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深浮雕连续微光学元件制作方法(英文) 被引量：6: 1; 作者曾红军陈波 +4 位作者郭履容杜春雷邱传凯王永茹潘丽《光电工程》 EI CAS CSCD 2000年第4期1-6,共6页; 提出一种连续深浮雕微光学元件的制作方法。在移动掩模的基础上经湿法显影获得光刻胶元件良好的面形 ,然后结合干法刻蚀将图形通过蚀速比放大的办法精密传递到石英片基上 ,从而使最终的元件达到设计的浮雕深度。作者对整个过程进行了考... 展开更多; 关键词微光学元件蚀刻连续深浮雕; 在线阅读下载PDF 职称材料

大变倍比中波红外变焦系统的小型化设计被引量：4: 2; 作者李岩张葆洪永丰《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期215-219,共5页; 基于中波红外320×240制冷型探测器,采用机械正组补偿方式,引入衍射光学元件(DOE),并采用折叠光路,实现大变倍比中波红外变焦光学系统的小型化设计。利用变焦原理和Zemax光学设计软件给出系统结构参数,并对设计结果进行像质评价,对... 展开更多; 关键词光学设计连续变焦衍射元件大变倍比小型化; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种控制明胶材料微浮雕结构线性蚀刻深度的新方法被引量：1: 3; 作者董小春杜春雷 +3 位作者陈波潘丽王永茹刘强《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期1006-1009,共4页; 提出了一种用于扩展固定配方明胶版蚀刻范围的新方法—预曝光蚀刻法 ( for-exposuremothod) ,并通过对光刻过程中各参量的控制 ,最终实现了用固定配方明胶版对多种不同线性深度微浮雕透镜列阵的蚀刻 ,该方法在蚀刻范围、蚀刻效果等方面... 展开更多; 关键词连续深浮雕微透镜列阵预曝光蚀刻法线性深度线性面形深浮雕光刻工艺明胶材料微光学元件; 在线阅读下载PDF 职称材料

红外中波连续变焦光学系统的设计被引量：11: 4; 作者薛慧李常伟《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期421-424,436,共5页; 设计了红外连续变焦光学系统,该系统具有镜片少、透过率高、连续变焦倍率大、波段广、相对孔径大等突出特点.二元面和非球面的引入,使系统在不同变焦结构时14 lp/mm处的MTF均大于0.6,很好地校正了系统的色差和轴外像差.该系统在仅使用4... 展开更多; 关键词光学设计变焦系统连续变焦红外衍射光学元件无热化; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于并行激光直写的连续深浮雕衍射透镜阵列研究: 5; 作者单明广郭黎利钟志《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2880-2884,共5页; 研究了一种用于并行激光直写的连续深浮雕衍射透镜阵列方法.该方法采用连续浮雕衍射透镜阵列替换传统并行激光直写中的物镜阵列,在兼顾系统分辨力基础上,克服了波带片等衍射透镜阵列衍射效率低的缺点;同时因采用深浮雕结构优化环带宽度... 展开更多; 关键词并行激光直写连续浮雕衍射透镜深浮雕衍射效率; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于双曲初始相位的GS改进算法被引量：3: 6; 作者修龙汪李文青 +2 位作者杨鹏王博伟张航《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期424-434,共11页; 针对Gerchberg-Saxton(GS)算法对初始相位敏感、散斑噪声难以消除的问题,提出一种改进的GS算法。引入双曲面初始相位形式,通过迭代寻优算法,获得最佳相位参数,再通过迭代傅里叶变换优化算法进行优化,并用爬山算法进行邻域寻优,最后得到... 展开更多; 关键词衍射光学元件光束整形 Gerchberg-Saxton算法连续曲面散斑抑制; 在线阅读下载PDF 职称材料

连续型衍射透镜激光直写技术研究被引量：1: 7; 作者刘宏开罗崇泰 +2 位作者王多书陈焘叶自煜《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z2期53-56,共4页; 研究了不同于台阶形式的具有连续浮雕结构的衍射聚光透镜的激光直写工艺。简要描述了光致抗蚀剂的曝光和显影,对激光直写工艺的机理和工艺过程进行阐述.利用 CLWS-300W/C 极坐标激光直写设备制作出了具有良好面形微结构和较高衍射效率... 展开更多; 关键词连续型衍射透镜光致抗蚀剂激光直写连续型浮雕结构微光学元件; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名深浮雕连续微光学元件制作方法(英文) 被引量：6: 1; 作者曾红军陈波郭履容杜春雷邱传凯王永茹潘丽; 机构中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川大学信息光学中心; 出处《光电工程》 EI CAS CSCD 2000年第4期1-6,共6页; 基金中国科学院应用研究与发展重点项目; 文摘提出一种连续深浮雕微光学元件的制作方法。