检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

LIGA工艺中微电铸工艺研究被引量：5: 1; 作者马龙周月豪 +2 位作者熊良才柳海鹏史铁林《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期47-49,共3页; 为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微孔结构,并以此和光刻成型的微结构作为模具,进行了微电铸试验,通过对电镀参数方法进行调整和优化,改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重... 展开更多; 关键词微电铸 liga 准分子激光 PMMA; 在线阅读下载PDF 职称材料

多层UV-LIGA电铸镍材料的抗冲击性能被引量：4: 2; 作者周织建聂伟荣 +1 位作者席占稳王晓锋《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期1044-1052,共9页; 为研究采用UV-LIGA（Ultraviolet Lithography,Galvanoformung,Abformung）技术制作的多层电铸镍的机械可靠性,对其进行了抗冲击性能分析。利用冲击试验台及信号采集系统测试了UV-LIGA多层电铸镍的抗冲击性能。实验分析得到其累积失效概... 展开更多; 关键词 UV-liga 多层电铸镍抗冲击性能微机电系统(MEMS); 在线阅读下载PDF 职称材料

UV-LIGA与微细电火花加工组合制造微细电解阵列电极被引量：2: 3; 作者胡洋洋朱荻 +2 位作者李寒松曾永彬明平美《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期106-110,共5页; 采用UV-LIGA与微细电火花加工组合技术制造大长径比微细阵列电极.先通过UV-LI-GA技术制作微细群孔工具电极,然后通过电火花套料加工制作大长径比微细阵列电极.选取优化的工艺参数:前烘110℃保持12h;三步后烘50℃保持5min、70℃保持10min... 展开更多; 关键词 UV-liga 微细电火花加工微细电解加工组合加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

太赫兹真空器件中超深金属慢波结构的微加工技术: 4; 作者姜琪李兴辉 +2 位作者冯进军蔡军潘攀《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期759-767,共9页; 太赫兹真空电子器件物理结构尺寸变化随着波长的减小而减小,对微小结构的尺寸精度与表面粗糙度要求也大大增加。随着器件频率进入到太赫兹频段,慢波结构的深度达到几十微米或者百微米量级,加工的难点主要有:材料为金属,结构超深,表面粗... 展开更多; 关键词太赫兹真空电子器件微机电系统深反应离子刻蚀紫外−光刻、电铸慢波结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

国外高深宽比微细结构制造技术的发展被引量：13: 5; 作者徐惠宇朱荻《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第12期4-6,13,共4页; 介绍了国外近年来高深宽比微细结构制造技术的最新发展,其中包括LIGA、准LIGA、深层反应离子刻蚀等主要高深宽比微细结构技术的具体研究现状和研究进展,还介绍了电化学沉积加工、质子束光刻、准LIGA与Si等离子刻蚀复合加工、局部电化学... 展开更多; 关键词高深宽比微细结构光刻电铸和模铸准liga 深层反应离子刻蚀; 在线阅读下载PDF 职称材料

