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基于矢量衍射的光学系统设计与偏振像差补偿
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作者 李英超 于文超 +4 位作者 王超 王凯凯 刘嘉楠 王祺 刘壮 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第4期839-849,共11页
含有数字微镜阵列(DMD)的长波红外偏振光学系统中产生的衍射现象会导致系统中偏振像差发生变化,从而造成长波红外偏振光学系统偏振测量精度下降。针对这一问题,提出一种含DMD的长波红外二次成像光学系统偏振像差分析及补偿方法。首先,... 含有数字微镜阵列(DMD)的长波红外偏振光学系统中产生的衍射现象会导致系统中偏振像差发生变化,从而造成长波红外偏振光学系统偏振测量精度下降。针对这一问题,提出一种含DMD的长波红外二次成像光学系统偏振像差分析及补偿方法。首先,基于长波红外偏振光学系统中波长与DMD像元尺寸的比值构建衍射与偏振像差特性传输模型,提出基于矢量衍射—偏振光琼斯矢量理论的偏振像差分析方法。其次,推导DMD的偏振像差和偏振度情况,确定DMD的最佳衍射级次、入射角与衍射效率,进而设计含DMD的二次成像长波红外偏振光学系统,得到DMD衍射特性对偏振像差的影响情况。最后,通过倾斜投影物镜、镜片镀膜及减小表面入射角来补偿光学系统的偏振像差,以解决衍射现象对长波红外偏振光学系统偏振像差产生的影响。仿真结果表明,系统全视场调制传递函数在截止频率处均接近衍射极限,最大畸变小于0.2%,成像质量良好,整体系统的二向衰减经补偿后减小到原来的1/12。该分析模型能够揭示衍射与偏振像差之间的关系,该补偿方法可以有效降低偏振像差。 展开更多
关键词 长波红外 偏振像差 光学系统设计 矢量衍射 数字微镜阵列
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基于DMD的数字全息显示及其再现像质增强 被引量:11
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作者 魏涛 朱建华 +2 位作者 陈立功 宋佼 杜惊雷 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期952-956,共5页
采用DMD作为空间光调制器构建了一套数字全息显示系统.分析了数字全息图光学再现中影响再现图像质量的因素,提出了一种采用频域滤波重建高条纹对比度滤波全息图来改善其光学再现图像质量的新方法·采用信噪比及图像亮度作为评价参量... 采用DMD作为空间光调制器构建了一套数字全息显示系统.分析了数字全息图光学再现中影响再现图像质量的因素,提出了一种采用频域滤波重建高条纹对比度滤波全息图来改善其光学再现图像质量的新方法·采用信噪比及图像亮度作为评价参量,对原始全息图和滤波全息图的数值再现像进行定量分析表明,滤波后全息图的再现像质量明显优于原始全息图的再现像·基于DMD数字全息显示系统的光学再现实验也验证了理论分析结果· 展开更多
关键词 数字全息术 频域滤波 数字微反射镜器件(dmd) 光学再现
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DMD衍射特性及其在红外场景仿真中的应用 被引量:7
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作者 何永强 唐德帅 +3 位作者 王龙 王群 华文深 胡文刚 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2013年第8期935-938,共4页
为了提高基于数字微镜器件(DMD)的红外场景仿真系统输出图像对比度,分析了DMD的结构及工作原理,利用其类似闪耀光栅的结构特点,建立仿真模型。利用傅里叶光学分析其衍射特性,并用MATLAB进行仿真。当单色平行光入射,通过改变输入光波波长... 为了提高基于数字微镜器件(DMD)的红外场景仿真系统输出图像对比度,分析了DMD的结构及工作原理,利用其类似闪耀光栅的结构特点,建立仿真模型。利用傅里叶光学分析其衍射特性,并用MATLAB进行仿真。当单色平行光入射,通过改变输入光波波长,分析衍射光强分布变化,得出入射光波波长与微镜片越相近,衍射效果越显著;通过改变入射角,分析衍射光强变化,得出在一定范围内改变入射角,衍射光强发生偏移,对输出图像影响发生变化。在红外场景仿真系统中,可以通过改变光源入射角提高输出图像的的对比度。 展开更多
关键词 数字微镜器件 红外场景仿真 衍射特性
