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“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统 被引量:6
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作者 姜振华 王挺峰 郭劲 《中国光学》 EI CAS 2013年第4期544-550,共7页
为了满足激光诱导等离子体(LPP)体制下极紫外(EUV)光源对CO2激光器提出的稳定性需求,建立了简化的CO2激光传输系统模型,根据光束稳定性需求对光束功率、指向和位置的监测与控制方法进行了理论和实验研究。根据高功率CO2激光传输系统特点... 为了满足激光诱导等离子体(LPP)体制下极紫外(EUV)光源对CO2激光器提出的稳定性需求,建立了简化的CO2激光传输系统模型,根据光束稳定性需求对光束功率、指向和位置的监测与控制方法进行了理论和实验研究。根据高功率CO2激光传输系统特点,在实验室内建立了上述光束监测和控制实验系统,包括光束功率控制模块、光束指向控制模块和光束参数监测模块,其中光束参数监测模块可实时测量光束功率、指向、尺寸及发散角等重要参数。仿真与实验结果表明:光束功率控制模块对线偏振激光功率的控制接近1%~100%,光束指向控制模块实现的光束指向稳定度在10μrad以内,可满足CO2激光驱动源的高稳定性要求。 展开更多
关键词 极紫外光源 CO2激光器 参数监测 指向控制
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红外波段激光驱动极紫外光刻光源研究进展
2
作者 吕天皓 宋艳洁 +3 位作者 宗楠 张申金 薄勇 彭钦军 《激光技术》 北大核心 2025年第3期328-335,共8页
激光驱动等离子体产生13.5 nm的极紫外光源,用于目前最先进的光刻机,而10.6μm CO_(2)气体激光是商用极紫外光刻机的驱动光源。固体激光由于插头效率高、输出功率/能量可扩展性强等优点,有望在未来成为新一代驱动光源。归纳了产生极紫... 激光驱动等离子体产生13.5 nm的极紫外光源,用于目前最先进的光刻机,而10.6μm CO_(2)气体激光是商用极紫外光刻机的驱动光源。固体激光由于插头效率高、输出功率/能量可扩展性强等优点,有望在未来成为新一代驱动光源。归纳了产生极紫外光源的激光-等离子体相互作用的物理过程,综述了10.6μm CO_(2)气体激光器、1μm和2μm固体激光3种红外波段激光在驱动等离子体产生极紫外光和光学系统方面的研究进展,讨论了1μm和2μm固体激光器作为驱动光源的优越性。在此基础上,对红外波段激光驱动极紫外光刻光源的研究前景进行了展望。 展开更多
关键词 激光物理 极紫外光刻光源 激光-等离子体作用 固体激光器 转换效率
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EUV成像仪极间串扰和伪信号触发计数修正 被引量:2
3
作者 王晓东 朱小明 +1 位作者 吕宝林 刘文光 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期2675-2679,共5页
为了提高极紫外(EUV)光子计数成像仪的分辨率,分析了EUV成像仪系统WSZ阳极(Wedge Strip Zigzag anode)不同条带间的极间串扰以及非目标能量区间内信号触发产生的伪信号对图像质量的影响。讨论了串扰产生的原因,通过测量极间电容,找到了... 为了提高极紫外(EUV)光子计数成像仪的分辨率,分析了EUV成像仪系统WSZ阳极(Wedge Strip Zigzag anode)不同条带间的极间串扰以及非目标能量区间内信号触发产生的伪信号对图像质量的影响。讨论了串扰产生的原因,通过测量极间电容,找到了串扰系数所在的范围,并最终确定最优值;使用该系数对不同能量范围内的光子进行处理,确定了合适的能量区间(上下限)。在设定的能量区间重新成像并与原图像进行对比,结果显示图像质量有了明显提高。通过消除极间串扰和剔除混杂在图像数据中的伪数据,使图像的边缘特性更强,提高了图像分辨率。 展开更多
关键词 极紫外成像仪 光子计数成像仪 极间串扰 伪信号触发 能量上下限 边缘特性
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激光锡等离子体极紫外光源发射光谱诊断研究