采用紫外光刻电铸技术的微型腔注塑成型被引量：1: 6; 作者徐斌王敏杰 +1 位作者于同敏赵丹阳《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期169-172,共4页; 针对复杂微型腔制作的难点,基于紫外光刻电铸(UV-LIGA)技术和掩膜腐蚀的方法加工了细胞皿微型腔。以聚丙烯(PP)进行单因素充模流动工艺试验,通过极差分析,研究了注射速率、模具温度、熔体温度、保压压力和保压时间对微制品成型质量的影... 展开更多; 关键词微注塑成型细胞皿紫外光刻电铸成型工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名LIGA工艺中微电铸工艺研究被引量：5: 1; 作者马龙周月豪熊良才柳海鹏史铁林; 机构华中科技大学机械科学与工程学院; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期47-49,共3页; 基金国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA421190); 文摘为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微孔结构,并以此和光刻成型的微结构作为模具,进行了微电铸试验,通过对电镀参数方法进行调整和优化,改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重、结晶粒子不能得到及时补充等缺点,得到了线宽为10μm级的微型结构。为进一步的微结构加工奠定了基础。; 关键词微电铸 liga 准分子激光 PMMA; Keywords microelectroform lithographie galvanoformung abformung （liga） excimer laser PMMA; 分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多层UV-LIGA电铸镍材料的抗冲击性能被引量：4: 2; 作者周织建聂伟荣席占稳王晓锋; 机构南京理工大学机械工程学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期1044-1052,共9页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.51475245); 文摘为研究采用UV-LIGA（Ultraviolet Lithography,Galvanoformung,Abformung）技术制作的多层电铸镍的机械可靠性,对其进行了抗冲击性能分析。利用冲击试验台及信号采集系统测试了UV-LIGA多层电铸镍的抗冲击性能。实验分析得到其累积失效概率-加速度峰值曲线近似拟合于韦布尔统计分布,韦布尔系数γ=7.6,参考加速度为21 300g。当加速度为12 000~18 000g时,可靠性相对较高;当加速度为12 000~18 000 g时,累计失效概率增加较快;当加速度大于24 000g时,可靠性下降迅速。利用扫描电子显微镜（SEM）观察了试样,得到其主要的失效形式有分层、断裂、塑性变形以及黏连等。初步分析了失效原因,并提出了相应的优化设计方法,为UV-LIGA多层结构的设计提供实验依据。; 关键词 UV-liga 多层电铸镍抗冲击性能微机电系统(MEMS); Keywords Ultraviolet Lithography galvanoformung abformung （UV-liga） multi-layered electroformed nickel anti-impact property Micro-mechanic-electronic System（MEMS）; 分类号 TH140.1 [一般工业技术—材料科学与工程] TQ153.4 [化学工程—电化学工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名UV-LIGA与微细电火花加工组合制造微细电解阵列电极被引量：2: 3; 作者胡洋洋朱荻李寒松曾永彬明平美; 机构南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室; 出处《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期106-110,共5页; 基金国家自然科学基金重点资助项目(50635040) 国家自然科学基金资助项目(50805077) +1 种基金国家高技术研究发展计划(863计划)重点资助项目(2009AA044205); 文摘采用UV-LIGA与微细电火花加工组合技术制造大长径比微细阵列电极.先通过UV-LI-GA技术制作微细群孔工具电极,然后通过电火花套料加工制作大长径比微细阵列电极.选取优化的工艺参数:前烘110℃保持12h;三步后烘50℃保持5min、70℃保持10min、90℃保持30min;采用谐振式电火花电源,电压200V、峰值电流1.5A、脉宽3.2μs、脉间6.4μs、放电间隙12μm等,制备了直径85μm、长1.5mm,长径比达17.65的微细阵列电极.最后用制作出的微细阵列电极作为工具电极进行微细电解加工实验,在120μm厚不锈钢板上电解加工出直径150μm、形状均匀的微细阵列群孔结构.实验证明:UV-LIGA与微细电加工组合制造技术是一种可行的制作高深宽比微结构的方法;利用微细阵列电极进行电解加工,能实现高效和高精度加工.; 关键词 UV-liga 微细电火花加工微细电解加工组合加工; Keywords ultraviolet lithographie galvanoformung and abformung micro electro-discharge machi-ning micro-electrodemical machining combination machining; 分类号 TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名太赫兹真空器件中超深金属慢波结构的微加工技术: 4; 作者姜琪李兴辉冯进军蔡军潘攀; 机构北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家级重点实验室; 出处《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期759-767,共9页; 基金大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室基金项目(10249)。