基于衬底台阶调控技术的高质量GaN生长

1

作者 高楠 房玉龙 +4 位作者 王波 张志荣 尹甲运 韩颖 刘超 《半导体技术》 北大核心 2025年第5期481-487,共7页

GaN晶体质量提升对材料及器件性能优化至关重要。通过金属有机物化学气相沉积(MOCVD)在SiC衬底上对GaN晶体质量进行了实验研究。对比了高温H2刻蚀与高温HCl刻蚀对衬底台阶的影响,并对后续生长的AlN和GaN晶体质量进行了表征,发现增加衬... GaN晶体质量提升对材料及器件性能优化至关重要。通过金属有机物化学气相沉积(MOCVD)在SiC衬底上对GaN晶体质量进行了实验研究。对比了高温H2刻蚀与高温HCl刻蚀对衬底台阶的影响,并对后续生长的AlN和GaN晶体质量进行了表征,发现增加衬底台阶宽度有助于降低半高宽(FWHM)。采用不同表面预处理条件进行材料生长,发现氨气/三甲基铝(NH_(3)/TMAl)交替预处理对台阶有修饰作用,有助于降低GaN(002)晶面X射线衍射(XRD)峰FWHM,对(102)晶面XRD峰FWHM影响较小。最后讨论了AlN生长温度对GaN晶体质量的影响,发现AlN和GaN晶体质量均随温度升高而提高。综合各条件生长得到的GaN(002)晶面XRD峰FWHM为58.5 arcsec的GaN外延层,该FWHM为目前已知最低值,该样品GaN(102)晶面XRD峰FWHM为104.9 arcsec。 展开更多

关键词 金属有机物化学气相沉积(MOCVD) GAN 衬底台阶 高温刻蚀 半高宽(fwhm)

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红外无损检测缺陷尺寸自动测量

2

作者 洪颖 王金陵 +2 位作者 陈飞 张凯 江海军 《红外技术》 北大核心 2025年第8期1035-1041,共7页

缺陷尺寸测量一直是红外无损检测研究的热点,通常使用含所有缺陷的图像进行缺陷尺寸测量,但该方法将导致较大的测量误差;本文提出采用该缺陷对应的清晰图像进行测量,首先采用相关函数法把不同深度缺陷对应的清晰图像筛选出来,再利用半... 缺陷尺寸测量一直是红外无损检测研究的热点,通常使用含所有缺陷的图像进行缺陷尺寸测量,但该方法将导致较大的测量误差;本文提出采用该缺陷对应的清晰图像进行测量,首先采用相关函数法把不同深度缺陷对应的清晰图像筛选出来,再利用半高宽测量算法实现对缺陷尺寸的自动测量。通过对不同深度的缺陷塑料试件测量表明:对于20 mm缺陷,使用含所有缺陷的图像,测量误差最大值12%,平均绝对值误差为6.1%,利用相关函数筛选出来的清晰图像进行缺陷尺寸测量,测量误差最大值6%,平均绝对值误差2.6%,采用本方法进行缺陷尺寸测量可有效提高测量精度。 展开更多

关键词 红外无损检测 相关函数 半高宽 缺陷尺寸 缺陷测量

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高掺杂低位错p型GaN材料生长研究

3

作者 高楠 房玉龙 +4 位作者 王波 韩颖 张志荣 尹甲运 刘超 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第8期702-707,共6页