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基于三维缺陷检测的DMD数字条纹投影光学系统设计 被引量:6
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作者 陈方涵 赵光宇 +1 位作者 蒋仕龙 彭文达 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期163-169,共7页
基于半导体行业中PCB焊膏印刷检测的实际应用,采用0.45 WXGA DMD芯片设计了数字条纹投影光学系统.以LED作为光源,结合透镜阵列照明DMD芯片;同时,为了减小投影三角关系造成的条纹周期不均匀性对检测结果的影响,采用双远心光路结构将DMD... 基于半导体行业中PCB焊膏印刷检测的实际应用,采用0.45 WXGA DMD芯片设计了数字条纹投影光学系统.以LED作为光源,结合透镜阵列照明DMD芯片;同时,为了减小投影三角关系造成的条纹周期不均匀性对检测结果的影响,采用双远心光路结构将DMD生成的条纹成像到待测表面,且适用的最小检测面积为1mm2.光学模拟结果表明,该数字投影系统在被投影表面上的照明均匀性为91%,投射条纹的对比度高于0.8,且条纹周期均匀,为实际应用与后续条纹分析提供了良好保障. 展开更多
关键词 光学投影 表面缺陷 LED照明 数字条纹投影 数字微镜元件 双远心结构
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基于DMD的动态红外场景仿真技术研究 被引量:8
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作者 唐德帅 何永强 +2 位作者 黄富瑜 王群 王国培 《红外技术》 CSCD 北大核心 2012年第8期476-481,共6页
相对于现有红外场景仿真技术而言,基于数字微镜器件(DMD)的动态红外场景仿真技术具有高图像分辨率、高光学效率、高亮度等优点,已逐渐成为红外目标成像仿真技术发展的主要方向。结合国内外研究现状,详细阐述了基于DMD的红外场景仿真技... 相对于现有红外场景仿真技术而言,基于数字微镜器件(DMD)的动态红外场景仿真技术具有高图像分辨率、高光学效率、高亮度等优点,已逐渐成为红外目标成像仿真技术发展的主要方向。结合国内外研究现状,详细阐述了基于DMD的红外场景仿真技术原理及其工作过程,探讨了灰度调制和转换效率计算问题,最后对几个关键技术问题进行了归纳。 展开更多
关键词 dmd 红外场景 仿真技术
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基于DMD的红外场景仿真系统光学引擎设计 被引量:9
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作者 蹇毅 潘兆鑫 于洋 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期375-379,共5页
针对DMD(Digital Micromirror Device)器件是针对可见光波段设计,直接用于红外波段会遇到问题,提出了一种远心投影光学引擎架构,包括投影光学系统和照明光学系统.该光学引擎采用柯勒远心照明架构,并引入一片场镜来分离投影和照明光束.... 针对DMD(Digital Micromirror Device)器件是针对可见光波段设计,直接用于红外波段会遇到问题,提出了一种远心投影光学引擎架构,包括投影光学系统和照明光学系统.该光学引擎采用柯勒远心照明架构,并引入一片场镜来分离投影和照明光束.这种光学引擎结构紧凑、照明均匀、光能利用率高. 展开更多
关键词 红外仿真 数字微镜阵列(dmd) 光学设计
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基于DMD的长波红外变焦投影系统设计 被引量:7
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作者 李卓 牟达 +1 位作者 吕世龙 周强 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第12期341-346,共6页
