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软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统
被引量:
2
1
作者
陈家华
龚学鹏
+4 位作者
薛松
卢启鹏
彭忠琦
宋源
王依
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第11期2810-2816,共7页
研制了光发射电子显微镜(PEEM)高精度微聚焦系统,以实现上海光源软X射线PEEM光束线的高质量聚焦。根据上海光源PEEM光束线的概况,给出微聚焦系统光学元件的基本参数。基于Kirkpatrick-Baez(KB镜)两镜方案,设计了PEEM线微聚焦系统。介绍...
研制了光发射电子显微镜(PEEM)高精度微聚焦系统,以实现上海光源软X射线PEEM光束线的高质量聚焦。根据上海光源PEEM光束线的概况,给出微聚焦系统光学元件的基本参数。基于Kirkpatrick-Baez(KB镜)两镜方案,设计了PEEM线微聚焦系统。介绍了KB镜姿态调整机构的设计方案,即利用三垂直线性驱动装置和两水平线性驱动装置相结合来实现五维调节,分析了姿态调节机构的原理与工作过程,给出了微聚焦系统的整体设计方案。测试了KB镜系统的机械性能,给出水平调节机构以及第一面镜子Pitch运动的测试结果,结果显示:水平调节机构分辨率为0.6μm,重复精度为0.85μm,Pitch角度分辨率为0.4″,重复精度为0.5″,优于指标要求。其它参数的测试结果亦均优于指标要求。实验表明,微聚焦系统机械指标的实现保证了PEEM线光斑的高质量聚焦。
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关键词
同步辐射
光发射电子显微镜(PEEM)
X射线显微镜
kb
镜
结构设计
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职称材料
KB镜束流截面测量系统研制
被引量:
2
2
作者
祝德充
岳军会
+6 位作者
随艳峰
季大恒
曹建社
叶恺容
陈杰
田顺强
冷用斌
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第4期136-140,共5页
为了对衍射极限储存环的束流横向截面尺寸及发射度进行测量,设计了一套Kirkpatrick-Baez(KB)反射镜聚焦成像系统,并在上海光源(SSRF)储存环进行预制研究。该系统主体由两面垂直放置的KB反射镜组成,分别在水平及垂直方向对弯转磁铁光源...
为了对衍射极限储存环的束流横向截面尺寸及发射度进行测量,设计了一套Kirkpatrick-Baez(KB)反射镜聚焦成像系统,并在上海光源(SSRF)储存环进行预制研究。该系统主体由两面垂直放置的KB反射镜组成,分别在水平及垂直方向对弯转磁铁光源点进行成像,系统工作在硬X射线波段,聚焦光斑被闪烁体X射线相机采集。对影响系统成像质量的像差和点扩散函数进行了计算。目前,实现了对束流的实时成像,可精确测量束流横向截面尺寸为75.9μm(水平方向)和20.2μm(垂直方向),系统稳定性(RMS)小于0.1μm。
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关键词
kb
镜
束流尺寸测量
束流诊断
发射度
同步辐射
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职称材料
KB镜成像模拟以及与菲涅耳波带板成像的比较
被引量:
2
3
作者
王晶宇
陈鑫功
王晓方
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期2158-2162,共5页
采用坐标变换方法自编光线追迹程序模拟了Kirkpatrick-Baez镜在X射线波段的掠入射成像,获得了视场、分辨率等结果.比较了给定参量条件下Kirkpatrick-Baez镜与菲涅耳波带板两种高分辨X射线成像的特性,给出两者各自适用范围.Kirkpatrick-B...
采用坐标变换方法自编光线追迹程序模拟了Kirkpatrick-Baez镜在X射线波段的掠入射成像,获得了视场、分辨率等结果.比较了给定参量条件下Kirkpatrick-Baez镜与菲涅耳波带板两种高分辨X射线成像的特性,给出两者各自适用范围.Kirkpatrick-Baez镜成像有比较高的系统效率,在视场中心的空间分辨能力可达0.71μm,但偏离视场中心±200μm,空间分辨能力显著下降至6μm,适用于较小视场的成像.菲涅耳波带板成像不仅在视场中心可以实现0.39μm的空间分辨能力,偏离视场中心达±13 mm,空间分辨能力也几乎不变,可实现大视场高分辨成像.
