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直流电弧喷射等离子体炬阳极喷嘴积碳现象的研究
被引量：
3
1
作者
陈荣发
左敦稳
+3 位作者
李多生
相炳坤
赵礼刚
王珉
《航空材料学报》
EI
CAS
CSCD
2006年第1期20-24,共5页
采用高功率直流电弧等离子体喷射化学气相沉积工艺,制备了不同厚度的自支称金刚石厚膜。实验发现,等离子体炬阳极喷嘴积碳是沉积过程中最突出的问题之一。从理论和实验两个方面研究了阳极积碳产生的原因,并通过激光拉曼光谱分析了碳球...
采用高功率直流电弧等离子体喷射化学气相沉积工艺,制备了不同厚度的自支称金刚石厚膜。实验发现,等离子体炬阳极喷嘴积碳是沉积过程中最突出的问题之一。从理论和实验两个方面研究了阳极积碳产生的原因,并通过激光拉曼光谱分析了碳球的结构和成分。结果表明,碳球由金刚石层、混合层和最外面的石墨层构成。详细分析了甲烷浓度、冷却水温度、放电电弧的局部高温、阳极喷嘴的表面质量对积碳形成的影响,并提出了改进措施。
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关键词
阳极碳球
结构与成分
等离子炬
工艺改进
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职称材料
题名
直流电弧喷射等离子体炬阳极喷嘴积碳现象的研究
被引量：
3
1
作者
陈荣发
左敦稳
李多生
相炳坤
赵礼刚
王珉
机构
南京航空航天大学机电学院
出处
《航空材料学报》
EI
CAS
CSCD
2006年第1期20-24,共5页
基金
国家自然科学基金50275076
文摘
采用高功率直流电弧等离子体喷射化学气相沉积工艺,制备了不同厚度的自支称金刚石厚膜。实验发现,等离子体炬阳极喷嘴积碳是沉积过程中最突出的问题之一。从理论和实验两个方面研究了阳极积碳产生的原因,并通过激光拉曼光谱分析了碳球的结构和成分。结果表明,碳球由金刚石层、混合层和最外面的石墨层构成。详细分析了甲烷浓度、冷却水温度、放电电弧的局部高温、阳极喷嘴的表面质量对积碳形成的影响,并提出了改进措施。
关键词
阳极碳球
结构与成分
等离子炬
工艺改进
Keywords
carbon balls in anode nozzle
structure and composition
dc arc jet plasma torch
technology improvement
分类号
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
直流电弧喷射等离子体炬阳极喷嘴积碳现象的研究
陈荣发
左敦稳
李多生
相炳坤
赵礼刚
王珉
《航空材料学报》
EI
CAS
CSCD
2006
3
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参考文献
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