对采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在SiC衬底上生长的p型GaN材料进行了研究。p型GaN材料通常采用Mg掺杂来实现,但Mg有效掺杂量的增加会导致材料的空穴浓度提高,表面粗糙度变大、位错密度增加。采用Delta掺杂方式,在Cp_(2)Mg通入量一... 对采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在SiC衬底上生长的p型GaN材料进行了研究。p型GaN材料通常采用Mg掺杂来实现,但Mg有效掺杂量的增加会导致材料的空穴浓度提高,表面粗糙度变大、位错密度增加。采用Delta掺杂方式,在Cp_(2)Mg通入量一定的情况下,通过对温度、压力以及Delta掺杂过程中TMGa通入时间的调控实现了对p型GaN材料掺杂浓度与表面粗糙度和位错密度之间的平衡优化。结果显示,生长温度1150℃、生长压力400 mbar(1 mbar=100 Pa)、TMGa通入时间40 s的样品均方根表面粗糙度为0.643 nm,(002)晶面半高宽(FWHM)为176.8 arcsec,空穴迁移率为11.8 cm^(2)/(V·s),空穴浓度为1.02×10^(18)cm^(-3),实现了电学性能与晶体质量的平衡。 展开更多

关键词 金属有机化学气相沉积(MOCVD) Delta掺杂 P型GAN 空穴浓度 半高宽(fwhm)

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基于漠河与武汉站流星雷达的中间层顶大气温度反演

4

作者 陈步鹏 冯健 +3 位作者 尹文杰 许娜 魏博琦 宿杰 《电波科学学报》 CSCD 北大核心 2024年第2期280-286,共7页

本文利用漠河和武汉站的全天空流星雷达在2012—2022年期间的观测数据,基于流星高度分布的半高宽(full width at half maximum,FWHM)与温度之间的线性关系来反演90 km高度处的大气温度。对每年数据作线性拟合时发现拟合参数几乎不变,因... 本文利用漠河和武汉站的全天空流星雷达在2012—2022年期间的观测数据,基于流星高度分布的半高宽(full width at half maximum,FWHM)与温度之间的线性关系来反演90 km高度处的大气温度。对每年数据作线性拟合时发现拟合参数几乎不变,因此本文使用过去一段时间总结出的参数来拟合温度,并与传统梯度法对比。结果表明,使用FWHM法测出的温度与Aura卫星的温度更为接近,其中相关系数和平均误差均优于梯度法,并且FWHM法在较高纬度的漠河站的拟合效果好于较低纬度的武汉站。说明在漠河站和武汉站使用FWHM法反演中间层顶大气温度是可行的;同时也证明了纬度会影响FWHM法的误差,在较高纬度使用FWHM法的结果误差更小。 展开更多

关键词 流星雷达 大气温度 中间层顶 流星峰值高度 半高宽(fwhm)

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高光谱传感器光谱性能参数反演与反射率恢复 被引量：6

5

作者 王天星 阎广建 +1 位作者 任华忠 穆西晗 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2714-2718,共5页

在轨高光谱传感器光谱性能参数的准确定标是数据定量应用的基本前提。文章在前人基础上,综合优化算法,实现了在不需要实测地表反射率的情况下,同时反演高光谱传感器中心波长与半值波宽(fullwidth at half maximum,FWHM)。基于模拟数据... 在轨高光谱传感器光谱性能参数的准确定标是数据定量应用的基本前提。文章在前人基础上,综合优化算法,实现了在不需要实测地表反射率的情况下,同时反演高光谱传感器中心波长与半值波宽(fullwidth at half maximum,FWHM)。基于模拟数据的研究结果显示,该方法在光谱性能参数偏移5 nm时,中心波长反演误差小于0.1 nm,FWHM误差小于0.7 nm。将该方法应用于Hyperion数据,结果显示,Hype-rion在VNIR谱段存在明显的smile效应,在整个CCD阵列范围内,其中心波长的偏移量在-2~2 nm之间,FWHM偏移在-0.2~0.5 nm之间;在SWIR谱段smile效应不明显,其中心波长偏移3 nm左右,FWHM偏移在-2^-3 nm之间。最后在光谱重定标基础上,对Hyperion进行了大气校正,反演了不受大气及定标参数影响的地表反射率。经光谱重定标,在大气吸收波段周围由光谱定标参数变化导致的反射率突变得到了抑制。 展开更多

