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Realization of high-efficiency AlGaN deep ultraviolet light-emitting diodes with polarization-induced doping of the p-AlGaN hole injection layer 被引量:1
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作者 曹一伟 吕全江 +4 位作者 杨天鹏 米亭亭 王小文 刘伟 刘军林 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第5期690-696,共7页
We investigate the polarization-induced doping in the gradient variation of Al composition in the pAl_(0.75)Ga_(0.25)N/Al_xGa_(1-x)N hole injection layer(HIL)for deep ultraviolet light-emitting diodes(DUV-LEDs)with an... We investigate the polarization-induced doping in the gradient variation of Al composition in the pAl_(0.75)Ga_(0.25)N/Al_xGa_(1-x)N hole injection layer(HIL)for deep ultraviolet light-emitting diodes(DUV-LEDs)with an ultrathin p-GaN(4 nm)ohmic contact layer capable of emitting 277 nm.The experimental results show that the external quantum efficiency(EQE)and wall plug efficiency(WPE)of the structure graded from 0.75 to 0.55 in the HIL reach 5.49%and 5.04%,which are improved significantly by 182%and 209%,respectively,compared with the structure graded from 0.75 to 0.45,exhibiting a tremendous improvement.Both theoretical speculations and simulation results support that the larger the difference between 0.75 and x in the HIL,the higher the hole concentration that should be induced;thus,the DUV-LED has a higher internal quantum efficiency(IQE).Meanwhile,as the value of x decreases,the absorption of the DUV light emitted from the active region by the HIL is enhanced,reducing the light extraction efficiency(LEE).The IQE and LEE together affect the EQE performance of DUV-LEDs.To trade off the contradiction between the enhanced IQE and decreased LEE caused by the decrease in Al composition,the Al composition in the HIL was optimized through theoretical calculations and experiments. 展开更多
关键词 deep ultraviolet light-emitting diode(DUV-LED) polarization-induced doping ALGAN light extraction efficiency
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High performance solar-blind deep ultraviolet photodetectors viaβ-phase(In_(0.09)Ga_(0.91))_(2)O_(3)single crystalline film
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作者 王必成 汤梓荧 +5 位作者 郑湖颖 王立胜 王亚琪 王润晨 丘志仁 朱海 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第9期559-565,共7页
We successfully fabricate a high performanceβ-phase(In_(0.09)Ga_(0.91))_(2)O_(3)single-crystalline film deep ultraviolet(DUV)solar-blind photodetector.The 2-inches high crystalline quality film is hetero-grown on the... We successfully fabricate a high performanceβ-phase(In_(0.09)Ga_(0.91))_(2)O_(3)single-crystalline film deep ultraviolet(DUV)solar-blind photodetector.The 2-inches high crystalline quality film is hetero-grown