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作者 胡桢麟 王天泽 +3 位作者 何梁 林楠 冷雨欣 陈卫标 《光谱学与光谱分析》 北大核心 2025年第7期1834-1841,共8页
由于具有发光体积小、能量转换效率高、稳定性高和非相干等特点,激光等离子体极紫外(LPP-EUV)光源在先进半导体制造与量测、材料表面分析和EUV计量学等领域应用广泛。本文开展了1μm固体激光Sn等离子体EUV光源发射光谱诊断研究。首先,... 由于具有发光体积小、能量转换效率高、稳定性高和非相干等特点,激光等离子体极紫外(LPP-EUV)光源在先进半导体制造与量测、材料表面分析和EUV计量学等领域应用广泛。本文开展了1μm固体激光Sn等离子体EUV光源发射光谱诊断研究。首先,在真空中测量了不同激光峰值功率密度下1μm激光激发固体Sn靶等离子体的13.5 nm带内辐射能量、7~24 nm EUV波段和350~750 nm可见光(VIS)波段的发射光谱,计算了能量转换效率(CE)和光谱纯度(SP),分析了激光峰值功率密度对Sn等离子体EUV光谱、VIS光谱、CE和SP的影响规律。在本实验的参数范围内,CE随着激光峰值功率密度的提升先快速增大后缓慢减小,在激光峰值功率密度为5.2×10^(11)W·cm^(-2)时达到最大值2.47%。SP随激光峰值功率密度的提升而增大,在1.5×10^(12)W·cm^(-2)时达到最大值7.52%。然后,基于Sn等离子体VIS波段的时间分辨光谱,采用萨哈-玻尔兹曼图法和斯塔克展宽法计算了等离子体起爆后60~160 ns的电子温度(T_(e))和电子密度(n_(e)),研究了真空中Sn等离子体T_(e)和n_(e)随时间的演化规律,并进一步分析了T_(e)和n_(e)对EUV波段辐射和13.5 nm带内辐射的影响规律。结果表明,激光峰值功率密度的上升会导致等离子体T_(e)和n_(e)的上升,T_(e)和n_(e)的变化影响着不同电荷态离子的分布,进而导致EUV辐射谱分布的变化。在本实验的参数范围内,随着T_(e)和n_(e)增大,CE先增大后减小,而SP一直增大。过低的T_(e)会导致Sn等离子体UTA峰位未达到13.5 nm,过高的T_(e)会导致更多的驱动激光能量转化为13.5 nm以下的EUV辐射,造成CE未达到最优。以上研究结果为固体激光驱动LPP-EUV光源的工程化研发,以及我国自主开展EUV光刻、EUV计量与检测提供了研究基础与技术支持。 展开更多
关键词 极紫外光源 激光等离子体 发射光谱诊断 等离子体温度 电子密度
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MAPDST单体在EUV光刻胶制备过程中的应用 被引量:1
5
作者 李元壮 姜靖逸 肖国民 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2023年第S02期32-37,共6页
极紫外(EUV)光刻胶的研发作为适配未来光刻技术的发展方向,现已成为超高精度集成电路制造的最高效工艺技术。其中,(4-(甲基丙烯酰氧基)苯基)二甲基锍三氟甲磺酸盐(MAPDST)作为一种含辐射敏感锍基功能的关键单体,现已广泛应用于极紫外(E... 极紫外(EUV)光刻胶的研发作为适配未来光刻技术的发展方向,现已成为超高精度集成电路制造的最高效工艺技术。其中,(4-(甲基丙烯酰氧基)苯基)二甲基锍三氟甲磺酸盐(MAPDST)作为一种含辐射敏感锍基功能的关键单体,现已广泛应用于极紫外(EUV)光刻胶的研发生产过程中。首先,简要阐述在制约光刻胶性能提升过程中存在的分辨率(R)、线边缘粗糙度(LER)、曝光灵敏度(S)之间的平衡制约关系,即RLS平衡制约关系;随后,对MAPDST单体的优越性能以及在推动光刻胶朝着高分辨率方向发展的应用现状进行综述;最后,对EUV光刻胶材料及MAPDST单体的未来发展做出展望。 展开更多
关键词 极紫外光刻技术 极紫外光刻胶 (4-(甲基丙烯酰氧基)苯基)二甲基锍三氟甲磺酸盐单体 RLS平衡制约关系 二次电子
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极紫外单色仪波长定标 被引量:12
6
作者 董宁宁 李敏 +2 位作者 刘震 尼启良 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1660-1665,共6页