关键词 光谱定标 中心波长 半值波宽(fwhm) MODTRAN POWELL算法 HYPERION

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中红外带通滤光片的设计与制备 被引量：16

6

作者 陈朝平 师建涛 +3 位作者 郭芮 白波 杨崇民 郭鸿香 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期595-598,共4页

中红外带通滤光片在航天、气象、遥感等领域有着重要的应用,峰值透过率和通带半宽度是带通滤光片的重要指标,主要取决于光学薄膜的膜系结构和具体设计。论述了一种在锗基底上采用锗和硫化锌两种材料设计并成功制备出中红外带通滤光片的... 中红外带通滤光片在航天、气象、遥感等领域有着重要的应用,峰值透过率和通带半宽度是带通滤光片的重要指标,主要取决于光学薄膜的膜系结构和具体设计。论述了一种在锗基底上采用锗和硫化锌两种材料设计并成功制备出中红外带通滤光片的方法。详细介绍了镀膜材料的选择以及这种方法的设计理论,给出了膜系结构,运用离子辅助沉积工艺在ZZSX-1100镀膜机上制备出了这种滤光片,测试结果表明:所制备的滤光片峰值透过率达到87%以上,通带半宽度为70nm,光谱性能稳定,膜层致密,附着力好,膜系结构简单,易于实现。 展开更多

关键词 中红外带通滤光片 薄膜 离子辅助沉积 通带半宽度 峰值透过率

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拉曼-光荧光光谱热壁外延生长GaAs/Si薄膜晶体质量研究 被引量：4

7

作者 谭红琳 张鹏翔 +1 位作者 刘翔 吴长树 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期498-500,共3页

本文研究了用热壁外延 (HWE)技术在Si衬底上、不同工艺条件生长的GaAs薄膜的拉曼 (Raman)和光荧光 (PL)光谱。研究表明 :在室温下 ,GaAs晶膜的拉曼光谱的 2 6 5cm-1横声子 (TO)峰和 2 90cm-1纵声子(LO)峰的峰值和面积之比随晶膜质量的... 本文研究了用热壁外延 (HWE)技术在Si衬底上、不同工艺条件生长的GaAs薄膜的拉曼 (Raman)和光荧光 (PL)光谱。研究表明 :在室温下 ,GaAs晶膜的拉曼光谱的 2 6 5cm-1横声子 (TO)峰和 2 90cm-1纵声子(LO)峰的峰值和面积之比随晶膜质量的变好而逐渐变大、FWHM变窄且峰值频移变小 ,而PL光谱出现在 90 0nm光谱的FWHM较窄 ,这表明所测得的薄膜为单晶晶膜。在另外一些工艺条件下生长的GaAs薄膜拉曼光谱峰形好 ,但测不出PL光谱 ,所生的膜不是单晶。同时对同一晶膜也可判断出其均匀程度。因此我们可以通过拉曼光谱和荧光光谱相结合评定外延膜晶体质量。 展开更多

关键词 拉曼光谱 半导体薄膜 荧光光谱 半高宽 异质结 外延生长 GAAS/SI 砷化镓/硅

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四极杆质谱质量分辨自动调节技术研究 被引量：4

8

作者 刘磊 江游 +5 位作者 刘梅英 戴新华 方向 陈大舟 邱春玲 黄泽建 《质谱学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期118-124,I0003,共8页

质谱仪器的质量分辨是指仪器区分两个质量相近离子的能力,是仪器的一项重要指标。为了保持四极杆质谱仪质量分辨的稳定性和可靠性,降低仪器维护成本,实现仪器的自动化及智能化,本实验室研究了一套适用于四极杆质谱仪质量分辨的自动调节... 质谱仪器的质量分辨是指仪器区分两个质量相近离子的能力,是仪器的一项重要指标。为了保持四极杆质谱仪质量分辨的稳定性和可靠性,降低仪器维护成本,实现仪器的自动化及智能化,本实验室研究了一套适用于四极杆质谱仪质量分辨的自动调节算法。该算法实现了对质谱谱峰半峰宽(full width at half maximum, FWHM)的检测,并通过与设定的FWHM目标值进行对比的方式对仪器进行调整,最终使FWHM达到目标值,达到自动调节质量分辨的目的。本研究在由中国计量科学研究院研发的四极杆质谱仪上开展相关工作,根据该仪器的电路设计,建立算法流程,将算法理论应用于具体仪器。使用四极杆质谱仪常用的标准物质全氟三丁胺(PFTBA)测试算法调节四极杆质谱仪的质量分辨,实验结果均达到预期。该算法对四极杆质谱仪具有普适性,降低了对操作人员调节仪器能力的要求,提高了仪器的稳定性。算法经多次测试,均可达到减小实验数据偏差,提高谱图质量分辨的目的。 展开更多

