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基于白光干涉测试技术的改进Carré相移算法 被引量:3
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作者 李慧鹏 谭朦曦 +2 位作者 朱伟伟 郑晓 李皎 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期62-67,共6页
为了减小白光相移干涉法测量物体微观形貌时产生的误差,对极值法的搜索路径进行优化后与Carré相移算法相结合,提出一种基于白光干涉测试技术的改进Carré相移算法.该算法减小了光源扰动及电荷耦合元件散粒噪声带来的影响,且对... 为了减小白光相移干涉法测量物体微观形貌时产生的误差,对极值法的搜索路径进行优化后与Carré相移算法相结合,提出一种基于白光干涉测试技术的改进Carré相移算法.该算法减小了光源扰动及电荷耦合元件散粒噪声带来的影响,且对相移器的线性误差不敏感,免去了相位解包裹过程,提高了运算效率.采用单刻线样块对扫描步距进行校准实现了光源中心波长的在线修正,减小了由于光源特性及环境扰动误差带来的影响.采用不同算法对标准粗糙度样块进行三维形貌恢复以及表面粗糙度的重复性测量实验,结果表明:该算法对表面粗糙度的测量结果较传统白光干涉算法准确度提高,测量重复性优于1%. 展开更多
关键词 白光干涉 中心波长 线性误差 carré相移算法 相位解包裹
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基于过谐振调频扩展移相控制的CLLC谐振变换器电流优化策略
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作者 王翌琛 王丰 +1 位作者 卓放 于克凡 《电力系统自动化》 北大核心 2025年第3期178-188,共11页
电容-电感-电感-电容(CLLC)谐振变换器是一种运行效率高、软开关特性好,适用于直流电力系统的隔离型双向DC/DC变换器。然而,谐振变换器采用的传统调频控制仅包含一个控制变量,难以同时维持变换器输出电压稳定并兼顾谐振电流优化。为了提... 电容-电感-电感-电容(CLLC)谐振变换器是一种运行效率高、软开关特性好,适用于直流电力系统的隔离型双向DC/DC变换器。然而,谐振变换器采用的传统调频控制仅包含一个控制变量,难以同时维持变换器输出电压稳定并兼顾谐振电流优化。为了提升CLLC谐振变换器的整体运行效率,提出了一种基于粒子群优化算法的过谐振调频扩展移相控制方法。此控制方法在调频控制的基础上引入了2个移相型控制变量,增加了CLLC谐振变换器的控制自由度。同时,基于精准时域模型并使用粒子群优化算法,可以明确变换器采用过谐振调频扩展移相控制方法时的最优工作点,从而有效地提升变换器不同工况下的运行效率。最后,通过一台2kW级实验样机验证了所提电流优化方法的可行性。 展开更多
关键词 直流电力系统 谐振变换器 粒子群优化算法 过谐振调频扩展移相控制 谐振电流优化 时域模型
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基于SQP算法的双有源桥变换器的电流有效值优化控制策略
3
作者 吴凡煜 刘沈全 +2 位作者 龚厉川 曾德辉 王钢 《广东电力》 北大核心 2025年第1期83-90,共8页
双有源桥变换器在输入、输出电压不匹配时,内部会产生可观的回流功率,并伴随着变压器原、副边电流的显著增加,导致效率下降。对此,基于双重移相调制方法,研究双有源桥在电压不匹配情况下的传输效率问题,针对复杂的非线性电流有效值数学... 双有源桥变换器在输入、输出电压不匹配时,内部会产生可观的回流功率,并伴随着变压器原、副边电流的显著增加,导致效率下降。对此,基于双重移相调制方法,研究双有源桥在电压不匹配情况下的传输效率问题,针对复杂的非线性电流有效值数学模型,提出基于序列二次规划(sequential quadratic programming,SQP)算法的双有源桥变换器电感电流有效值优化方法,可通过降低电感电流有效值提升双有源桥的运行效率。首先,建立双有源桥变换器关于电感电流有效值的数学模型;接着,分析双重移相下的软开关特性,并结合双有源桥的边界工况及拓扑参数,明确约束条件,基于SQP算法求解电感电流有效值最低时的移相比组合参数;最后,在Simulink上搭建仿真算例,在电压几乎匹配和电压严重不匹配的工况下完成仿真实验并与其他控制策略进行对比。实验结果表明:相比于单移相调制,电流有效值可降低11.5%;相比于电流应力、回流功率的优化,电流有效值优化分别可提升0.76、0.92百分点的效率。这验证了理论分析的正确性与所提策略的有效性。 展开更多