在移动掩模的基础上经湿法显影获得光刻胶元件良好的面形 ,然后结合干法刻蚀将图形通过蚀速比放大的办法精密传递到石英片基上 ,从而使最终的元件达到设计的浮雕深度。作者对整个过程进行了考察和讨论 ,并以微棱镜为例进行了实验验证 ,为进一步制作大数值孔径连续表面微光学元件打下了技术基础。; 关键词微光学元件蚀刻连续深浮雕; Keywords Micro-optical elements Etching Deep continuous relief; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大变倍比中波红外变焦系统的小型化设计被引量：4: 2; 作者李岩张葆洪永丰; 机构中国科学院航空光学成像与测量重点实验室中国科学院研究生院; 出处《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期215-219,共5页; 基金国家973重点基础研究发展规划项目(2009CB72400603B) 中国科学院航空光学成像与测量重点实验室基金(Y2HC1SR126); 文摘基于中波红外320×240制冷型探测器,采用机械正组补偿方式,引入衍射光学元件(DOE),并采用折叠光路,实现大变倍比中波红外变焦光学系统的小型化设计。利用变焦原理和Zemax光学设计软件给出系统结构参数,并对设计结果进行像质评价,对凸轮曲线求解等。设计与分析结果表明:系统使用6片透镜在3.7μm～4.8μm波段实现了18mm～360mm连续变焦,满足100%冷光阑匹配,在空间频率16lp/mm处MTF值均大于0.5。该系统具有大变倍比、变焦轨迹平滑等特点,可应用于机载光电侦察设备中。; 关键词光学设计连续变焦衍射元件大变倍比小型化; Keywords optical design continuous zoom diffractive optical element （DOE） large zoom ra-tio miniaturization; 分类号 TN202 [电子电信—物理电子学] O216 [理学—概率论与数理统计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种控制明胶材料微浮雕结构线性蚀刻深度的新方法被引量：1: 3; 作者董小春杜春雷陈波潘丽王永茹刘强; 机构中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期1006-1009,共4页; 文摘提出了一种用于扩展固定配方明胶版蚀刻范围的新方法—预曝光蚀刻法 ( for-exposuremothod) ,并通过对光刻过程中各参量的控制 ,最终实现了用固定配方明胶版对多种不同线性深度微浮雕透镜列阵的蚀刻 ,该方法在蚀刻范围、蚀刻效果等方面都大大地优于传统的蚀刻方法 .本文通过对比预曝光蚀刻法与常用的几种蚀刻方法 ,详尽的阐述了预曝光蚀刻法的原理及优点 ,为深浮雕光刻工艺的进一步发展奠定了基础 .; 关键词连续深浮雕微透镜列阵预曝光蚀刻法线性深度线性面形深浮雕光刻工艺明胶材料微光学元件; Keywords Deeps continuous relief micro-optic element Forexposure method relief depth Profile; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学] TN405.98 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名红外中波连续变焦光学系统的设计被引量：11: 4; 作者薛慧李常伟; 机构南京电子技术研究所南京天文光学技术研究所; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期421-424,436,共5页; 基金南京电子技术研究所控课题预研基金~~; 文摘设计了红外连续变焦光学系统,该系统具有镜片少、透过率高、连续变焦倍率大、波段广、相对孔径大等突出特点.二元面和非球面的引入,使系统在不同变焦结构时14 lp/mm处的MTF均大于0.6,很好地校正了系统的色差和轴外像差.该系统在仅使用4片镜片的情况下,实现了8倍连续变焦,系统透过率高于80%.结果表明该变焦系统具有良好的成像质量.; 关键词光学设计变焦系统连续变焦红外衍射光学元件无热化; Keywords optical design zoom lenses continuous-zoom infrared diffractive optical element athermalization; 分类号 O436 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于并行激光直写的连续深浮雕衍射透镜阵列研究: 5; 作者单明广郭黎利钟志; 机构哈尔滨工程大学信息与通信工程学院哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2880-2884,共5页; 基金国家自然科学基金(60908026 60878028) +1 种基金哈尔滨市科技创新人才研究专项资金(2008RFQXG024)资助; 文摘研究了一种用于并行激光直写的连续深浮雕衍射透镜阵列方法.