关键词 四极杆质谱 扫描线 质量分辨 半峰宽 自动调节 算法

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PbSe胶质纳米晶温度依赖的光谱特性研究 被引量：2

9

作者 王芳荣 范文勇 +3 位作者 翟微微 张铁强 王一丁 张宇 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1153-1156,共4页

在研究中,制备了3.8和5.8nm两种尺寸的PbSe胶质纳米晶,并对PbSe胶质纳米晶温度依赖的光学特性进行了研究。实验数据表明:在室温情况下,随着温度和尺寸的变化,PbSe胶质纳米晶的禁带宽度、发光峰值波长、发光强度及全波半宽度等都会发生... 在研究中,制备了3.8和5.8nm两种尺寸的PbSe胶质纳米晶,并对PbSe胶质纳米晶温度依赖的光学特性进行了研究。实验数据表明:在室温情况下,随着温度和尺寸的变化,PbSe胶质纳米晶的禁带宽度、发光峰值波长、发光强度及全波半宽度等都会发生改变。在纳米晶尺寸是3.8nm时,PbSe胶质纳米晶的禁带宽度随温度升高产生红移;但是当尺寸是5.8nm时,禁带宽度随温度升高产生蓝移。随温度的升高,PbSe胶质纳米晶的发光强度将下降、全波半宽度会增加。 展开更多

关键词 纳米晶 PBSE 禁带宽度 发光强度 全波半宽度(fwhm)

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基于波段带宽的谱段测温的优化测量分析 被引量：3

10

作者 符泰然 程晓舫 +1 位作者 范学良 丁金磊 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1548-1551,共4页

基于窄波段内普适性的线性发射率模型,采用具有Gauss分布的传感器设计,将三波长(单色)辐射温度测量拓展到三波段(谱段)辐射温度测量,提出了使测量具有最佳温度分辨精度的优化准则。讨论优化测量的主要方式是通过改变Gauss分布的半宽度,... 基于窄波段内普适性的线性发射率模型,采用具有Gauss分布的传感器设计,将三波长(单色)辐射温度测量拓展到三波段(谱段)辐射温度测量,提出了使测量具有最佳温度分辨精度的优化准则。讨论优化测量的主要方式是通过改变Gauss分布的半宽度,实现从单色测量到谱段测量的逐渐递进,因而优化分析从传统的分析波长选择上,过渡到分析波段带宽的选择上。对于特定的辐射情形,依据优化准则,数值模拟结果给出了最佳温度分辨精度的波段带宽(即Gauss分布半宽度)分布。最优半宽度的分析表明,单色辐射测量往往并非是最优测量,文章的分析将给辐射优化测量提供重要的理论指导。 展开更多

关键词 谱段测温 Planck定律 Gauss分布 半宽度 优化分析

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黄河下游及河口区表层沉积物中U,Ra,Th,^(40)K和^(137)Cs的测定 被引量：4

11

作者 李培泉 刘志和 《海洋科学》 CAS CSCD 北大核心 1990年第5期39-42,共4页

本文从地球化学和环境保护的角度,用8180—4Kγ谱仪直接测定方法确定了天然放射性元素U,Ra,Th,^(40)K,及人工核素^(137)Cs的含量,讨论了它们的分布特点及其影响因素,指出了河口区与下游段元素变化的差异及其制约条件。