关键词 双有源桥 电流有效值 序列二次规划算法 软开关 双重移相
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改进矢量波数变换相移联合多道面波频散曲线提取方法研究
4
作者 邹瑞杰 李红星 +3 位作者 任弘利 戴田宇 胡书凡 宁玲 《东华理工大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第4期345-354,共10页
瑞雷面波在非均匀介质中的频散特性为获得地下空间地质信息提供了关键信息。然而,传统的频散曲线提取方法存在一定的局限性,因此需要改进多道面波频散曲线的提取方法。笔者提出一种改进矢量波数变换相移联合多道面波频散曲线提取方法。... 瑞雷面波在非均匀介质中的频散特性为获得地下空间地质信息提供了关键信息。然而,传统的频散曲线提取方法存在一定的局限性,因此需要改进多道面波频散曲线的提取方法。笔者提出一种改进矢量波数变换相移联合多道面波频散曲线提取方法。首先,对矢量波数变换法进行了改进,消除了震源影响、由空间假频和双向速度扫描引起的频散能量谱“交叉”伪影,能够更好地提取到高阶的频散曲线。其次,选取改进矢量波数变换法和相移法计算的频散能量谱对应元素的最大值,生成新的频散能量谱,从而有效结合改进矢量波数变换法对高阶和相移法对基阶频散曲线的有效提取。模拟与实测地震记录的频散曲线提取结果都表明改进矢量波数变换相移联合算法可以同时高质量提取多道面波地震记录中的基阶和高阶频散曲线。该方法兼顾了相移法和改进矢量波数变换法的优势,既补充了基阶模式低频段的信息,提取频散能量较丰富,又保证了高阶模式得到清晰且有效的分辨,取得了理想的提取效果。 展开更多
关键词 多道面波分析 频散曲线 改进矢量波数变换相移联合算法
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一种单元不平衡下CHB-MLIs载波移相调制策略移相角计算方法
5
作者 赖纪东 聂照伟 +3 位作者 董玮 苏建徽 陈庆 吕振华 《太阳能学报》 北大核心 2025年第5期338-344,共7页
针对单元不平衡下级联H桥多电平逆变器(CHB-MLIs)载波移相PWM(PS-PWM)调制策略移相角难以求解的问题,提出一种变移相角载波移相调制策略移相角通用计算方法。针对多单元CHB-MLIs变移相角PS-PWM调制策略中非线性超越方程组无法用解析方... 针对单元不平衡下级联H桥多电平逆变器(CHB-MLIs)载波移相PWM(PS-PWM)调制策略移相角难以求解的问题,提出一种变移相角载波移相调制策略移相角通用计算方法。针对多单元CHB-MLIs变移相角PS-PWM调制策略中非线性超越方程组无法用解析方法求解的问题,提出一种基于BP神经网络(BPNN)与遗传算法(GA)的混合算法(BPNN-GA)进行求解。利用BPNN预处理单元直流侧电压与调制度,映射得到一组移相角模糊解,再将此模糊解作为GA的初始种群进行迭代寻优,得到载波移相角。最后,基于10单元CHB-MLIs对所提方法进行仿真验证,结果表明,单元不平衡情况下采用所提载波移相角计算方法可有效消除输出电压边带谐波。 展开更多
关键词 级联H桥多电平逆变器 载波移相调制策略 BP神经网络 遗传算法 单元不平衡 谐波
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基于改进ICP算法的大尺寸焊接构件三维形貌测量
6
作者 蔡引娣 王宇轩 +2 位作者 牛超 朱祥龙 康仁科 《光学精密工程》 北大核心 2025年第9期1396-1406,共11页