给出了一种新的极紫外(EUV)单色仪定标方法。通过测量标准气体He空阴极光源的30.38和58.43nm两条发射光谱和标定过的中心波长为13.90nm的Mo/Si多层膜反射镜的反射率峰值位置,对Mcpherson247型EUV单色仪进行波长定标,将所定的标... 给出了一种新的极紫外(EUV)单色仪定标方法。通过测量标准气体He空阴极光源的30.38和58.43nm两条发射光谱和标定过的中心波长为13.90nm的Mo/Si多层膜反射镜的反射率峰值位置,对Mcpherson247型EUV单色仪进行波长定标,将所定的标准点在单色仪的运动轨迹上做了相应的标识,并用Origin软件进行处理,利用一元二次方程得出拟合曲线。对标定结果做了分析,得出了在12-60nm波段内,用激光等离子体光源软X射线反射率计测量多层膜反射镜反射峰值位置时,测量准确度为0.08nm,测量重复性为±0.04nm。测量误差主要来源是光源的不稳定性和机械转动误差。 展开更多
关键词 euv单色仪 定标 多层膜反射镜 准确度 重复性
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极紫外Mg/SiC、Mg/Co多层膜的稳定性 被引量:8
7
作者 朱京涛 宋竹青 +2 位作者 丁涛 马爽 李浩川 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1380-1386,共7页
采用磁控溅射法在Si(100)基底上镀制了膜系结构分别为[Mg/Co]20、[Mg/SiC]20的两组多层膜,以研究Mg基多层膜的稳定性。对放置在室温和80%相对湿度环境下的样品进行显微镜、表面粗糙度和X射线掠入射反射率测试,对比研究了Mg/Co和Mg/SiC... 采用磁控溅射法在Si(100)基底上镀制了膜系结构分别为[Mg/Co]20、[Mg/SiC]20的两组多层膜,以研究Mg基多层膜的稳定性。对放置在室温和80%相对湿度环境下的样品进行显微镜、表面粗糙度和X射线掠入射反射率测试,对比研究了Mg/Co和Mg/SiC两种多层膜结构在相同环境中的损坏状况。对比结果显示:放置4天后,Mg/SiC损坏面积为26.34%,表面粗糙度为10nm;Mg/Co的损坏面积为2.78%,表面粗糙度为5nm。6天后,X射线掠入射反射率测量显示Mg/SiC多层膜一级反射峰完全消失,而Mg/Co多层膜的一级反射峰仍有47.63%的反射率。实验表明,Mg/Co多层膜的表面层和内部多层膜结构的损坏速度较Mg/SiC慢,具有较好的环境稳定性。另外,X射线光电子谱(XPS)测试Mg基多层膜损坏后的产物主要为MgCO3、Mg(OH)2和少量的MgO,且内层Mg(OH)2与MgCO3含量的比值显著高于表面层。分析认为,水汽是造成Mg基多层膜损坏的主要原因,今后Mg基多层膜保护层的研究可主要针对如何防止水汽进入膜层。 展开更多
关键词 极紫外多层膜 多层膜反射镜 稳定性 湿度
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激光等离子体极紫外光刻光源 被引量:16
8
作者 窦银萍 孙长凯 林景全 《中国光学》 EI CAS 2013年第1期20-33,共14页
研究并讨论了下一代光刻的核心技术之一—激光等离子体极紫外光刻光源。简要介绍了欧美和日本等国极紫外光刻技术的发展概况,分析了新兴的下一代13.5 nm极紫外光刻光源的现状,特别讨论了国内外激光等离子体极紫外光刻光源的现状,指出目... 研究并讨论了下一代光刻的核心技术之一—激光等离子体极紫外光刻光源。简要介绍了欧美和日本等国极紫外光刻技术的发展概况,分析了新兴的下一代13.5 nm极紫外光刻光源的现状,特别讨论了国内外激光等离子体极紫外光刻光源的现状,指出目前其存在的主要问题是如何提高光源的转化效率和减少光源的碎屑。文中同时概述了6.x nm(6.5~6.7 nm)极紫外光刻光源的最新研究工作。最后,介绍了作者所在研究小组近年来在极紫外光源和极紫外光刻掩模缺陷检测方面开展的研究工作。 展开更多
关键词 极紫外光刻 激光等离子体 极紫外光源 转换效率
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使用感应电荷位敏阳极的极紫外单光子计数成像系统 被引量:20
9
作者 尼启良 何玲平 +2 位作者 刘世界 董宁宁 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期2543-2548,共6页