关键词 黄河 河口 表层 沉积物 放射性元素

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基于波段带宽的谱段测温法的测温范围分析 被引量：3

12

作者 符泰然 程晓舫 +1 位作者 钟茂华 杨臧健 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1994-1997,共4页

基于窄波段内普适性的线性发射率模型,将三波长(单色)辐射温度测量拓展到谱段辐射温度测量。在谱段测量中,为实现非失真的有效测量,文中结合传感器的动态范围及最低灵敏度等特性参数,考虑多路信号的耦合关系,讨论了有效温度测量的相应... 基于窄波段内普适性的线性发射率模型,将三波长(单色)辐射温度测量拓展到谱段辐射温度测量。在谱段测量中,为实现非失真的有效测量,文中结合传感器的动态范围及最低灵敏度等特性参数,考虑多路信号的耦合关系,讨论了有效温度测量的相应限制条件。从而针对具有已知辐射物性的被测物体,通过数值模拟给出谱段测温的有效测温范围相对于传感器的波段带宽的变化趋势。理论上明确了实现有效温度范围测量对传感器的波段带宽的要求。文章分析将为辐射传感器的设计提供必要的理论指导。 展开更多

关键词 谱段测温法 温度 发射率 带宽 半宽度 测温范围

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利用后向散射光空间谱强度分布探测尾流气泡的实验研究 被引量：6

13

作者 邓仲芳 刘继芳 李增荣 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1216-1220,共5页

利用自行设计制作的尾流模拟系统产生气泡,应用散射光空间频谱测量分析系统,对水中气泡群的后向散射光空间谱强度分布进行测量和分析,研究了不同探测距离的散射光衰减对其强度分布的影响.结果表明,在气泡密度、大小分布不变的情况下,扩... 利用自行设计制作的尾流模拟系统产生气泡,应用散射光空间频谱测量分析系统,对水中气泡群的后向散射光空间谱强度分布进行测量和分析,研究了不同探测距离的散射光衰减对其强度分布的影响.结果表明,在气泡密度、大小分布不变的情况下,扩束光照明时,由于参与光散射的气泡数目增加对散射光在水中传播衰减的补偿,散射空间谱强度分布的峰值和半宽值均不随探测距离变化;而细光束照明时,散射谱强度分布峰值随探测距离的增加而减小,半宽值则逐渐增大.所以在远距离探测时,细光束的探测效果好. 展开更多

关键词 后向散射光 空间谱强度 半值宽度(fwhm) 探测距离 尾流

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发射光谱法对早期激光诱导铝合金等离子体诊断研究 被引量：3

14

作者 张勇 许涛 +1 位作者 刘英 段忆翔 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期2210-2215,共6页

对激光诱导等离子体参数进行诊断有多种方法,其中采用发射光谱法对其诊断是一种重要的方法。文中采用Nd∶YAG固态激光器,输出波长1 064nm红外激光与铝合金样品相互作用,深入研究了铝合金等离子体产生早期(<1μs)谱线轮廓、谱线强度... 对激光诱导等离子体参数进行诊断有多种方法,其中采用发射光谱法对其诊断是一种重要的方法。文中采用Nd∶YAG固态激光器,输出波长1 064nm红外激光与铝合金样品相互作用,深入研究了铝合金等离子体产生早期(<1μs)谱线轮廓、谱线强度、线背比、谱线半峰宽及位移等随时间演变规律。研究表明,激光与物质相互作用早期,电子数密度非常大,电子与离子及原子之间的相互作用非常强烈,谱线的Stark展宽效应非常明显,导致多重谱线重叠在一起,随时间演变,电子数密度及电子温度的降低,多重谱线的半峰宽越来越窄且谱线轮廓对称性越来越好。MgⅠ285.212 6nm谱线强度早期逐渐增强,大约100ns左右谱线强度达到最大值,然后谱线强度呈逐渐减小的趋势,这是由于等离子体产生早期,电子及离子占主导地位,故早期原子谱线强度较弱,随时间演变,电子与离子之间的复合,原子数密度逐渐增加,故原子谱线逐渐增强,达到最大值之后,由于等离子体激发温度的降低,故谱线强度逐渐减弱。以NIST波长位置为参考,等离子体产生的早期谱线发生了红移,连续背景强度随时间演变呈幂函数形式急剧递减,与之相反,谱线的连续背景强度与谱线强度相比,连续背景衰减的速度更为迅速,故导致谱线信背比随时间演变呈增大趋势,本研究对等离子体早期这些现象从理论角度进行了深入探讨。 展开更多