该方法采用连续浮雕衍射透镜阵列替换传统并行激光直写中的物镜阵列,在兼顾系统分辨力基础上,克服了波带片等衍射透镜阵列衍射效率低的缺点;同时因采用深浮雕结构优化环带宽度,可降低阵列的制作难度.针对并行激光直写系统阵列F/#小的特点,在建立连续深浮雕衍射透镜阵列非旁轴近似聚焦模型基础上,设计、制作和测试了波长为441.6nm,F/#为7.5的连续深浮雕衍射透镜阵阵列.测试结果表明:该阵列的衍射效率优于70%,远高于波带片阵列的40%.; 关键词并行激光直写连续浮雕衍射透镜深浮雕衍射效率; Keywords Maskless lithography diffractive optical elements with continuous relief Deep relief Diffraction efficiency; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于双曲初始相位的GS改进算法被引量：3: 6; 作者修龙汪李文青杨鹏王博伟张航; 机构浙江工业大学理学院光电子智能化技术研究所; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期424-434,共11页; 基金国家自然科学基金(No.62075197)。; 文摘针对Gerchberg-Saxton(GS)算法对初始相位敏感、散斑噪声难以消除的问题,提出一种改进的GS算法。引入双曲面初始相位形式,通过迭代寻优算法,获得最佳相位参数,再通过迭代傅里叶变换优化算法进行优化,并用爬山算法进行邻域寻优,最后得到最佳的衍射光学元件相位分布。以方形光斑为例,用改进的GS算法和传统GS算法分别进行了数值仿真和光学实验,结果表明,改进算法整形结果具有0.999的高衍射效率和0.0187的低均方根误差,相比于传统GS算法,具有更好的应用价值。此外,采用改进算法产生相位分布规律,通过相位展开算法可以将其展开成连续曲面型衍射器件,从而降低因量化引入的加工误差。; 关键词衍射光学元件光束整形 Gerchberg-Saxton算法连续曲面散斑抑制; Keywords diffractive optical element Beam shaping Gerchberg-Saxton algorithm continuous surface Speckle suppression; 分类号 O439 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名连续型衍射透镜激光直写技术研究被引量：1: 7; 作者刘宏开罗崇泰王多书陈焘叶自煜; 机构兰州物理研究所表面工程国家级重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z2期53-56,共4页; 文摘研究了不同于台阶形式的具有连续浮雕结构的衍射聚光透镜的激光直写工艺。简要描述了光致抗蚀剂的曝光和显影,对激光直写工艺的机理和工艺过程进行阐述.利用 CLWS-300W/C 极坐标激光直写设备制作出了具有良好面形微结构和较高衍射效率的连续型衍射透镜。研究表明,激光直写技术直写精度高,加工工艺灵活,利用计算机的控制,能够根据光学设计产生的浮雕分布数据制作复杂的、任意形状和外形的微型浮雕结构,非常适合于高精度微光学元件的加工制作.; 关键词连续型衍射透镜光致抗蚀剂激光直写连续型浮雕结构微光学元件; Keywords Continual diffractive lens Photoresist Laser direct writing Continual relief Micro-optical elements; 分类号 TN249 [电子电信—物理电子学] O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	深浮雕连续微光学元件制作方法(英文)	曾红军陈波郭履容杜春雷邱传凯王永茹潘丽	《光电工程》 EI CAS CSCD	2000	6	在线阅读下载PDF 职称材料
2	大变倍比中波红外变焦系统的小型化设计	李岩张葆洪永丰	《应用光学》 CAS CSCD 北大核心	2013	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	一种控制明胶材料微浮雕结构线性蚀刻深度的新方法	董小春杜春雷陈波潘丽王永茹刘强	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2001	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	红外中波连续变焦光学系统的设计	薛慧李常伟	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2012	11	在线阅读下载PDF 职称材料
5	用于并行激光直写的连续深浮雕衍射透镜阵列研究	单明广郭黎利钟志	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	基于双曲初始相位的GS改进算法	修龙汪李文青杨鹏王博伟张航	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2022	3	在线阅读下载PDF 职称材料
7	连续型衍射透镜激光直写技术研究	刘宏开罗崇泰王多书陈焘叶自煜	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2006	1	在线阅读下载PDF 职称材料