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多孔硅还原铜纳米复合薄膜的微结构研究
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作者 李幸福 杨晓辉 +1 位作者 贾敏 宋小燕 《华北水利水电学院学报》 2006年第1期100-102,共3页
利用扫描电镜(SEM)、XRD等分析手段对比研究了铁钝化多孔硅在沉积前与沉积后的结构变化特点以及沉积时间对所沉积的铜薄膜结构的影响.在浸渍一定时间后,铜/铁钝化多孔硅纳米复合薄膜继承了新鲜制备的铁钝化多孔硅的结构特点,同时,随着... 利用扫描电镜(SEM)、XRD等分析手段对比研究了铁钝化多孔硅在沉积前与沉积后的结构变化特点以及沉积时间对所沉积的铜薄膜结构的影响.在浸渍一定时间后,铜/铁钝化多孔硅纳米复合薄膜继承了新鲜制备的铁钝化多孔硅的结构特点,同时,随着反应时间的延长,铜的沉积量逐渐增加,铜纳米颗粒的平均晶粒尺寸逐渐长大. 展开更多
关键词 铁钝化多孔硅 规则阵列 浸渍镀膜技术 铁钝化多孔硅/铜纳米复合薄膜
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