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关键词
X射线成像
Kirkpatrick-Baez镜
菲涅耳波带板
空间分辨率
视场
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职称材料
基于Denauit-Hartenbery的高分辨Kirkpatrick-Baez镜成像结构设计与控制方法研究
4
作者
王洪建
肖沙里
+1 位作者
林睿
蒋昀赟
《南京信息工程大学学报(自然科学版)》
CAS
2020年第3期341-346,共6页
针对在高能等离子体X射线诊断中的Kirkpatrick-Baez(KB)高分辨显微控制较困难的问题,基于Denauit-Hartenbery(DH)原理,率先提出了双5自由度KB镜成像结构,分析了双机械手的各个连杆坐标系和位姿结构的运动学方程,从理论上分析双5自由度K...
针对在高能等离子体X射线诊断中的Kirkpatrick-Baez(KB)高分辨显微控制较困难的问题,基于Denauit-Hartenbery(DH)原理,率先提出了双5自由度KB镜成像结构,分析了双机械手的各个连杆坐标系和位姿结构的运动学方程,从理论上分析双5自由度KB镜的像差.在此基础上搭建双5自由度KB镜光路系统,编制了KB镜控制流程,并获取了清晰的十字成像.实验结果表明,该方法设计的双5自由度机械手控制方法可以实现KB镜的精确控制,从而得到高精度分辨成像效果.
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关键词
高分辨
kb
镜
机器手
运动学
像散
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职称材料
题名
软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统
被引量:
2
1
作者
陈家华
龚学鹏
薛松
卢启鹏
彭忠琦
宋源
王依
机构
中国科学院上海应用物理研究所
中国科学院大学
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第11期2810-2816,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.61404139)
应用光学国家重点实验室自主基金资助项目(No.Y5743FQ158)
吉林省重点科技成果转化项目(No.20150307039GX)
文摘
研制了光发射电子显微镜(PEEM)高精度微聚焦系统,以实现上海光源软X射线PEEM光束线的高质量聚焦。根据上海光源PEEM光束线的概况,给出微聚焦系统光学元件的基本参数。基于Kirkpatrick-Baez(KB镜)两镜方案,设计了PEEM线微聚焦系统。介绍了KB镜姿态调整机构的设计方案,即利用三垂直线性驱动装置和两水平线性驱动装置相结合来实现五维调节,分析了姿态调节机构的原理与工作过程,给出了微聚焦系统的整体设计方案。测试了KB镜系统的机械性能,给出水平调节机构以及第一面镜子Pitch运动的测试结果,结果显示:水平调节机构分辨率为0.6μm,重复精度为0.85μm,Pitch角度分辨率为0.4″,重复精度为0.5″,优于指标要求。其它参数的测试结果亦均优于指标要求。实验表明,微聚焦系统机械指标的实现保证了PEEM线光斑的高质量聚焦。
关键词
同步辐射
光发射电子显微镜(PEEM)
X射线显微镜
kb
镜
结构设计
Keywords
synchrotron radiation
Photo emission Electron Microscope(PEEM)
X ray microscopy
kb mirror
structure design
分类号
TH742.9 [机械工程—光学工程]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
KB镜束流截面测量系统研制
被引量:
2
2
作者
祝德充
岳军会
随艳峰
季大恒
曹建社
叶恺容
陈杰
田顺强
冷用斌
机构
中国科学院高能物理研究所
中国科学院大学
中国科学院上海应用物理研究所
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第4期136-140,共5页
基金
国家自然科学基金项目(11605213)
文摘
为了对衍射极限储存环的束流横向截面尺寸及发射度进行测量,设计了一套Kirkpatrick-Baez(KB)反射镜聚焦成像系统,并在上海光源(SSRF)储存环进行预制研究。该系统主体由两面垂直放置的KB反射镜组成,分别在水平及垂直方向对弯转磁铁光源点进行成像,系统工作在硬X射线波段,聚焦光斑被闪烁体X射线相机采集。对影响系统成像质量的像差和点扩散函数进行了计算。目前,实现了对束流的实时成像,可精确测量束流横向截面尺寸为75.9μm(水平方向)和20.2μm(垂直方向),系统稳定性(RMS)小于0.1μm。
关键词
kb
镜
束流尺寸测量
束流诊断
发射度
同步辐射
Keywords
kb mirror
beam size measurement