基于数字微镜器件(DMD)的红外景象模拟器在室内环境下通过模拟真实景物及其环境的红外辐射来测试红外成像系统的性能。为实现基于DMD的红外景象模拟器能够满足不同待测系统的视场角匹配,同时为避免投影系统与照明系统发生空间上的重叠... 基于数字微镜器件(DMD)的红外景象模拟器在室内环境下通过模拟真实景物及其环境的红外辐射来测试红外成像系统的性能。为实现基于DMD的红外景象模拟器能够满足不同待测系统的视场角匹配,同时为避免投影系统与照明系统发生空间上的重叠,设计了一套配有分光棱镜的红外变焦投影系统。该系统工作波段为8~12μm,F数为2.7,采用光学补偿变焦方式,可实现50/100/150/200 mm四档变焦。根据四组元系统负组补偿原理及其高斯光学公式对系统光学参数进行计算,选用与参数相近的初始结构进行处理及优化。设计结果表明,各焦距位置在20 lp/mm处的调制传递函数值均接近衍射极限,符合使用要求。 展开更多
关键词 光学设计 数字微镜器件(dmd) 光学补偿 红外变焦 投影系统
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利用DMD获取高动态范围图像技术 被引量:6
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作者 吕涛 付东辉 +1 位作者 陈小云 刘杰 《中国光学》 EI CAS CSCD 2015年第4期644-650,共7页
高动态范围的图像可用于同时探测具有较大对比度的亮暗目标,利用数字微镜(DMD)获取高动态范围图像是目前最为先进的一种技术。本文在分析DMD工作原理的基础上,设计了一种像素级的高动态范围图像获取系统,该系统由光学系统、机械系统、DM... 高动态范围的图像可用于同时探测具有较大对比度的亮暗目标,利用数字微镜(DMD)获取高动态范围图像是目前最为先进的一种技术。本文在分析DMD工作原理的基础上,设计了一种像素级的高动态范围图像获取系统,该系统由光学系统、机械系统、DMD像素级调光算法及成像单元组成。光学系统采用二次成像光路,其中第一次成像物镜采用像方远心光路,第二次成像的转置镜头采用放大倍率近似1∶1的准对称结构,机械系统采用光学元件的包边设计和定心车工艺,达到秒级的光学装配精度;DMD像素级调光算法采用搜索单个微镜像素在图像帧周期间的控制权值实现,成像单元可同时兼顾科学级12 bit s CMOS和8 bit CCD,设计完成的原理样机验证了系统设计的正确性,其获取的图像动态范围可达140 d B以上,远高于传统摄像机78 d B的动态范围。 展开更多
关键词 成像系统 高动态范围图像 数字微镜器件 调光
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双DMD红外双波段场景模拟器光机结构设计 被引量:7
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作者 潘越 徐熙平 乔杨 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期2994-3002,共9页
针对常规红外双波段场景模拟器多基于单数字微镜器件(DMD)设计、不能对两个波段进行差异化调制、只满足仿真测试的工作波段需求、实用性差的问题,提出了一种基于双DMD的双通道、共口径、两档变焦、结构紧凑的红外中/长波场景模拟器,并... 针对常规红外双波段场景模拟器多基于单数字微镜器件(DMD)设计、不能对两个波段进行差异化调制、只满足仿真测试的工作波段需求、实用性差的问题,提出了一种基于双DMD的双通道、共口径、两档变焦、结构紧凑的红外中/长波场景模拟器,并对投影系统、照明系统、双色合束镜等主要部分进行了详细的光机结构设计。光学引擎采用远心光路直接照明DMD靶面,利用空间立体式布局来避免不同光路间的干扰,且使用两块小型金属平面反射镜压缩照明光路以提高系统集成度;采用半运动学弹性夹持方式固定合束镜,重点计算了弹簧夹为得到最小预载应发生的偏转量及其在材料中形成的弯曲应力;利用MATLAB求解出两波段黑体的工作温度,并拟合出经光学系统后两波段辐射出射度与全红外波段黑体辐射出射度的比例关系ψ(T)曲线。测试结果表明,黑体温度为850 K时达到最高表观温度要求,中波图像对比度为250∶1,长波图像对比度为14∶1,满足现阶段红外中/长波场景模拟器的使用要求。 展开更多
关键词 半实物仿真 红外双波段 场景模拟 双数字微镜器件 光机结构
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双DMD变焦红外双波段场景模拟器光学引擎设计 被引量:2
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作者 潘越 徐熙平 乔杨 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期437-444,共8页