关键词 激光诱导等离子体 谱线轮廓 连续背景强度 谱线半峰宽 谱线位移

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PQ 2000螺旋CT有效层厚影响因素的实验分析 被引量：4

15

作者 卢东生 李铁一 《中国医学影像技术》 CSCD 2002年第11期1192-1194,共3页

目的　介绍螺旋CT中影响有效层厚的扫描条件 ,并根据各种扫描条件下获得的有效层厚数据为临床扫描提供适当的扫描条件 ,获得比较好的CT图像。方法　用PQ 2 0 0 0CT中对有效层厚有影响的扫描条件进行组合 ,分别扫描层厚测量水模 ,利用随... 目的　介绍螺旋CT中影响有效层厚的扫描条件 ,并根据各种扫描条件下获得的有效层厚数据为临床扫描提供适当的扫描条件 ,获得比较好的CT图像。方法　用PQ 2 0 0 0CT中对有效层厚有影响的扫描条件进行组合 ,分别扫描层厚测量水模 ,利用随机提供的有效层厚测量程序计算出有效层厚。结果　影响有效层厚的扫描条件主要有层厚和螺距 ,螺旋插入算法对有效层厚几乎没有影响。在薄层扫描时 ,螺距对有效层厚的影响更大 ,2mm扫描螺距为 2时有效层厚与普通扫描相比将增宽 3 5 % ;4mm扫描螺距为 2时有效层厚与普通扫描相比将增宽 5 0 %。结论　根据诊断的需要 ,在选择不同的层厚进行螺旋扫描时应选择与之相适应的螺距和重建间隔 ,以获得比较好的图像和更好的图像后处理效果。 展开更多

关键词 PQ2000螺旋CT 影响因素 质量控制 螺旋扫描 螺距 有效层厚 CT检查

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基于速度调制的纳秒脉冲化系统数值模拟 被引量：1

16

作者 宋逢泉 李国祥 +2 位作者 刘成岳 陈美霞 祝庆军 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期1724-1728,共5页

文章根据脉冲化系统中切割器和聚束器的工作原理,基于蒙特卡罗方法编制了计算程序,数值模拟了带电粒子束流在脉冲化系统中的运动轨迹。通过分析模拟计算的结果可知,采用非等间距速度调制间隙的聚束器,可以有效地提高纳秒脉冲化系统的性... 文章根据脉冲化系统中切割器和聚束器的工作原理,基于蒙特卡罗方法编制了计算程序,数值模拟了带电粒子束流在脉冲化系统中的运动轨迹。通过分析模拟计算的结果可知,采用非等间距速度调制间隙的聚束器,可以有效地提高纳秒脉冲化系统的性能指标,所产生束流的脉冲半高宽(full width at half maximum,FWHM)比传统等间距速度调制间隙聚束器的减小了约10%。 展开更多

关键词 纳秒 脉冲半高宽(fwhm) 切割器 速度调制 聚束器

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用高分辨X射线衍射面扫描评估4H-SiC晶片结晶质量 被引量：3

17

作者 杨丹丹 王健 +4 位作者 孙科伟 张胜男 金雷 程红娟 郝建民 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第6期477-482,共6页

