
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过滤真空弧等离子体沉积成膜系统的磁过滤管道传输特性的实验 被引量:6
10
作者 王广甫 张荟星 张孝吉 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期361-365,共5页
介绍了采用90°螺旋管的过滤真空弧等离子体沉积成膜系统,对磁过滤管道的传输特性进行了实验研究.实验观察到,弧源聚焦磁场和过滤管道正偏压越高,过滤管道的传输效率越高.但聚焦磁场高过一定阈值时,会出现起弧不稳现象,此阈... 介绍了采用90°螺旋管的过滤真空弧等离子体沉积成膜系统,对磁过滤管道的传输特性进行了实验研究.实验观察到,弧源聚焦磁场和过滤管道正偏压越高,过滤管道的传输效率越高.但聚焦磁场高过一定阈值时,会出现起弧不稳现象,此阈值的大小同过滤管道磁场及偏压的大小有关.过滤管道正偏压在40~60V范围内,管道磁场在7~11mT时传输效率较高,偏压越高达到最佳传输效率所需的过滤管道磁场越高. 展开更多
关键词 真空弧 等离子体沉积 磁过滤管道 传输特性 薄膜
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无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器研究 被引量:1
11
作者 李刘合 夏立芳 +3 位作者 马欣新 孙跃 李光 于伟东 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第3期207-212,共6页
介绍了一种新型无辅助阳极式磁过滤器的基本结构 ,测量了在弯曲弧磁过滤器出口处的离子分布规律。SEM分析表明 ,无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器消除了等离子体中的宏观粒子团。采用无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器在玻璃基体上镀铜可以使表面... 介绍了一种新型无辅助阳极式磁过滤器的基本结构 ,测量了在弯曲弧磁过滤器出口处的离子分布规律。SEM分析表明 ,无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器消除了等离子体中的宏观粒子团。采用无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器在玻璃基体上镀铜可以使表面粗糙度Ra 从 0 44 μm降低到 0 0 0 3μm。 展开更多
关键词 真空阴极弧 离子镀 磁过滤器 宏观粒子团 薄膜
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过滤管道作为第二阳极的磁过滤阴极真空弧沉积系统
12
作者 王广甫 张荟星 张孝吉 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期775-778,共4页
建立了一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积装置 .通过在 90°磁过滤管道和阴极之间加一30~ 60V的正偏压使系统沉积速率得到了大幅度提高 .研究和观察表明 ,此时在过滤管道和阴极之间产生了阴极真空弧放电 ,并因此使阴极消耗率大幅度增... 建立了一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积装置 .通过在 90°磁过滤管道和阴极之间加一30~ 60V的正偏压使系统沉积速率得到了大幅度提高 .研究和观察表明 ,此时在过滤管道和阴极之间产生了阴极真空弧放电 ,并因此使阴极消耗率大幅度增大 .对此放电回路及其和MEVVA阳极 展开更多
关键词 阴极真空弧 等离子体沉积 磁过滤管道 第二阳极
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基于二维窄带宏粒子模型的带状电子注传输研究
13
作者 张小锋 阮存军 +3 位作者 罗积润 韩莹 赵鼎 阮望 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第1期151-155,共5页
带状电子注具有非轴对称性和大宽高比的特性,非常适合应用于高功率微波与毫米波真空电子器件电子注形成。该文针对带状电子注的这种特性,建立了2维窄带宏粒子模型,编写了静电磁约束下带状电子注传输过程的分析计算程序,讨论了无外加高... 带状电子注具有非轴对称性和大宽高比的特性,非常适合应用于高功率微波与毫米波真空电子器件电子注形成。该文针对带状电子注的这种特性,建立了2维窄带宏粒子模型,编写了静电磁约束下带状电子注传输过程的分析计算程序,讨论了无外加高频场时带状电子注在均匀磁场和周期会切磁场聚焦情况下的传输过程,数值计算结果与单粒子模型及3维PIC软件模拟结果进行了比较,结果表明,该文编写程序的计算结果与3维PIC软件的有很好的一致性,且计算速率有大幅度提升。 展开更多
关键词 带状电子注 电子注传输 窄带宏粒子 周期会切磁场
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带状电子注空间电荷场的格林函数法求解
14
作者 张小锋 阮存军 +3 位作者 韩莹 罗积润 赵鼎 阮望 《微波学报》 CSCD 北大核心 2010年第S1期467-470,共4页