为了实现大尺寸构件三维形貌的高精度、高效率测量,提出基于改进迭代最近点算法的大尺寸构件三维形貌测量方法。针对双目结构光系统在实际测量中易受系统误差影响、相位展开不准确等问题,提出互补正反格雷相移结构光编码方法。该方法采... 为了实现大尺寸构件三维形貌的高精度、高效率测量,提出基于改进迭代最近点算法的大尺寸构件三维形貌测量方法。针对双目结构光系统在实际测量中易受系统误差影响、相位展开不准确等问题,提出互补正反格雷相移结构光编码方法。该方法采用鲁棒像素分类法对正反格雷码进行二值化,采用改进的高斯滤波算法对相移码图像进行滤波处理。为了提高点云拼接算法的精度,提出改进迭代最近点云拼接算法。该算法对相邻视角公共区域点云进行提取和法向量筛选,避免非公共区域点云对拼接效果的影响,并将列文伯格优化算法引入迭代最近点云拼接算法中,解决大尺寸构件三维形貌测量钟点云拼接算法对点云初始位置敏感、容易受到噪声干扰等问题。改进迭代最近点云拼接算法相较传统迭代最近点云拼接算法精度提升55%,拼接效率提升数倍,迭代次数减少61%。实验结果表明,在被测物体距离相机镜头测量距离700 mm,相机夹角为65°的条件下,大尺寸构件三维形貌测量系统的长度测量精度优于450μm/m,相邻视角点云拼接计算用时约25 ms,满足大尺寸焊接构件三维形貌测量的精度和效率要求。 展开更多
关键词 三维形貌测量 双目结构光 鲁棒像素分类法 改进迭代最近点 正反互补格雷码
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基于序列二次规划算法的双有源桥变换器优化控制策略 被引量:1
7
作者 谭兴国 赵鑫 张飞祥 《电力系统及其自动化学报》 CSCD 北大核心 2024年第10期40-48,共9页
针对双有源桥变换器在充电领域电路损耗大、传输效率低的问题,提出一种结合序列二次规划算法与双重移相控制实现回流功率优化的控制策略。首先,建立双有源桥变换器在双重移相控制时以回流功率最小值为目标函数的二次规划问题数学模型;然... 针对双有源桥变换器在充电领域电路损耗大、传输效率低的问题,提出一种结合序列二次规划算法与双重移相控制实现回流功率优化的控制策略。首先,建立双有源桥变换器在双重移相控制时以回流功率最小值为目标函数的二次规划问题数学模型;然后,提出一种采用序列二次规划算法求解上述多约束、非线性的数学模型,在算法中输入目标、约束函数的雅可比矩阵和变换器的相关参数,通过迭代求解出满足双有源桥电路在双重移相控制下最优工况的目标参数;最后,通过仿真验证所提控制策略的有效性。 展开更多
关键词 双有源桥变换器 传输效率 双重移相控制 回流功率 序列二次规划算法
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基于主成分分析和VU分解法的两步随机相移算法
8
作者 张宇 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期227-237,共11页
为了平衡相位计算的精度和速度,大量的两步随机相移算法发展起来。提出了一种基于主成分分析和VU分解法的快速、高精度两步随机相移算法。首先,采用两步主成分分析法对经过滤波的两幅相移干涉图进行计算求出迭代初始相位;然后,利用没有... 为了平衡相位计算的精度和速度,大量的两步随机相移算法发展起来。提出了一种基于主成分分析和VU分解法的快速、高精度两步随机相移算法。首先,采用两步主成分分析法对经过滤波的两幅相移干涉图进行计算求出迭代初始相位;然后,利用没有滤波的两幅相移干涉图进行VU分解、迭代求出最终相位。通过模拟和实验结果对比表明:与四种性能良好的两步随机相移算法相比,对于不同的条纹类型、噪声、相移值及条纹数量,提出的算法综合性能最好,其精度最高,有效相移范围和有效条纹数量范围最大,当干涉图像素数为401 pixel×401 pixel时,提出的算法仅比格兰-施密特正交化法和两步主成分分析法多花费0.035 s。在理想情况下,提出的算法可以得到完全正确的结果。如果需要得到较高精度,最好能够提前抑制噪声,同时设置相移值远离0和π,条纹数量大于2。主成分分析和VU分解法无需滤波,花费近似非迭代算法的时间获得迭代算法的精度,其打破了迭代算法花费时间较多的限制,适合高精度光学在线检测,有广泛的发展前景。 展开更多