介绍了高分辨X射线衍射(HRXRD)面扫描技术在评估4H-SiC抛光片整体结晶质量方面的应用。对4H-SiC抛光片整片及局部特定位置进行HRXRD摇摆曲线面扫描,并拟合摇摆曲线半高宽(FWHM)峰值得到的极图,观察4H-SiC抛光片表面的FWHM分布范围、分... 介绍了高分辨X射线衍射(HRXRD)面扫描技术在评估4H-SiC抛光片整体结晶质量方面的应用。对4H-SiC抛光片整片及局部特定位置进行HRXRD摇摆曲线面扫描,并拟合摇摆曲线半高宽(FWHM)峰值得到的极图,观察4H-SiC抛光片表面的FWHM分布范围、分布特点和多峰聚集区。结合表面缺陷测试仪和偏振光显微镜测试方法,对因螺旋生长产生的晶界分布聚集区以及边缘高应力晶界聚集区进行了表征。二者测试结果与HRXRD摇摆曲线面扫描的结果一致。对多片样品在不同区域使用不同测试方法得到的结果均验证了HRXRD摇摆曲线面扫描可以宏观识别晶畴界面聚集区,清楚辨别出位于晶片中心附近由于螺旋生长面交界形成的晶畴界面,以及位于晶片边缘、受生长热场影响晶粒畸变产生的高应力晶畴界面。 展开更多

关键词 4H-SiC单晶 高分辨X射线衍射(HRXRD) 面扫描 摇摆曲线半高宽(fwhm) 晶界

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高功率激光的时间、空间和频率特性的测量 被引量：1

18

作者 郭大浩 王声波 +2 位作者 洪昕 吴鸿兴 戴宇生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期433-436,共4页

在万兆瓦可调谐钕玻璃激光装置上，对激光束时空特性参数—脉宽、发散度及线宽等进行了测量，获得了较精确的测量结果。

关键词 高功率 激光 脉宽 发散度 线宽 频率特性

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稻草皮层硅化物的XPS研究(Ⅰ) 被引量：2

19

作者 邱玉桂 陈春霞 +1 位作者 欧海龙 汤丁亮 《中国造纸学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期1-5,共5页

对稻草茎部和叶鞘的外表面及穗轴等进行了皮层硅化物的X射线光电子能谱(XPS)研究。结果表明,所研究的几个部位皮层中,自外至里,硅化物的含量及分布具有相同的规律性;茎部皮层外表面硅化物的含量(面积)最低,但半峰宽则比皮层内部高;叶鞘... 对稻草茎部和叶鞘的外表面及穗轴等进行了皮层硅化物的X射线光电子能谱(XPS)研究。结果表明,所研究的几个部位皮层中,自外至里,硅化物的含量及分布具有相同的规律性;茎部皮层外表面硅化物的含量(面积)最低,但半峰宽则比皮层内部高;叶鞘及穗轴的皮层外表面硅化物的含量及半峰宽均比其皮层内部低。初步测定表明,所有部位中的硅化物均为无机硅化物,不同部位硅化物的组成不同;但各测定点的半峰宽都明显高于基准值1.57,说明在测定范围内的硅化物均是由两种或两种以上的硅化物组成的。因此,对各部位的S i2P峰均需进行分峰拟合分析才能得到正确的结果。 展开更多

关键词 稻草皮层 硅化物含量及组成 XPS 半峰宽 分峰拟合

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大直径MCT晶体的双晶衍射回摆曲线测量 被引量：1

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作者 韩庆林 李全保 +1 位作者 吴刚 马庆华 《红外技术》 CSCD 北大核心 2000年第3期45-48,共4页

采用加压改进Bridgman法生长出大直径 ( =40mm)MCT晶体。对所生长的晶体进行了双晶衍射回摆曲线测量 ,所测量样品的双晶衍射回摆曲线的半峰宽最小值为1 4.4″～ 1 6.2″。测试结果表明 :大直径MCT晶体质量优良 。

关键词 MCT晶体 双晶衍射回摆曲线 红外探测器

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