beam diagnostic
emittance
synchrotron radiation
分类号
TL594 [核科学技术—核技术及应用]
TL506 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
KB镜成像模拟以及与菲涅耳波带板成像的比较
被引量:
2
3
作者
王晶宇
陈鑫功
王晓方
机构
中国科学技术大学近代物理系中国科学院基础等离子体物理重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期2158-2162,共5页
基金
国家高技术研究发展计划(2008AA8041206)
中国科学院知识创新工程(KJCX2-YW-N28
KJCX2-YW-N36)资助
文摘
采用坐标变换方法自编光线追迹程序模拟了Kirkpatrick-Baez镜在X射线波段的掠入射成像,获得了视场、分辨率等结果.比较了给定参量条件下Kirkpatrick-Baez镜与菲涅耳波带板两种高分辨X射线成像的特性,给出两者各自适用范围.Kirkpatrick-Baez镜成像有比较高的系统效率,在视场中心的空间分辨能力可达0.71μm,但偏离视场中心±200μm,空间分辨能力显著下降至6μm,适用于较小视场的成像.菲涅耳波带板成像不仅在视场中心可以实现0.39μm的空间分辨能力,偏离视场中心达±13 mm,空间分辨能力也几乎不变,可实现大视场高分辨成像.
关键词
X射线成像
Kirkpatrick-Baez镜
菲涅耳波带板
空间分辨率
视场
Keywords
X-ray imaging
Kirkpatrick-Baez(
kb
)
mirror
Fresnel Zone Plate(FZP)
Spatial resolution
Field of view
分类号
O434.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于Denauit-Hartenbery的高分辨Kirkpatrick-Baez镜成像结构设计与控制方法研究
4
作者
王洪建
肖沙里
林睿
蒋昀赟
机构
重庆工商大学制造装备机构设计与控制重庆市重点实验室
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
重庆工商大学计算科学与信息工程学院
出处
《南京信息工程大学学报(自然科学版)》
CAS
2020年第3期341-346,共6页
基金
国家重点研发计划(2018YFB1306602)
重庆市技术创新与应用发展专项(cstc2019jscx⁃msxmX0032)
+1 种基金
重庆市中小学创新人才培养工程项目计划(CY190802)
重庆工商大学科研平台项目(KFJJ2016031,KFJJ2017052,KFJJ2017053)。
文摘
针对在高能等离子体X射线诊断中的Kirkpatrick-Baez(KB)高分辨显微控制较困难的问题,基于Denauit-Hartenbery(DH)原理,率先提出了双5自由度KB镜成像结构,分析了双机械手的各个连杆坐标系和位姿结构的运动学方程,从理论上分析双5自由度KB镜的像差.在此基础上搭建双5自由度KB镜光路系统,编制了KB镜控制流程,并获取了清晰的十字成像.实验结果表明,该方法设计的双5自由度机械手控制方法可以实现KB镜的精确控制,从而得到高精度分辨成像效果.
关键词
高分辨
kb
镜
机器手
运动学
像散
Keywords
high resolution
kb mirror
robotic hand
kinematics
astigmatism
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统
陈家华
龚学鹏
薛松
卢启鹏
彭忠琦
宋源
王依
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
2
在线阅读
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职称材料
2
KB镜束流截面测量系统研制
祝德充
岳军会
随艳峰
季大恒
曹建社
叶恺容
陈杰
田顺强
冷用斌
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
KB镜成像模拟以及与菲涅耳波带板成像的比较
王晶宇
陈鑫功
王晓方
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
2
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职称材料
4
基于Denauit-Hartenbery的高分辨Kirkpatrick-Baez镜成像结构设计与控制方法研究
王洪建
肖沙里
林睿
蒋昀赟
《南京信息工程大学学报(自然科学版)》
CAS
2020
0
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职称材料
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