关键词 测量 干涉 相移算法 迭代算法 主成分分析
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基于电路分解模型的三有源桥电流有效值优化控制策略 被引量:1
9
作者 兰征 王雪丽 +2 位作者 余雪萍 邹彬 刘贝 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第20期6488-6501,共14页
三有源桥DC-DC变换器(TAB)作为可再生能源、电动汽车和储能等灵活接入直流电网的有效解决方案,在直流电网中应用前景十分广阔。该文针对TAB在单移相控制(SPS)下电感电流有效值较大,而移相加脉宽控制(PS-PWM)下数学模型复杂难以求解的问... 三有源桥DC-DC变换器(TAB)作为可再生能源、电动汽车和储能等灵活接入直流电网的有效解决方案,在直流电网中应用前景十分广阔。该文针对TAB在单移相控制(SPS)下电感电流有效值较大,而移相加脉宽控制(PS-PWM)下数学模型复杂难以求解的问题,提出一种基于电路分解模型的TAB电感电流有效值优化控制策略。首先分析TAB在PS-PWM下的工作原理,建立PS-PWM下的电路分解模型,得出不同工作模式下各端口功率和电感电流有效值的统一表达式,然后,构建TAB各端口的电感电流有效值二次方和的优化数学模型,并采用遗传算法求解最优移相角。仿真和实验结果表明,所提分析方法和控制策略能够降低模型的复杂度及计算难度,有效减小各端口的电感电流有效值二次方和,并提高系统效率。 展开更多
关键词 三有源桥 电流有效值 遗传算法 移相加脉宽调制 DC-DC 变换器
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分数阶移相全桥变换器的建模与优化控制
10
作者 陈新帅 刘玉芝 +1 位作者 杨鹏 李倩 《广西大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2024年第1期97-111,共15页
基于电路中的分抗元件具有非整数阶特性,利用分数阶微积分理论和状态空间平均法,对分数阶移相全桥变换器进行建模与优化控制分析。建立了移相全桥变换器的分数阶状态平均方程,研究电感和电容的分数阶特性对移相全桥变换器频域特性的影... 基于电路中的分抗元件具有非整数阶特性,利用分数阶微积分理论和状态空间平均法,对分数阶移相全桥变换器进行建模与优化控制分析。建立了移相全桥变换器的分数阶状态平均方程,研究电感和电容的分数阶特性对移相全桥变换器频域特性的影响。结合遗传算法的优点,得到满足误差绝对值积分的最优分数阶比例积分(PIλ)控制器参数与最优整数阶比例积分(PI)控制器参数,并搭建了分数阶移相全桥变换器的电路仿真模型与不同控制器的仿真模型,进行了不同控制器、不同工况和负载变化下电路仿真结果的比较。结果表明:相较于整数阶PI控制器,分数阶PIλ控制器能够提供更优的控制性能,使分数阶移相全桥变换器具有更快的响应速度、更好的稳态性能和更强的鲁棒性。 展开更多
关键词 分数阶移相全桥变换器 遗传算法 最优控制 分数阶比例积分控制
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基于BP神经网络的长距离分布式光纤传感高空间分辨率定位算法 被引量:1
11
作者 金琢然 《现代电子技术》 北大核心 2024年第1期36-43,共8页
为解决基于数字编码移相-积分测距系统中,因发送序列与本地序列之间的真实相位差非1 bit码长的整数倍而影响测量结果准确性这一问题,文中提出一种基于BP神经网络长距离分布式光纤传感高空间分辨率定位算法。该算法根据BP神经网络判断1 ... 为解决基于数字编码移相-积分测距系统中,因发送序列与本地序列之间的真实相位差非1 bit码长的整数倍而影响测量结果准确性这一问题,文中提出一种基于BP神经网络长距离分布式光纤传感高空间分辨率定位算法。该算法根据BP神经网络判断1 bit内细分程度并与传统算法相结合实现动态测距。实验结果表明,基于BP神经网络长距离分布式光纤传感高空间分辨率定位算法的长距离定位精度平均相对误差从0.23降低到0.035,弥补了空间分辨率与准确率受数字码本身局限性的问题,为大规模基础设施的长距离、高精度实时监测提供了可能。 展开更多