on the sapphire substrates using the plasma-assisted molecular beam epitaxy(PA-MBE).The smooth InGaO single crystalline film is used to construct the solar-blind DUV detector,which utilized an interdigitated Ti/Au electrode with a metal-semiconductor-metal structure.The device exhibits a low dark current of 40 pA(0 V),while its UV photon responsivity exceeds 450 A/W(50 V)at the peak wavelength of 232 nm with illumination intensity of 0.21 m W/cm^(2)and the UV/VIS rejection ratio(R232 nm/R380 nm)exceeds 4×10^(4).Furthermore,the devices demonstrate ultrafast transient characteristics for DUV signals,with fast-rising and fast-falling times of 80 ns and 420 ns,respectively.This excellent temporal dynamic behavior can be attributed to indium doping can adjust the electronic structure of Ga_(2)O_(3)alloys to enhance the performance of InGaO solar-blind detectors.Additionally,a two-dimensional DUV scanning image is captured using the InGaO photodetector as a sensor in an imaging system.Our results pave the way for future applications of two-dimensional array DUV photodetectors based on the large-scale InGaO heteroepitaxially grown alloy wide bandgap semiconductor films. 展开更多
关键词 deep ultraviolet FILM PHOTODETECTOR HETEROEPITAXY
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Feasibility study on optical vortex generation at Shanghai deep ultraviolet free-electron laser
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作者 邓海啸 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2014年第1期1-5,共5页
Coherent light with orbital angular momentum(OAM)is of great interest.Recently,OAM light generation by coupling a relativistic electron beam with a Gaussian mode laser pulse at the high harmonics of a helical undulato... Coherent light with orbital angular momentum(OAM)is of great interest.Recently,OAM light generation by coupling a relativistic electron beam with a Gaussian mode laser pulse at the high harmonics of a helical undulator has been demonstrated experimentally.In this paper,the possibility of delivering coherent OAM light at the 3^(rd)harmonic of the Gaussian mode seed laser is discussed for the Shanghai deep ultraviolet freeelectron laser(SDUV-FEL).Considerations are given on the experiment setup,the expected performance and the possible measurement method. 展开更多
关键词 自由电子激光 深紫外 涡流发生器 光学 上海 相对论电子束 高斯模式 轨道角动量
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A picosecond widely tunable deep-ultraviolet laser for angle-resolved photoemission spectroscopy 被引量:1
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作者 张丰丰 杨峰 +8 位作者 张申金 徐志 王志敏 许凤良 彭钦军 张景园 王晓洋 陈创天 许祖彦 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第6期410-412,共3页