为仿真现实场景中目标和干扰的光谱分布差异,设计了一种基于双数字微镜器件(DMD,Digital Micro-mirror Device)的双通道、共口径、变焦光学引擎,包括投影光学系统和两套照明光学系统.光学引擎以红外中波和长波柯勒远心光路分别直接照明... 为仿真现实场景中目标和干扰的光谱分布差异,设计了一种基于双数字微镜器件(DMD,Digital Micro-mirror Device)的双通道、共口径、变焦光学引擎,包括投影光学系统和两套照明光学系统.光学引擎以红外中波和长波柯勒远心光路分别直接照明两DMD靶面,采用空间立体布局避免不同光路间干扰.设计结果表明:照明光学系统的照度均匀性优于94%;中波(3.7~4.8μm)和长波(8~12μm)内,变焦投影光学系统在10 1p/mm处的调制传递函数(MTF,Modulation Transfer Function)值分别优于0.7和0.4;系统畸变小于0.5%,满足使用要求. 展开更多
关键词 光学设计 红外仿真 数字微镜器件(dmd) 双波段 光学引擎
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基于DMD的红外双波段景象投影光学系统设计 被引量:12
11
作者 常虹 范志刚 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期838-840,共3页
描述了基于数字微镜器件(DMD)的动态红外景象投影系统的基本原理,设计了一种准直投影光学系统.此光学系统采用透射式,工作在(3~5)μm和(8~12)μm双红外波段,焦距为480mm,相对孔径为1:3.2,半视场角为1.3°,入瞳距... 描述了基于数字微镜器件(DMD)的动态红外景象投影系统的基本原理,设计了一种准直投影光学系统.此光学系统采用透射式,工作在(3~5)μm和(8~12)μm双红外波段,焦距为480mm,相对孔径为1:3.2,半视场角为1.3°,入瞳距为240mm.最后对设计结果进行了分析,给出系统的调制传递函数曲线,表明光学系统的像顶满足使用要求. 展开更多
关键词 数字微镜器件 红外景象投影 投影系统 光学设计
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DMD弹性片同基底之间粘着力计算 被引量:2
12
作者 田文超 贾建援 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期528-530,共3页
随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小 ,粘着力对微电子机械性能影响越来越大。本文建立了 DMD弹性片同基底之间纳米接触的物理模型 ;根据 Hamaker理论和赫兹理论 ,用连续方法推导出粘着力的力学模型 ;仿真出粘着力及变形面同接触间距的关... 随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小 ,粘着力对微电子机械性能影响越来越大。本文建立了 DMD弹性片同基底之间纳米接触的物理模型 ;根据 Hamaker理论和赫兹理论 ,用连续方法推导出粘着力的力学模型 ;仿真出粘着力及变形面同接触间距的关系 ;仿真结果同相关实验一致 ;从而为 DMD设计 ,加工及纳米碰撞。 展开更多
关键词 微电子机械 纳米接触 dmd 粘着力
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基于DMD的多元探测成像系统设计的几个问题 被引量:3
13
作者 丁晟 张智诠 《红外技术》 CSCD 北大核心 2014年第6期457-462,共6页
针对单像素相机压缩成像时对编码数据量和A/D转换精度要求较高的问题,对基于DMD的多元探测成像系统设计的几个问题进行了研究。介绍了"n对1"的多元探测压缩成像原理,该方法能在降低A/D转换精度要求的同时,由小阵列探测器实现... 针对单像素相机压缩成像时对编码数据量和A/D转换精度要求较高的问题,对基于DMD的多元探测成像系统设计的几个问题进行了研究。介绍了"n对1"的多元探测压缩成像原理,该方法能在降低A/D转换精度要求的同时,由小阵列探测器实现高分辨成像;考虑到压缩成像及DMD控制的特点,重点研究了多元探测CS成像的编码数据和采样数据精度,并由仿真实验验证了掩膜基本编码单位和A/D转换精度对重构图像质量的影响。 展开更多
关键词 压缩传感 数字微镜 多元探测器 A/D转换精度
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基于DMD的真三维显示系统及其三维成像引擎设计 被引量:3
14
作者 韩刚 耿征 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期124-129,共6页