关键词 分布式光纤传感 移相-积分测距 光时域反射 BP神经网络 空间分辨率 定位测距算法
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基于自适应原理的改进型FBD谐波电流检测算法 被引量:29
12
作者 施烨 吴在军 +2 位作者 窦晓波 胡敏强 赵波 《电网技术》 EI CSCD 北大核心 2014年第4期1051-1058,共8页
FBD检测法是一种有效的电网谐波电流检测方法,但受限于低通滤波器,传统FBD谐波检测法很难兼顾响应速度和检测精度。构建了一种基于自适应原理的新型FBD谐波检测法,利用改进后的最小均方(least mean square,LMS)算法替代原有低通滤波器,... FBD检测法是一种有效的电网谐波电流检测方法,但受限于低通滤波器,传统FBD谐波检测法很难兼顾响应速度和检测精度。构建了一种基于自适应原理的新型FBD谐波检测法,利用改进后的最小均方(least mean square,LMS)算法替代原有低通滤波器,使算法准确快速地检测出基波正序电流。在所提算法的基础上增加移相正反馈环节,增强了算法在负载电流突变时的动态响应特性。Matlab/Simulink环境下的仿真结果和实验室测试结果证明了所提改进算法的可行性和有效性。 展开更多
关键词 谐波检测 FBD法 自适应算法 移相正反馈
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基于光强自标定移相算法检测光学面形 被引量:8
13
作者 刘江 苗二龙 +2 位作者 曲艺 隋永新 杨怀江 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期2007-2013,共7页
考虑菲佐型波长移相干涉仪中波长可调谐激光器光强与调节电压之间的关系会对相位计算精度造成影响,本文提出了一种基于光强自标定的波长移相算法。首先,分析了波长可调谐激光器调节电压与输出光强之间的关系,建立了数学模型;然后,依据... 考虑菲佐型波长移相干涉仪中波长可调谐激光器光强与调节电压之间的关系会对相位计算精度造成影响,本文提出了一种基于光强自标定的波长移相算法。首先,分析了波长可调谐激光器调节电压与输出光强之间的关系,建立了数学模型;然后,依据最小二乘判据,推导出了波长移相干涉仪的光强自标定移相算法。最后,实施了仿真实验,通过计算机生成背景光强具有一定变化的12幅干涉图,利用所提出的算法进行了相位恢复。结果表明,提出的算法可以很好地免疫激光器的光强变化,实现高精度的相位恢复。对口径为100mm的平面镜的测量结果显示RMS为0.005λ,PV为0.073λ。与ZYGO干涉仪测量结果的比较显示,两次测量面形的偏差RMS为0.0014λ,PV为0.022λ。得到的结果证明了算法的可行性及在菲佐型波长移相干涉仪中的实用性。 展开更多
关键词 菲佐干涉仪 波长移相 移相算法 光强自标定 面形检测
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基于扩展平均的多步相移算法及误差抑制特性比较 被引量:8
14
作者 高芬 蒋庄德 +1 位作者 李兵 田爱玲 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期147-154,共8页