We develop a picosecond widely tunable laser in a deep-ultraviolet region from 175 nm to 210 nm, generated by two stages of frequency doubling of a 80-MHz mode-locked picosecond Ti:sapphire laser. A β-BaB2O4 walk-of... We develop a picosecond widely tunable laser in a deep-ultraviolet region from 175 nm to 210 nm, generated by two stages of frequency doubling of a 80-MHz mode-locked picosecond Ti:sapphire laser. A β-BaB2O4 walk-off compensation configuration and a KBe2BO3F2 prism-coupled device are adopted for the generation of second harmonic and fourth harmonics, respectively. The highest power is 3.72 mW at 193 nm, and the fluctuation at 2.85 mW in 130 rain is less than ±2%. 展开更多
关键词 tunable laser deep ultraviolet walk-off compensation KBBF crystal
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Deep-ultraviolet surface plasmon resonance of Al and Al_(core)/Al_2O_(3shell) nanosphere dimers for surface-enhanced spectroscopy
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作者 慈雪婷 吴伯涛 +4 位作者 宋敏 陈耿旭 刘岩 武愕 曾和平 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第9期387-393,共7页
The localized surface plasmon resonance properties of Al and Alcore/Al2O3shell nanosphere dimers with Al and Al core nanosphere radii of 20 nm and Al2O3 shell of 2 nm in the deep-ultraviolet region have been studied u... The localized surface plasmon resonance properties of Al and Alcore/Al2O3shell nanosphere dimers with Al and Al core nanosphere radii of 20 nm and Al2O3 shell of 2 nm in the deep-ultraviolet region have been studied using the finite difference time domain method. The extinction spectra and the electric field distribution profiles of the two dimers for various gap distances between two individual nanospheres are compared with those of the corresponding monomers to reveal the extent of plasmon coupling. It is found that with the interparticle distance decreasing, a strong plasmon coupling between two Al or Alcore/Al2O3shell nanospheres is observed accompanied by a significant red shift in the extinction spectra at the parallel polarization direction of the incident light related to the dimer axis, while for the case of the perpendicular polarization direction, a weak plasmon coupling arises characterized by a slight blue shift in the extinction spectra. The electric field distribution profiles show that benefiting from the dielectric Al2O3 shell, the gap distance of Alcore/Al2O3shell nanosphere dimers can be tailored to 〈 1 nm scale and results in a very high electric field enhancement. The estimated surface-enhanced Raman scattering enhancement factors suggests that the Alcore/Al2O3shell nanosphere dimers with the gap of 〈 1 nm gave rise to an enhancement as high as 8.1 × 10^7 for interparticle gap = 0.5 nm. Our studies reveal that the Alcore/Al2O3shell nanosphere dimers may be promising substrates for surface-enhanced spectroscopy in the deep-ultraviolet region. 展开更多