带状电子注具有非轴对称性和大宽高比的特性,为了研究其空间电荷效应,本文建立了相应的二维宏粒子物理模型,并通过格林函数法求解带状电子注内的空间电荷力。在该模型中,带状电子注用一系列窄带代替,每个窄带受到的空间电荷力通过叠加... 带状电子注具有非轴对称性和大宽高比的特性,为了研究其空间电荷效应,本文建立了相应的二维宏粒子物理模型,并通过格林函数法求解带状电子注内的空间电荷力。在该模型中,带状电子注用一系列窄带代替,每个窄带受到的空间电荷力通过叠加其它窄带作用于该窄带的电场力得到。本文对该窄带模型进行了详细的分析,计算了电子注内的空间电荷力,编写了基于该模型的数值模拟程序,模拟了带状电子注在不同静电磁约束下的运动及传输情况,计算结果与三维PIC软件有很好的一致性,验证了基于该二维宏粒子模型的格林函数法求解带状电子注空间电荷场的合理性和准确性。 展开更多
关键词 带状电子注 空间电荷场 窄带宏粒子
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离子镀中弯管磁过滤器的效率和颗粒去除效果的研究 被引量:1
15
作者 杨木 于振华 +3 位作者 张俊 董中林 张心凤 干蜀毅 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第12期1217-1223,共7页
真空多弧离子镀沉积四面体非晶碳薄膜(ta-C)过程中,利用90°磁过滤器弯管去除大颗粒。本文探究了磁场强度、弯管偏压、弧电流和挡板孔径对弯管中离子传输效率(离子流)的影响,同时研究了薄膜表面颗粒去除情况。实验结果表明,弯管中... 真空多弧离子镀沉积四面体非晶碳薄膜(ta-C)过程中,利用90°磁过滤器弯管去除大颗粒。本文探究了磁场强度、弯管偏压、弧电流和挡板孔径对弯管中离子传输效率(离子流)的影响,同时研究了薄膜表面颗粒去除情况。实验结果表明,弯管中离子流随磁场强度增强而增大,但增大磁场强度会导致颗粒数量增多;在中低磁场强度下,弯管偏压约为+15 V时可获得较高的离子传输效率,相比于不施加偏压提高了近70%;减小挡板孔径可使沉积速率降低,但可以显著改善大颗粒过滤效果;改变弧电流对弧源离子产生率和过滤器传输效率几乎没有影响,减小弧电流能够降低大颗粒的发射数量。本文研究内容为工业应用中采用磁过滤弯管减少薄膜大颗粒提供参考。 展开更多
关键词 多弧离子镀 ta-C膜 大颗粒 磁过滤器
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Phenomena and Mechanism of Positive Pulsed Discharge Branching in Two-phase Mixtures
16
作者 DENG Heming ZHANG Guangzhou +3 位作者 XU Yuhang HE Zhenghao ZHU Hongzhao LIANG Wei 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期2152-2158,共7页
Discharge branching is a general phenomenon in atmospheric-pressure air,dense gases,and two-phase mixtures(TPMs).In this work,an ultraviolet imaging device is utilized to investigate the branching of positive pulsed d... Discharge branching is a general phenomenon in atmospheric-pressure air,dense gases,and two-phase mixtures(TPMs).In this work,an ultraviolet imaging device is utilized to investigate the branching of positive pulsed discharges in TPMs.Comparison among the captured images indicates that the branching is caused by the voltages and the macropartilces in the discharge channels combining together.The interaction of macroparticles with ions,electrons or photons is one reason for the branching behavior of pulsed discharges.The generation of electrons at the discharge front closely relates to the work function of dielectric macroparticles,which is a key parameter influencing the electron-emission ability of macroparticle surfaces.The electric field alteration under various applied voltage in TPMs,which is calculated by a two-dimension finite element method,is the other reason for the guiding effect of macroparticles on the streamers compared with in the air. 展开更多
关键词 两相混合物 放电现象 脉冲放电 电子发射能力 机制 TPM 大颗粒 大气压力
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