; 文摘太赫兹真空电子器件物理结构尺寸变化随着波长的减小而减小,对微小结构的尺寸精度与表面粗糙度要求也大大增加。随着器件频率进入到太赫兹频段,慢波结构的深度达到几十微米或者百微米量级,加工的难点主要有:材料为金属,结构超深,表面粗糙度要求达到几十纳米量级,微电铸后金属含氧量极小,结构密度大不漏气,经得起后续近千摄氏度的高温处理工艺等。文章介绍了太赫兹频段下器件慢波结构的加工方式,着重讨论利用深反应离子刻蚀(DRIE)技术和紫外−光刻、电铸(UV-LIGA)技术加工超深金属慢波结构的技术和和特点,并介绍了本实验室利用UV-LIGA加工折叠波导的研究进展。; 关键词太赫兹真空电子器件微机电系统深反应离子刻蚀紫外−光刻、电铸慢波结构; Keywords Terahertz vacuum electronics devices Micro-electro-mechanical system Deep reactive ion etching Ultraviolet-lithographie galvanoformung abformung Slow wave structure; 分类号 TN105 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名国外高深宽比微细结构制造技术的发展被引量：13: 5; 作者徐惠宇朱荻; 机构南京航空航天大学机电工程学院; 出处《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第12期4-6,13,共4页; 文摘介绍了国外近年来高深宽比微细结构制造技术的最新发展,其中包括LIGA、准LIGA、深层反应离子刻蚀等主要高深宽比微细结构技术的具体研究现状和研究进展,还介绍了电化学沉积加工、质子束光刻、准LIGA与Si等离子刻蚀复合加工、局部电化学沉积、立体光固化微加工、微细电解加工等一些新发展的高深宽比微细结构技术。; 关键词高深宽比微细结构光刻电铸和模铸准liga 深层反应离子刻蚀; Keywords HAR(high aspect ratio) MST(microstuctures) liga(lithographie galvanoformung abformung) liga-LIKE DRIE(deep reactive ion etching); 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名采用紫外光刻电铸技术的微型腔注塑成型被引量：1: 6; 作者徐斌王敏杰于同敏赵丹阳; 机构西南科技大学制造过程测试技术教育部重点实验室大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室; 出处《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期169-172,共4页; 基金 "十一五"国家科技支撑计划重点项目(2006BAF04B13) 校博士基金(10zx7143) 教育部制造过程测试技术重点实验室开放基金(12zxzk07)资助; 文摘针对复杂微型腔制作的难点,基于紫外光刻电铸(UV-LIGA)技术和掩膜腐蚀的方法加工了细胞皿微型腔。以聚丙烯(PP)进行单因素充模流动工艺试验,通过极差分析,研究了注射速率、模具温度、熔体温度、保压压力和保压时间对微制品成型质量的影响规律。注射速率对提高充填率起主要作用,模具温度和熔体温度是次要因素,而保压压力和保压时间相对其它因素对充填质量影响较差,但必须保持在一个较高的水平。在获取优化工艺参数后,获得合格的制品。因此基于UV-LIGA技术和掩膜腐蚀的方法制作复杂结构微型腔对于微注塑成型是可行的。; 关键词微注塑成型细胞皿紫外光刻电铸成型工艺; Keywords micro injection molding cell container ultraviolet lithography galvanoformung and abformung moldingprocess; 分类号 TQ320.66 [化学工程—合成树脂塑料工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	LIGA工艺中微电铸工艺研究	马龙周月豪熊良才柳海鹏史铁林	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	2006	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	多层UV-LIGA电铸镍材料的抗冲击性能	周织建聂伟荣席占稳王晓锋	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	UV-LIGA与微细电火花加工组合制造微细电解阵列电极	胡洋洋朱荻李寒松曾永彬明平美	《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	太赫兹真空器件中超深金属慢波结构的微加工技术	姜琪李兴辉冯进军蔡军潘攀	《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	国外高深宽比微细结构制造技术的发展	徐惠宇朱荻	《传感器技术》 CSCD 北大核心	2004	13	在线阅读下载PDF 职称材料
6	采用紫外光刻电铸技术的微型腔注塑成型	徐斌王敏杰于同敏赵丹阳	《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	1	在线阅读下载PDF 职称材料