为满足移相干涉测量中纳米甚至亚纳米高准确度检测要求,需采用对误差敏感度更低的相移算法.基于扩展平均技术,在传统4步和3步算法的基础上分别推导了A类和B类5~13步相移算法公式,以5、6、7和13步算法为例,通过仿真及数值计算,比较了两... 为满足移相干涉测量中纳米甚至亚纳米高准确度检测要求,需采用对误差敏感度更低的相移算法.基于扩展平均技术,在传统4步和3步算法的基础上分别推导了A类和B类5~13步相移算法公式,以5、6、7和13步算法为例,通过仿真及数值计算,比较了两类算法对相移器移相误差及CCD非线性误差的抑制特性.结果表明:同类算法下,步数越多的算法,对这两项误差的抑制效果越好,但达到一定步数后对测量的影响可以忽略;B类算法具有增强的移相误差抑制能力,在相移不准情况下可优先选用B类算法;A类算法对CCD非线性误差几乎完全免疫,而B类算法受一定CCD非线性误差影响,但对大多数高准确度CCD来说,其在常规检测中的影响可以忽略;由相移噪音引入的随机性测量误差的极大值要略大于相移噪音本身,且不同算法对相移噪音的抑制效果差别不大,因此相移噪音对测量的影响不可忽略.文中给出了不同误差影响下各算法引入波面检测误差的比较数据,研究结果可为实际干涉测量中最适相移算法的使用和选用提供理论指导及数据参考. 展开更多
关键词 移相干涉测量 扩展平均技术 相移算法 波面检测误差 误差分析
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相移阴影莫尔基于迭代LSM拟合 被引量:4
15
作者 杜虎兵 赵宏 +3 位作者 李兵 李正伟 郑亮 冯磊磊 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期978-982,共5页
相移阴影莫尔技术相位高度存在着非线性关系,无法在全场获得均匀相移,因而致使经典的相移算法不能得到精确解.对此,提出了一种基于最小方差迭代的相移阴影莫尔技术,该技术通过垂直光栅面等间距移动光栅来产生相移,但光栅移动距离可不采... 相移阴影莫尔技术相位高度存在着非线性关系,无法在全场获得均匀相移,因而致使经典的相移算法不能得到精确解.对此,提出了一种基于最小方差迭代的相移阴影莫尔技术,该技术通过垂直光栅面等间距移动光栅来产生相移,但光栅移动距离可不采用固定值,所以相移过程灵活;使用在高度解调过程中确定的逐点相移增量来抽取精确的测量相位,实现了相移阴影莫尔技术中固有的相位高度非线性误差补偿.结果表明,该方法可通过干涉图计算光栅的移动量,具有相移器的自标定特性. 展开更多
关键词 算法 阴影莫尔 相位 相移
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波长移相干涉仪的算法研究(英文) 被引量:7
16
作者 于瀛洁 张本好 焦云芳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第6期560-566,共7页
叙述了波长移相干涉仪的基本原理,分析了其特点,对传统硬件移相干涉仪和波长移相干涉仪进行了比较,指出了它们的优缺点和应用范围。以美国NewFocus公司的可调谐半导体激光器为例,简述了实现波长调谐的硬件。文中将波长移相干涉仪算法分... 叙述了波长移相干涉仪的基本原理,分析了其特点,对传统硬件移相干涉仪和波长移相干涉仪进行了比较,指出了它们的优缺点和应用范围。以美国NewFocus公司的可调谐半导体激光器为例,简述了实现波长调谐的硬件。文中将波长移相干涉仪算法分成三类:加权多步波长移相算法、基于傅里叶变换的波长移相算法和多波长算法,对这三类算法进行了较详细的叙述和分析,指出了各自的优缺点和应用范围。基于傅里叶变换的波长移相算法,提出了结合差分运算的适合于台阶测量的新算法,克服了已有算法中需要参考基准和参考面的缺点,提高了算法的实用性。 展开更多
关键词 相移干涉术 波长调谐 移相算法 波长移相干涉仪
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微小球面曲率半径的测量研究 被引量:23
17
作者 徐永祥 陈磊 +1 位作者 朱日宏 李新华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1159-1162,共4页