研制了用于月基极紫外成像相机的二维极紫外位敏阳极光子计数成像探测器原型样机,该探测器系统主要由工作在脉冲计数模式下的微通道板堆、楔条形感应位敏阳极及相关的模拟和数据处理电路组成。设计和制备了周期为1.5mm,有效直径为47 mm... 研制了用于月基极紫外成像相机的二维极紫外位敏阳极光子计数成像探测器原型样机,该探测器系统主要由工作在脉冲计数模式下的微通道板堆、楔条形感应位敏阳极及相关的模拟和数据处理电路组成。设计和制备了周期为1.5mm,有效直径为47 mm的三电极楔条形位敏阳极,研制了最高计数率为200 kHz的前端模拟和数字电路。测量了探测器的暗计数率、脉冲高度分布、增益、线性及空间分辨率等工作特性。测量结果表明,探测器的空间分辨率为7.13 lp/mm(即0.14 mm),满足月基极紫外相机对空间分辨率的要求。 展开更多
关键词 极紫外探测器 光子计数成像探测器 微通道板 感应电荷 楔条形位敏阳极
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微通道板在12-40nm波段的量子效率测量 被引量:10
10
作者 李敏 范鲜红 +1 位作者 尼启良 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期1-5,共5页
提出了一种测量微通道板(MCP)量子效率的方法。该方法选用激光等离子体光源作为极紫外辐射源,使用传递标准探测器一硅光电二极管标定光源强度,用标定后的光照射待测MCP,采用直接测量电压来间接测量探测器输出电流,再计算出MCP量... 提出了一种测量微通道板(MCP)量子效率的方法。该方法选用激光等离子体光源作为极紫外辐射源,使用传递标准探测器一硅光电二极管标定光源强度,用标定后的光照射待测MCP,采用直接测量电压来间接测量探测器输出电流,再计算出MCP量子效率。实验结果表明,在12-40nm,MCP量子效率为2%~12.3%,量子效率随波长的增大呈下降趋势。测量与误差分析表明,导致MCP量子效率测量结果变化的主要因素是光源稳定性和机械转动精度。通过与计数方式测量结果比较,进一步验证了本测量方法的正确性。 展开更多
关键词 极紫外 微通道板 量子效率
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激光等离子体13.5 nm极紫外光刻光源进展 被引量:23
11
作者 宗楠 胡蔚敏 +5 位作者 王志敏 王小军 张申金 薄勇 彭钦军 许祖彦 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期28-42,共15页
半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体13.5 nm极紫外光刻的原理和国内外研究发展概况,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜... 半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体13.5 nm极紫外光刻的原理和国内外研究发展概况,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜反射镜等关键系统组成部分。同时,指出了在提高激光等离子体13.5 nm极紫外光源输出功率的研究进程中所存在的主要问题,包括提高转换效率和减少光源碎屑。特别分析了目前已实现百瓦级输出的日本Gigaphoton公司和荷兰的ASML公司的极紫外光源装置。最后对该项技术的发展前景进行了总结与展望。 展开更多
关键词 13.5 nm极紫外光刻技术 激光等离子体 极紫外光源 转换效率 光源碎屑 预脉冲激光
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月基极紫外相机光机结构设计 被引量:30
12
作者 王智 李朝辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期2427-2433,共7页