关键词 localized surface plasmon resonance deep ultraviolet aluminum nanosphere dimers enhancedspectroscopy
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Deep-ultraviolet and visible dual-band photodetectors by integrating Chlorin e6 with Ga_(2)O_(3)
6
作者 Yue Zhao Jin-Hao Zang +5 位作者 Xun Yang Xue-Xia Chen Yan-Cheng Chen Kai-Yong Li Lin Dong Chong-Xin Shan 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第7期631-635,共5页
Gallium oxide(Ga_(2)O_(3))is a promising material for deep-ultraviolet(DUV)detection.In this work,Chlorin e6(Ce6)has been integrated with Ga_(2)O_(3)to achieve a DUV and visible dual-band photodetector,which can achie... Gallium oxide(Ga_(2)O_(3))is a promising material for deep-ultraviolet(DUV)detection.In this work,Chlorin e6(Ce6)has been integrated with Ga_(2)O_(3)to achieve a DUV and visible dual-band photodetector,which can achieve multiple target information and improve the recognition rate.The photodetector shows two separate response bands at 268 nm and 456 nm.The DUV response band has a responsivity of 9.63 A/W with a full width at half maximum(FWHM)of 54.5 nm;the visible response band has a responsivity of 1.17 A/W with an FWHM of 45.3 nm.This work may provide a simple way to design and fabricate photodetectors with dual-band response. 展开更多
关键词 deep ultraviolet VISIBLE dual-band photodetector Ga_(2)O_(3)
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ZnO-based deep-ultraviolet light-emitting devices
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作者 卢英杰 史志锋 +1 位作者 单崇新 申德振 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第4期50-58,共9页
Deep-ultraviolet(DUV) light-emitting devices(LEDs) have a variety of potential applications.Zinc-oxide-based materials,which have wide bandgap and large exciton binding energy,have potential applications in high-p... Deep-ultraviolet(DUV) light-emitting devices(LEDs) have a variety of potential applications.Zinc-oxide-based materials,which have wide bandgap and large exciton binding energy,have potential applications in high-performance DUV LEDs.To realize such optoelectronic devices,the modulation of the bandgap is required.This has been demonstrated by the developments of Mg_xZn_(1-x)O and Be_xZn_(1-x)O alloys for the larger bandgap materials.Many efforts have been made to obtain DUV LEDs,and promising successes have been achieved continuously.In this article,we review the recent progress of and problems encountered in the research of ZnO-based DUV LEDs. 展开更多
关键词 ZNO deep-ultraviolet light-emitting devices Mg_xZn_(1-x)O Be_xZn_(1-x)O
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基于锥形超晶格p-AlInGaN层的AlGaN基深紫外发光二极管性能优化
