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一种微型FAIMS传感器芯片的研制
被引量：
10
1
作者
李华
王晓浩
+4 位作者
唐飞
张亮
杨吉
吝涛
丁力
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期1355-1363,共9页
基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子...
基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子化区中聚焦电极的电场作用,实现离子在进入迁移区之前的聚焦,提高离子信号的强度.通过在上下玻璃上溅射Au/Cr(300nm/30nm)金属,并与厚度为200μm、采用感应耦合等离子体(ICP)工艺刻蚀的硅片键合,形成迁移区的矩形通道,尺寸为10mm×5mm×0.2mm.离子检测区为三排直径200μm、间距100μm交错排列的圆柱阵列式微法拉第筒,能同时检测正负离子.采用频率为2MHz,最大电压为364V,占空比为30%的高场非对称方波电压进行FAIMS芯片实验.以丙酮和甲苯为实验样品,载气流速80L·h-1,补偿电压从-10V到3V以0.1V的步长进行扫描,得到了丙酮和甲苯的FAIMS谱图,验证了FAIMS芯片的性能.丙酮和甲苯的FAIMS-MS实验进一步表明FAIMS系统实现了离子分离和过滤功能.
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关键词
高场非对称波形离子迁移谱
微机电系统
高场非对称方波
微法拉第杯
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职称材料
题名
一种微型FAIMS传感器芯片的研制
被引量：
10
1
作者
李华
王晓浩
唐飞
张亮
杨吉
吝涛
丁力
机构
清华大学精密仪器与机械学系
中北大学电子与计算机科学技术学院
岛津分析技术研发(上海)有限公司
出处
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期1355-1363,共9页
基金
国家自然科学基金(60706030)
国家自然科学基金仪器专项(20827007)
国家高技术研究发展计划(863)项目(2007AA04Z337)资助~~
文摘
基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子化区中聚焦电极的电场作用,实现离子在进入迁移区之前的聚焦,提高离子信号的强度.通过在上下玻璃上溅射Au/Cr(300nm/30nm)金属,并与厚度为200μm、采用感应耦合等离子体(ICP)工艺刻蚀的硅片键合,形成迁移区的矩形通道,尺寸为10mm×5mm×0.2mm.离子检测区为三排直径200μm、间距100μm交错排列的圆柱阵列式微法拉第筒,能同时检测正负离子.采用频率为2MHz,最大电压为364V,占空比为30%的高场非对称方波电压进行FAIMS芯片实验.以丙酮和甲苯为实验样品,载气流速80L·h-1,补偿电压从-10V到3V以0.1V的步长进行扫描,得到了丙酮和甲苯的FAIMS谱图,验证了FAIMS芯片的性能.丙酮和甲苯的FAIMS-MS实验进一步表明FAIMS系统实现了离子分离和过滤功能.
关键词
高场非对称波形离子迁移谱
微机电系统
高场非对称方波
微法拉第杯
Keywords
High-field
asymmetric
waveform
ion mobility spectrometry
Micro-electro-mechanical-system
high-filed asymmetric rectangular waveform
Micro faraday cup
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种微型FAIMS传感器芯片的研制
李华
王晓浩
唐飞
张亮
杨吉
吝涛
丁力
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2010
10
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