为了对地球等离子体层产生的30.4nm辐射进行全方位的长期监视和观测,研制了月基极紫外相机。相机主体采用多层膜单反射镜光学系统以及30.4nm球面光子探测器的结构形式,跟踪机构采用俯仰-方位模式,由步进电机驱动实现对地球的捕获。针对... 为了对地球等离子体层产生的30.4nm辐射进行全方位的长期监视和观测,研制了月基极紫外相机。相机主体采用多层膜单反射镜光学系统以及30.4nm球面光子探测器的结构形式,跟踪机构采用俯仰-方位模式,由步进电机驱动实现对地球的捕获。针对卫星发射、地月变轨、月表着陆过程中的振动冲击以及月表残酷的温度环境,月基极紫外相机的光机结构设计考虑了环境(力学、温度)适应性,有限元分析结果表明,光机结构在整机质量<15kg条件下,一阶谐振频率为49.3Hz;运动机构在-50~+80℃运转自如;在50℃均匀温降载荷作用下反射镜面形精度RMS值为13.44nm(<14nm),满足相机的技术指标要求。 展开更多
关键词 极紫外相机 光机结构 等离子体层
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13.9和19.6nm正入射Mo/Si多层膜反射镜的反射率测量 被引量:3
13
作者 李敏 董宁宁 +6 位作者 刘震 刘世界 李旭 范鲜红 王丽辉 马月英 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1666-1672,共7页
为了进一步研究13.9 nm类镍银和19.6 nm类氖锗X射线激光,制备了工作在上述两个波长的Mo/Si多层膜反射镜。设计了结构简单、操作方便的小型反射率计,将其安装在Mcpherson247单色仪出射狭缝附近,以铜靶激光等离子体辐射源为极紫外光源,组... 为了进一步研究13.9 nm类镍银和19.6 nm类氖锗X射线激光,制备了工作在上述两个波长的Mo/Si多层膜反射镜。设计了结构简单、操作方便的小型反射率计,将其安装在Mcpherson247单色仪出射狭缝附近,以铜靶激光等离子体辐射源为极紫外光源,组建了一套适合反射率测量的实验装置,利用此装置测量了实验室制备的多层膜反射镜的反射率。测量之前对单色仪进行了标定并对光源稳定性进行了测量,结果显示,波长准确度是0.08 nm,光源信号抖动范围<5%,光源稳定性好。反射率测量结果显示,实验室能够制备出中心波长分别是13.91和19.60 nm的Mo/Si多层膜反射镜,相应反射率分别为41.9%和22.6%,半宽度为0.56和1.70 nm。同时还用WYKO测量得到13.9和19.6 nmMo/Si多层膜的表面粗糙度分别为0.52和0.55 nm。 展开更多
关键词 Mo/Si多层膜反射镜 反射率测量 表面粗糙度 极紫外光源 激光等离子体光源
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太阳极紫外多波段成像仪 被引量:4
14
作者 彭吉龙 朱光武 +1 位作者 韦飞 李保权 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期417-421,共5页
在目前仪器特点和性能的基础上,结合中国现有卫星特点和技术基础,提出了一种新型太阳极紫外多波段成像仪,采用小型化设计,利用一台仪器实现对日冕和色球层4个不同波段的高分辨率成像,不仅能有效利用卫星资源,提高空间探测水平,还能实现... 在目前仪器特点和性能的基础上,结合中国现有卫星特点和技术基础,提出了一种新型太阳极紫外多波段成像仪,采用小型化设计,利用一台仪器实现对日冕和色球层4个不同波段的高分辨率成像,不仅能有效利用卫星资源,提高空间探测水平,还能实现对日冕和色球的同时观测,推动空间天气研究,提高空间天气预报水平。 展开更多
关键词 极紫外 成像 空间天气 太阳观测
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基于反射镜表面粗糙度计算极紫外望远镜分辨率 被引量:6
15
作者 杨林 郑贤良 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2565-2572,共8页
针对短波段成像系统中的散射问题,提出了一种基于反射镜表面粗糙度来计算极紫外太阳望远镜工作波段分辨率的方法。首先分析了两镜系统中散射光线的传播,讨论了反射镜表面粗糙度相对波长的比值与像面光强分布的关系。分频段测量了反射镜... 针对短波段成像系统中的散射问题,提出了一种基于反射镜表面粗糙度来计算极紫外太阳望远镜工作波段分辨率的方法。首先分析了两镜系统中散射光线的传播,讨论了反射镜表面粗糙度相对波长的比值与像面光强分布的关系。分频段测量了反射镜的表面粗糙度,利用k-相关模型拟合出全频段的一维功率谱密度(PSD)。数值计算结果表明:在1/D到1/λ(λ为入射光波长)的空间频率范围内,主次镜的有效均方根表面粗糙度分别为0.59nm和0.77nm。利用Ze-max光学设计软件,建立了包含反射镜表面粗糙度测量数据的极紫外(EUV)望远镜非序列模型,该计算模型能够反映出反射镜表面散射对像面分辨率的影响,结果显示,在30.4nm波段,包含80%的能量半径从3.9μm增大到4.3μm,望远镜在工作波段相应的分辨率为0.25″,满足设计要求。 展开更多