验证了测量平面面形误差的重叠四步平均算法(OAF)应用于测量微小球面曲率半径的可行性。采用Linnik显微移相干涉装置,测量了光纤连接器端面的曲率半径,给出了测量数据及处理结果;通过对已知曲率半径的标准微小凸球面样板的测量,得到相... 验证了测量平面面形误差的重叠四步平均算法(OAF)应用于测量微小球面曲率半径的可行性。采用Linnik显微移相干涉装置,测量了光纤连接器端面的曲率半径,给出了测量数据及处理结果;通过对已知曲率半径的标准微小凸球面样板的测量,得到相对误差为0.093%。同时,从理论上对OAF和其他算法对PZT位移误差的抑制能力作了分析比较。结果表明,OAF算法可用于微小球面曲率半径的测量,且相对于其他算法而言,其对PZT位移误差具有更强的抑制能力。 展开更多
关键词 显微干涉 移相干涉术 算法 曲率半径 光纤连接器
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基于干涉显微原理的表面形貌测量系统 被引量:11
18
作者 王海珊 史铁林 +2 位作者 廖广兰 刘世元 张文栋 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期84-89,共6页
根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂... 根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量。为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI和PSI两种模式分别进行了测量实验。结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求。 展开更多
关键词 相移干涉法 垂直扫描干涉法 林尼克干涉结构 五步相移算法 SEST算法
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一种两步相移相位解算方法 被引量:11
19
作者 张晓璇 王月敏 +2 位作者 黄淑君 高楠 张宗华 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期172-178,共7页
提出一种将傅里叶与相移法结合的三维物体快速测量方法.通过时域提取精确的均值包络与频域滤波结合的方法预处理条纹,结合基于相位半角的两步相移,只需要两幅相移条纹图,即可得到精确的相位信息.通过仿真和实验将本文方法与现有方法进... 提出一种将傅里叶与相移法结合的三维物体快速测量方法.通过时域提取精确的均值包络与频域滤波结合的方法预处理条纹,结合基于相位半角的两步相移,只需要两幅相移条纹图,即可得到精确的相位信息.通过仿真和实验将本文方法与现有方法进行了分析对比,实验结果证明,本文方法可以获得优于现有两步相移方法的准确度,一般测量环境下的均方根误差在3×10^(-3) rad以内.本文提出的方法对噪声和表面突变不敏感,具有鲁棒性好、运算速度快、准确度高等优点,在三维快速测量领域有较高的应用价值. 展开更多
关键词 光学测量 相位测量轮廓术 快速测量 相移法 傅里叶变换 均值包络 相位展开
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数字物理混合仿真系统的建模及理论分析 (二)接口、稳定性与相移分析 被引量:16
20
作者 陈磊 闵勇 +2 位作者 叶骏 李国杰 梁旭 《电力系统自动化》 EI CSCD 北大核心 2009年第24期26-29,共4页
基于混合仿真系统的离散动态模型,分析了混合仿真系统稳定的判据。在一个典型的一阶电路中,推导了混合仿真系统无直流稳态误差的条件,并设计了使混合仿真结果与真实解一致的接口算法。分析了步长和接口延时对混合仿真结果相移的影响,推... 基于混合仿真系统的离散动态模型,分析了混合仿真系统稳定的判据。在一个典型的一阶电路中,推导了混合仿真系统无直流稳态误差的条件,并设计了使混合仿真结果与真实解一致的接口算法。分析了步长和接口延时对混合仿真结果相移的影响,推导了相移的近似表达式。仿真步长等于接口延时的2倍时相移最小。通过仿真比较了不同接口算法和积分算法的效果,并验证了理论分析得到的结论。 展开更多
关键词 数字物理混合仿真 混合仿真稳定性 接口算法 接口延时 相移
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