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作者 许愿 张傲翔 +3 位作者 张鹏飞 王芳 刘俊杰 刘玉怀 《原子与分子物理学报》 CAS 北大核心 2025年第1期101-107,共7页
为了解决AlGaN基深紫外(DUV)发光二极管(LED)中的严重电子溢出和低空穴注入的问题,本文提出了一种新型锥形超晶格p-AlInGaN层,它大幅改善了基于AlGaN的DUV LED的光电特性.与传统结构相比,所提出结构的输出功率提高了337.8%;同时它的内... 为了解决AlGaN基深紫外(DUV)发光二极管(LED)中的严重电子溢出和低空穴注入的问题,本文提出了一种新型锥形超晶格p-AlInGaN层,它大幅改善了基于AlGaN的DUV LED的光电特性.与传统结构相比,所提出结构的输出功率提高了337.8%;同时它的内部量子效率(IQE)也高达96%,并且没有效率下降现象.仿真计算结果表明,锥形超晶格p-AlInGaN层的引入明显增加了多量子阱(MQWs)内载流子的浓度并降低了量子阱(QWs)内的电场,导致了更高的辐射复合率,为改善DUV LED的性能提供了一个有吸引力的解决方案. 展开更多
关键词 深紫外发光二极管 ALINGAN 锥形超晶格 内部量子效率 辐射复合
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AlGaN基深紫外LED的可靠性研究及寿命预测 被引量:1
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作者 宫明峰 孙雪娇 +5 位作者 雷程 梁庭 李丰超 谢宇 李开心 刘乃鑫 《光电子技术》 CAS 2024年第2期106-115,共10页
围绕AlGaN基深紫外LED的外延生长、工艺制备等因素对深紫外LED可靠性的影响以及加速寿命预测等方面开展了系统的研究。探索了量子垒(Quantum Barrier,简称QB)中Al组分、电子阻挡层(Electron Barrier Layer,简称EBL)中Al组分、同尺寸芯... 围绕AlGaN基深紫外LED的外延生长、工艺制备等因素对深紫外LED可靠性的影响以及加速寿命预测等方面开展了系统的研究。探索了量子垒(Quantum Barrier,简称QB)中Al组分、电子阻挡层(Electron Barrier Layer,简称EBL)中Al组分、同尺寸芯片不同台面面积等因素对深紫外LED可靠性的影响,确定QB结构Al组分为74%,EBL结构Al组分为75%,台面面积为P68。对优化后的深紫外LED设计了热、电应力老化试验,结合阿伦纽斯模型、逆幂律模型、指数最小二乘拟合对深紫外LED的寿命进行预测。实验结果表明,随着电、热应力的增加,深紫外LED可靠性随之降低,阿伦纽斯模型预测寿命为5027 h,逆幂律模型预测寿命为5400 h,正常工作电流40 mA下,深紫外LED实际寿命为5582 h,逆幂律模型预测精度较阿伦纽斯模型提升了6.7%。本研究将为提高深紫外LED的可靠性和产品应用普及提供坚实的理论基础。 展开更多
关键词 ALGAN 深紫外发光二极管 可靠性 寿命预测
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基于分离多量子垒电子阻挡层的AlGaN基深紫外发光二极管
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作者 申国文 鲁麟 +3 位作者 许福军 吕琛 高文根 代广珍 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期1156-1162,共7页
通过分离多量子垒电子阻挡层(EBL)结构,实现了AlGaN基DUV-LED器件性能的提升。由仿真结果可得,与传统的块状EBL相比,采用分离多量子垒结构的EBL可以获得更高的空穴浓度和辐射复合速率。这得益于EBL中间的夹层形成了空穴加速区,使得空穴... 通过分离多量子垒电子阻挡层(EBL)结构,实现了AlGaN基DUV-LED器件性能的提升。由仿真结果可得,与传统的块状EBL相比,采用分离多量子垒结构的EBL可以获得更高的空穴浓度和辐射复合速率。这得益于EBL中间的夹层形成了空穴加速区,使得空穴在加速区获得能量,从而提高了空穴注入效率。另外,多量子势垒结构还能够通过提高电子势垒有效抑制电子泄漏,从而大幅度提升器件性能。综上所述,多量子垒电子阻挡层的引入可以显著提升AlGaN基DUV-LED器件的性能。 展开更多
关键词 ALGAN 深紫外发光二极管 电子阻挡层
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深紫外飞秒脉冲准分子激光放大同步特性研究
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作者 范军 杨礼昭 +4 位作者 游利兵 戎丹丹 王宏伟 寸超 方晓东 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期278-288,共11页
为了获得大能量的深紫外超短脉冲,将深紫外飞秒种子光通过ArF准分子放大器进行放大。通过对种子光信号和准分子放大器的荧光信号进行测量,在不同环境下,针对种子光信号与放大器放电信号之间的延时对脉冲单程放大特性的影响进行了研究。... 为了获得大能量的深紫外超短脉冲,将深紫外飞秒种子光通过ArF准分子放大器进行放大。通过对种子光信号和准分子放大器的荧光信号进行测量,在不同环境下,针对种子光信号与放大器放电信号之间的延时对脉冲单程放大特性的影响进行了研究。研究结果表明,放大系统实现了种子光与准分子放大器的低抖动精确同步,空气和氮气环境下脉冲能量最高分别为197.2μJ和312.6μJ,且氮气环境下脉冲展宽较空气平均降低99.2 fs。相较于空气环境,氮气环境可有效降低深紫外超短脉冲的能量衰减与脉冲展宽,且同步抖动对放大特性影响较小。 展开更多
关键词 激光技术 同步特性 准分子放大 深紫外飞秒激光
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有源区掺杂的AlGaN基深紫外激光二极管性能优化
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作者 尹孟爽 张傲翔 +4 位作者 张鹏飞 贾李亚 王芳 刘俊杰 刘玉怀 《原子与分子物理学报》 北大核心 2024年第3期170-175,共6页