关键词 euv太阳望远镜 反射镜 表面粗糙度 功率谱密度 分辨率
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球面微通道板在极紫外波段的量子探测效率 被引量:5
16
作者 尼启良 韩素立 +1 位作者 陈斌 王海峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2596-2602,共7页
由于球面微通道板(MCP)的量子探测效率与极紫外(EUV)相机的灵敏度有关,本文研究了球面MCP量子探测效率的特点和测量方法。根据微通道板在EUV波段光电子产额的理论模型,计算了球面MCP在该波段下随不同入射角变化的电子产额。使用激光等... 由于球面微通道板(MCP)的量子探测效率与极紫外(EUV)相机的灵敏度有关,本文研究了球面MCP量子探测效率的特点和测量方法。根据微通道板在EUV波段光电子产额的理论模型,计算了球面MCP在该波段下随不同入射角变化的电子产额。使用激光等离子体光源测量球面MCP在EUV波段的量子探测效率,搭建了球面MCP在该波段的量子探测效率的测量装置,测量了球面MCP在不同位置的量子探测效率随波长和入射角的变化曲线。实验结果表明,入射角为15°时的量子探测效率约为入射角为0°时的5倍。 展开更多
关键词 极紫外(euv)相机 球面微通道板 次级电子产额 量子探测效率
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极紫外光源锡液滴靶的检测研究 被引量:4
17
作者 陈子琪 王新兵 +2 位作者 左都罗 陆培祥 吴涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期39-43,共5页
采用正交放置的两路CCD,基于图像采集及处理的方法,建立了极紫外光源锡液滴靶发生装置的锡液滴检测系统,可以实时监测锡液滴的运动状态及稳定性。对本实验室频率为34kHz的锡靶发生器产生的液滴进行了锡液滴监测实验。监测结果显示,锡液... 采用正交放置的两路CCD,基于图像采集及处理的方法,建立了极紫外光源锡液滴靶发生装置的锡液滴检测系统,可以实时监测锡液滴的运动状态及稳定性。对本实验室频率为34kHz的锡靶发生器产生的液滴进行了锡液滴监测实验。监测结果显示,锡液滴直径约为137μm,平均间距为375μm,稳定性较好,并对水平面上横向稳定性进行了分析。 展开更多
关键词 极紫外光源 激光等离子体 锡液滴靶 稳定性
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EAST快速极紫外光谱仪波长的原位标定及其应用 被引量:3
18
作者 姚黎明 张凌 +8 位作者 许棕 杨秀达 吴承瑞 张睿瑞 杨飞 吴振伟 姚建铭 龚先祖 胡立群 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期2645-2650,共6页
介绍了东方超环(experimental advanced supereonducting tokamak, EAST)托卡马克上的两套快速极紫外(EUV)光谱仪系统波长的原位标定方法、结果及其应用。这两套谱仪均为掠入射平场谱仪,时间分辨均为5 ms·frame -1 。两套谱仪分别... 介绍了东方超环(experimental advanced supereonducting tokamak, EAST)托卡马克上的两套快速极紫外(EUV)光谱仪系统波长的原位标定方法、结果及其应用。这两套谱仪均为掠入射平场谱仪,时间分辨均为5 ms·frame -1 。两套谱仪分别工作在20~500和10~130 的波段范围,由步进电机控制探测器在焦平面上移动实现整个观测波段上的波长扫描。利用这两套谱仪系统观测极紫外波段光谱,计算EAST中低-高Z杂质离子特征线辐射强度随时间的演化,监测和研究等离子体中杂质的行为。高Z杂质尤其是钨、钼等金属元素,发出的EUV波段光谱的构成非常复杂,准确识谱对谱仪精确的波长测量能力以及谱分辨能力要求很高,因此精确的波长标定是识别钨、钼等高Z杂质谱线以及研究它们行为的最关键的技术之一。