结合在体元式三维显示(Volumetric 3D display)中比较有代表性的3种显示系统,在说明了体元式真三维显示系统的实现思路和方法的基础上,从应用的角度解析以DMD为核心构成的三维成像引擎在体元式真三维显示系统中的应用,并给出3种基于DMD... 结合在体元式三维显示(Volumetric 3D display)中比较有代表性的3种显示系统,在说明了体元式真三维显示系统的实现思路和方法的基础上,从应用的角度解析以DMD为核心构成的三维成像引擎在体元式真三维显示系统中的应用,并给出3种基于DMD的三维成像引擎架构,能够在不同层次上很好地满足真三维显示对海量数据实时、高速、精确处理的要求。 展开更多
关键词 真三维显示系统 数字微镜芯片组 真三维成像引擎
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基于DMD的静态场景仿真成像特性分析 被引量:1
15
作者 何永强 唐德帅 +1 位作者 耿达 元雄 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期812-817,共6页
由于数字微镜器件特殊的成像特点,使得场景仿真系统在工作过程中需要解决帧频匹配问题,否则会出现图像混淆现象。分析了DMD芯片实现脉宽调制的特点以及帧频匹配对仿真场景成像系统的影响。通过在仿真系统不同显示时间和探测器不同积分... 由于数字微镜器件特殊的成像特点,使得场景仿真系统在工作过程中需要解决帧频匹配问题,否则会出现图像混淆现象。分析了DMD芯片实现脉宽调制的特点以及帧频匹配对仿真场景成像系统的影响。通过在仿真系统不同显示时间和探测器不同积分时间情况下进行实验,得出了仿真系统进行静态场景仿真时帧频匹配需要满足的条件,即当满足探测器积分时间达到仿真系统显示时间的整数倍时,就可以避免图像混淆现象发生,而不需要外接同步触发信号。这种方法可以降低工程实现难度,对红外场景仿真系统的推广应用具有重要意义。 展开更多
关键词 帧频匹配 数字微镜器件 红外场景仿真
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基于DMD数字掩模的光引发表面ATRP制备聚乙二醇聚合物刷微图案 被引量:1
16
作者 赵海利 马玉录 +3 位作者 马康 刘嵩 谢林生 沙金 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期148-155,共8页
以基于数字微镜器件(DMD)的数字掩模技术为基础,以三(2-苯基吡啶)合铱(Ir(ppy)3)为光氧化还原催化剂,以低聚(乙二醇)甲基丙烯酸酯为单体,通过光引发表面原子转移自由基聚合(ATRP)在硅片表面实现了复杂图案形状聚乙二醇(PEG)聚合物刷微... 以基于数字微镜器件(DMD)的数字掩模技术为基础,以三(2-苯基吡啶)合铱(Ir(ppy)3)为光氧化还原催化剂,以低聚(乙二醇)甲基丙烯酸酯为单体,通过光引发表面原子转移自由基聚合(ATRP)在硅片表面实现了复杂图案形状聚乙二醇(PEG)聚合物刷微图案的快速制备(小于10 min)。原子力显微镜(AFM)和光学显微镜测试结果表明该方法能够实现最小10μm图形线宽的PEG聚合物刷微图案,且聚合物刷厚度和图形精度受到催化剂浓度、单体浓度的影响。综合考量聚合物刷厚度与图形精度,优选的催化剂浓度为1. 22 mmol/L,单体浓度为1. 22 mol/L。激光共聚焦显微镜表征异硫氰酸荧光素(FITC)染色牛血清蛋白在PEG聚合物刷微图案表面的吸附结果表明,所得PEG聚合物刷微图案能够在硅片表面实现不同区域的非特异性抗蛋白吸附反差。 展开更多
关键词 数字微镜器件 数字掩模 光引发表面原子转移自由基聚合 聚乙二醇聚合物刷微图案
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基于DMD微光刻的导光板模板的制作方法 被引量:3
17
作者 李晓建 朱冀梁 +2 位作者 申溯 周小红 陈林森 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期669-673,共5页
提出了一种基于数字微反射镜(DMD)微光刻的导光模板的制作方法。导光板的网点单元图形由DMD输入,经过缩微光学成像系统缩微后,在光刻胶干板上逐单元网点曝光,再经过显影、微电铸得到导光板模板,在PC薄板材上用微纳米压印制成导光板,厚... 提出了一种基于数字微反射镜(DMD)微光刻的导光模板的制作方法。导光板的网点单元图形由DMD输入,经过缩微光学成像系统缩微后,在光刻胶干板上逐单元网点曝光,再经过显影、微电铸得到导光板模板,在PC薄板材上用微纳米压印制成导光板,厚度仅为0.381 mm。采用自行研制的SVGwriting-DMD激光直写系统,图形的最小分辨率为2μm,DMD微光刻法无需掩膜版,可实现不同形状、大小、微结构的单元网点图形及网点的排布,便于大幅面的导光板模板的制作。 展开更多