为了改善深紫外激光二极管的性能,本文提出了有源区量子势垒n掺杂、p掺杂和n-p掺杂三种结构.利用Crosslight软件,对原始结构和有源区掺杂的三种结构进行仿真研究,比较四种结构的P-I特性曲线、V-I特性曲线、载流子浓度、辐射复合速率和... 为了改善深紫外激光二极管的性能,本文提出了有源区量子势垒n掺杂、p掺杂和n-p掺杂三种结构.利用Crosslight软件,对原始结构和有源区掺杂的三种结构进行仿真研究,比较四种结构的P-I特性曲线、V-I特性曲线、载流子浓度、辐射复合速率和能带图.仿真结果表明,有源区量子势垒n-p掺杂结构的性能更优,其阈值电压和阈值电流分别为4.40V和23.8mA;辐射复合速率达到1.64×10^(28)cm^(-3)/s;同一注入电流下电光转换效率达到42.1%,比原始结构增加了3.9%;改善了深紫外激光二极管的工作性能. 展开更多
关键词 ALGAN 有源区 量子势垒 掺杂 深紫外激光二极管
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LED深紫外线杀菌特性及其在草莓保鲜中的应用
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作者 尹国亮 王明明 +3 位作者 刘浩明 陈喆 陆乃彦 唐雪 《食品与发酵工业》 CAS CSCD 北大核心 2024年第22期76-82,共7页
LED深紫外灯作为替代传统汞灯的新兴力量,在未来食品杀菌方向有着广泛的应用前景。该研究首先以大肠杆菌为实验对象,获得合适的LED深紫外灯组合方案。其次通过所得到的LED深紫外灯组合分别对大肠杆菌、金黄色葡萄球菌、铜绿假单胞菌进... LED深紫外灯作为替代传统汞灯的新兴力量,在未来食品杀菌方向有着广泛的应用前景。该研究首先以大肠杆菌为实验对象,获得合适的LED深紫外灯组合方案。其次通过所得到的LED深紫外灯组合分别对大肠杆菌、金黄色葡萄球菌、铜绿假单胞菌进行不同时长的深紫外线杀菌处理,探究深紫外线照射时间对不同致病菌杀菌率的影响。最后以草莓为实验材料,通过定期调查其坏果率、腐败指数、失重率及感官变化,探究LED深紫外线照射对草莓保鲜的效果。研究发现染菌平板正上方与侧方各有3个LED深紫外灯时,杀菌效果最好。随着LED深紫外线处理时长的延长,杀菌率逐渐上升,且对LED深紫外线的敏感性:金黄色葡萄球菌<铜绿假单胞菌<大肠杆菌。草莓采摘后进行适当时长的LED深紫外线处理对控制病变、保障品质等具有良好的效果,LED深紫外线处理与密封冷藏对提高草莓保鲜效果具有协同作用。 展开更多
关键词 LED深紫外灯 紫外线杀菌 杀菌率 草莓保鲜
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掺铽氟化物晶体可见光激光器研究进展
14
作者 刘子琪 徐学森 +1 位作者 蒋艳梅 郭永瑞 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期1871-1882,共12页
掺铽氟化物晶体激光器由于可直接产生覆盖500~700 nm可见光波段激光输出,相对于传统变频可见光激光器,具有结构紧凑、转换效率高等优势,因此在科学研究和工业领域具有广阔的应用前景。当前,掺铽氟化物晶体可见光激光器发展的关键在于提... 掺铽氟化物晶体激光器由于可直接产生覆盖500~700 nm可见光波段激光输出,相对于传统变频可见光激光器,具有结构紧凑、转换效率高等优势,因此在科学研究和工业领域具有广阔的应用前景。当前,掺铽氟化物晶体可见光激光器发展的关键在于提升激光输出功率。本文首先从掺铽氟化物晶体的基质、晶体结构及光谱特性等方面展开介绍;然后,重点分析了基于倍频的光泵浦半导体激光器(2ω-OPSL)和可见激光二极管(LD)泵浦的掺铽氟化物晶体可见光激光器在连续激光、脉冲激光和深紫外激光输出方面的发展历程;最后,分析了掺铽氟化物晶体可见光激光器当前存在的问题并展望了该激光器的发展前景。 展开更多
关键词 掺铽氟化物晶体 可见光激光器 连续激光 脉冲激光 深紫外激光
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基于DCGAN的紫外像增强器视场瑕疵图片的生成
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作者 丁习文 程宏昌 +3 位作者 苏悦 闫磊 杨晔 党小刚 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第5期608-616,共9页
传统数据增强方法容易过拟合,为了解决紫外像增强器视场瑕疵图像数据集样本不平衡的问题,提升基于深度学习的条纹状瑕疵识别精度,提出了一种基于深度卷积生成对抗网络(Deep Convolution Generative Adversarial Network,DCGAN)的紫外像... 传统数据增强方法容易过拟合,为了解决紫外像增强器视场瑕疵图像数据集样本不平衡的问题,提升基于深度学习的条纹状瑕疵识别精度,提出了一种基于深度卷积生成对抗网络(Deep Convolution Generative Adversarial Network,DCGAN)的紫外像增强器视场瑕疵图像生成方法。通过对DCGAN进行损失函数的改进以及添加卷积注意力机制的优化,建立了紫外像增强器视场瑕疵图像生成模型,成功实现了紫外像增强器视场瑕疵图像的生成。随后,利用图像质量评价指标以及瑕疵检测模型来验证生成图像的有效性。实验结果显示,生成的紫外像增强器视场瑕疵图像可以满足使用需求,将生成图像融合到真实图像中再输入瑕疵检测模型可提高其检测精度。这一研究成果为三代微光像增强器和紫外像增强器的基于深度学习的视场瑕疵检测提供了技术支撑。 展开更多
关键词 紫外像增强器 视场瑕疵检测 深度学习 图像生成 对抗网络
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真空紫外到深紫外波段基底材料的光学特性 被引量:14
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作者 薛春荣 易葵 +2 位作者 魏朝阳 邵建达 范正修 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期287-290,共4页