利用EAST等离子体中类氢到类铍的低、中Z杂质的特征谱线以及它们的二阶甚至三阶谱线,结合谱仪系统的色散能力,对这两套快速极紫外光谱仪的波长进行了精确的原位标定。用于波长标定的杂质谱线有O Ⅷ 18.97 , O Ⅶ 21.60 , C Ⅵ 33.73 , Li Ⅲ 113.9 , Li Ⅲ 135.0 , Li Ⅱ 199.28 , Ar ⅩⅤ 221.15 , He Ⅱ 256.317 , He Ⅱ 303.78 , Ar ⅩⅥ 353.853 及C Ⅳ 384.174 等。利用波长标定的结果对观测到的EUV光谱进行谱线识别,两套谱仪观测到的绝大多数谱线波长与美国技术标准局(National Institute of Standards and Technology, NIST)数据库的标准波长相差分别小于0.08和0.03 。开发了谱仪波长原位标定程序模块,将这个模块内嵌到谱仪数据实时上传的交互式软件中,实现了全谱数据以及特征谱线强度随时间演化数据的实时处理和上传。同时利用开发的全谱分析交互式软件以及EAST上的数据查看软件,最终实现了快速EUV谱仪自采数据的准实时分析、读取和查看。 展开更多
关键词 EAST托卡马克 极紫外波段(euv)光谱仪 波长标定 钨光谱
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等离子体尺寸对放电极紫外光源影响 被引量:4
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作者 赵永蓬 徐强 +1 位作者 李琦 王骐 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期2631-2635,共5页
计算了放电等离子体极紫外光刻光源中,不同等离子体长度条件下的收集效率,实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果,给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13.5nm(2... 计算了放电等离子体极紫外光刻光源中,不同等离子体长度条件下的收集效率,实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响。结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果,给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13.5nm(2%带宽)光功率。结果表明等离子体长度为3~6mm时毛细管光源中间焦点光功率和尺寸最优。 展开更多
关键词 极紫外光刻光源 毛细管放电 Xe等离子体 13 5 nm辐射 Z箍缩
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极紫外太阳望远镜分辨率的检测 被引量:2
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作者 高亮 杨林 +2 位作者 王晓光 尼启良 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1673-1676,共4页
极紫外太阳望远镜(EUT)作为高分辨率空间成像仪器,其检测水平的高低直接影响EUT成像质量。在完成EUT的装调工作之后,对其成像质量进行了检测。具体方法是将分辨率板置于平行光管的焦点处,由可见光照明该分辨率板,透射光经平行光管后成... 极紫外太阳望远镜(EUT)作为高分辨率空间成像仪器,其检测水平的高低直接影响EUT成像质量。在完成EUT的装调工作之后,对其成像质量进行了检测。具体方法是将分辨率板置于平行光管的焦点处,由可见光照明该分辨率板,透射光经平行光管后成为平行光束并充满待测EUT入瞳,再经EUT成像在CCD相机上,根据所得图像来判断待测望远镜分辨率。实验结果表明,EUT在可见光波段(λ=570 nm)的分辨率为1.22″,接近此波段的衍射极限(1.20″)。根据可见光检测结果估算出EUT工作波段的分辨率可以达到0.32″,能够满足设计要求。 展开更多
关键词 极紫外太阳望远镜 角分辨率 分辨率板
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