关键词 激光直写 数字微反射镜 导光板 微光刻制
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基于DMD高分辨率激光直写系统设计与实现 被引量:5
18
作者 陆亚聪 陈林森 +2 位作者 魏国军 邵洁 周小红 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期46-47,共2页
提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形。此系统分辨... 提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形。此系统分辨率能够达到6000DPI,能够制作出高质量的光变图像,例如2D图像,2D/3D图像,3D图像以及各种精密的微刻图像和文字,并给出了实验结果。 展开更多
关键词 激光直写 数字微反射镜 光变图像
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基于DMD滤波器的波长间隔可调谐的双波长单纵模光纤环形激光器(英文) 被引量:3
19
作者 王涛 刘刚 +7 位作者 周素华 杨慧春 颜玢玢 陈笑 余重秀 桑新柱 肖峰 Alameh Kamal 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期694-699,共6页
提出一种稳定的波长间隔可调谐的双波长单纵模环形光纤激光器.在复合环形谐振腔中,采用由数字微镜装置(DMD)滤波器和两个不同长度的次级环形谐振腔组成的多重滤波的方式来选择激光器的工作模式.其中,DMD滤波器可以从掺铒光纤的自发增益... 提出一种稳定的波长间隔可调谐的双波长单纵模环形光纤激光器.在复合环形谐振腔中,采用由数字微镜装置(DMD)滤波器和两个不同长度的次级环形谐振腔组成的多重滤波的方式来选择激光器的工作模式.其中,DMD滤波器可以从掺铒光纤的自发增益谱中任意选择两个波长并将它们耦合进光路中;次级环形谐振腔作为模式滤波器,可以保证激光器输出单纵模激射;利用非线性光子晶体光纤(HN-PCF)的四波混频(FWM)效应,使激光器输出均衡平稳的双波长激射.在室温条件下,不用移动实验装置中的任何器件,通过将位置不同的光栅映射在DMD滤波器上来实现双波长间隔可调谐,调谐范围为0.165 nm到1.08 nm,调谐步长为0.055 nm. 展开更多
关键词 数字微镜装置滤波器 四波混频效应 单纵模
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自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘 被引量:6
20
作者 孙彦杰 刘华 +3 位作者 李金环 陆子凤 张莹 罗钧 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期65-73,共9页
数字微镜阵列扫描曝光图形在某些方向的边缘存在约一个像素的锯齿,对此设计自由曲面光学透镜,将其安装在距离数字微镜阵列窗口玻璃1mm附近,使微镜阵列成像线性错位,在保持原有线宽和光刻效率的情况下,平滑曝光图形边缘.理论分析了微镜... 数字微镜阵列扫描曝光图形在某些方向的边缘存在约一个像素的锯齿,对此设计自由曲面光学透镜,将其安装在距离数字微镜阵列窗口玻璃1mm附近,使微镜阵列成像线性错位,在保持原有线宽和光刻效率的情况下,平滑曝光图形边缘.理论分析了微镜阵列成像线性错位形式及其表达式.根据物像映射原理,用Matlab软件计算出自由曲面光学透镜面形初始数据,通过Zemax软件优化得到理想透镜模型,模拟了安装该透镜模型前后曝光图形效果.结果表明:在±2μm容差范围内,安装该透镜且曝光总能量为原来的0.9倍时,曝光图形的横线边缘锯齿由0.14个像素缩小至0~0.01个像素,斜线边缘锯齿由0.338个像素缩小至0.110~0.125个像素,且线长变化范围为-0.153~0.05个像素,线宽变化范围为-0.058~0.153个像素,变形范围不影响10~30μm pcb板的制作精度.该方法可同时提高能量利用率,降低光源成本. 展开更多
关键词 数字微镜阵列 扫描光刻 自由曲面光学透镜 成像线性错位 图形边缘 投影成像系统
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