研究了真空紫外到深紫外波段常用的基底材料,给出了常用基底材料的光学特性和在真空紫外波段的截止波长,测量了这些材料在120~500nm的透过率,给出了通过透过率计算弱吸收基底光学常数的计算方法,并用该方法得到了熔石英、氟化镁晶... 研究了真空紫外到深紫外波段常用的基底材料,给出了常用基底材料的光学特性和在真空紫外波段的截止波长,测量了这些材料在120~500nm的透过率,给出了通过透过率计算弱吸收基底光学常数的计算方法,并用该方法得到了熔石英、氟化镁晶体、氟化钙晶体、氟化锂晶体在120~500nm的折射率和消光系数,对这些常用基底的使用范围和特点进行了一定的比较和分析,并将所得基底的光学常数与公开发表的文献进行了比较,证明了所得结果的可靠性。 展开更多
关键词 深紫外 真空紫外 弱吸收基底 透过率 消光系数
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脉冲LD泵浦电光调Q深紫外激光器 被引量:5
17
作者 岱钦 史瑞新 +4 位作者 崔建丰 李漫 李业秋 乌日娜 姚俊 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期463-466,共4页
研制了千赫兹213 nm深紫外全固态激光器。激光器采用脉冲LD侧面泵浦方式和电光调Q技术,实现了10瓦级基频光的稳定输出。利用多次倍频技术,实现了稳定的213 nm深紫外激光输出。当LD泵浦电流为80 A时,213 nm激光输出的最大平均功率达到了1... 研制了千赫兹213 nm深紫外全固态激光器。激光器采用脉冲LD侧面泵浦方式和电光调Q技术,实现了10瓦级基频光的稳定输出。利用多次倍频技术,实现了稳定的213 nm深紫外激光输出。当LD泵浦电流为80 A时,213 nm激光输出的最大平均功率达到了151 m W,激光器重复频率为1 k Hz,激光脉冲宽度为10ns,功率不稳定度为3%。同时,对激光在非线性晶体中的偏振匹配和不同重复频率条件下的激光器运转特性进行了分析。 展开更多
关键词 深紫外 LD脉冲泵浦 全固态激光器
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基于157nm深紫外激光的蓝宝石基片微加工 被引量:4
18
作者 白帆 戴玉堂 +1 位作者 徐刚 崔建磊 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期636-639,共4页
为了探索157nm深紫外激光对蓝宝石材料的微加工技术,采用157nm激光微加工系统,对蓝宝石基片进行了扫描刻蚀和打孔加工,以研究激光工艺参量与刻蚀深度、表面形貌的关系,分析了157nm深紫外激光对蓝宝石材料的作用机理,并利用扫描刻蚀法在... 为了探索157nm深紫外激光对蓝宝石材料的微加工技术,采用157nm激光微加工系统,对蓝宝石基片进行了扫描刻蚀和打孔加工,以研究激光工艺参量与刻蚀深度、表面形貌的关系,分析了157nm深紫外激光对蓝宝石材料的作用机理,并利用扫描刻蚀法在蓝宝石基片上加工了一个2维图形。由实验结果可知,157nm深紫外激光作用于蓝宝石材料是一个光化学作用与光热作用并存的加工过程,适合扫描刻蚀的加工参量为能量密度3.2J/cm^2,重复频率10Hz~20Hz,扫描速率0.15mm/min;在能量密度2.5J/cm^2下的刻蚀率为0.039μm/pulse。结果表明,通过对激光重复频率和扫描速度的控制可实现蓝宝石材料的精细微加工。 展开更多
关键词 激光技术 157nm深紫外激光 扫描刻蚀 打孔 微加工 蓝宝石基片
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氟硼铍酸钾晶体及深紫外全固态激光 被引量:4
19
作者 王晓洋 刘丽娟 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期131-147,共17页
深紫外(DUV)全固态相干光源(λ<200 nm)在前沿科学、高技术等领域有着重要应用。将商业化的高功率可见/近红外全固态激光通过非线性光学晶体进行多级变频是实现该光源的有效途径。从双折射和色散两个方面阐述了满足深紫外非线性光学... 深紫外(DUV)全固态相干光源(λ<200 nm)在前沿科学、高技术等领域有着重要应用。将商业化的高功率可见/近红外全固态激光通过非线性光学晶体进行多级变频是实现该光源的有效途径。从双折射和色散两个方面阐述了满足深紫外非线性光学晶体的基本条件,介绍了深紫外非线性光学晶体的探索和实用化所需克服的技术困难;重点以氟硼铍酸钾(KBBF)和氟硼铍酸铷(RBBF)晶体为代表,介绍其发现过程、晶体生长技术、棱镜耦合器件技术、光学性质以及深紫外波段倍频能力;还详细介绍了相关的深紫外全固态激光的研究进展,以及该光源在先进科学仪器上的应用,尤其是在超高分辨率光电子能谱仪方面的应用和取得的重要成果。最后展望了深紫外非线性光学晶体及深紫外全固态激光技术的发展方向。 展开更多
关键词 非线性光学 氟硼铍酸钾深紫外非线性光学晶体 棱镜耦合器件 深紫外全固态激光
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利用倒梯矩形电子阻挡层降低深紫外激光二极管的电子泄露 被引量:3
20
作者 王瑶 王梦真 +2 位作者 魏士钦 王芳 刘玉怀 《原子与分子物理学报》 CAS 北大核心 2021年第6期108-112,共5页
为了有效降低深紫外激光二极管(DUV-LD)在有源区的电子泄露,提出了一种新颖的具有倒梯矩形的电子阻挡层(EBL)结构.通过使用Crosslight软件将矩形,梯矩形和倒梯矩形三种不同的结构进行仿真研究,比较三种结构器件的能带图、辐射复合率、... 为了有效降低深紫外激光二极管(DUV-LD)在有源区的电子泄露,提出了一种新颖的具有倒梯矩形的电子阻挡层(EBL)结构.通过使用Crosslight软件将矩形,梯矩形和倒梯矩形三种不同的结构进行仿真研究,比较三种结构器件的能带图、辐射复合率、电子空穴浓度、P-I以及V-I特性等,得出倒梯矩形EBL更能有效地抑制电子的泄露,从而改善了器件的光学和电学性能. 展开更多
关键词 深紫外激光二极管 ALGAN 倒梯矩形电子阻挡层 电子泄露
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