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环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究
被引量：
21
1
作者
王孝坤
张学军
+1 位作者
王丽辉
郑立功
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期527-532,共6页
利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了...
利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了计算机模拟实验,拼接前后全孔径相位分布残差的PV值和RMS值分别为0.0079λ和0.0027λ,说明该拼接模型和算法是准确可行的,从而提供了除零位补偿外又一种定量测试非球面尤其是大口径非球面的途径。
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关键词
环形子孔径拼接
非球面检验
干涉术
Zernike多项式拟合
计算机模拟
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职称材料
用非零位补偿法检测大口径非球面反射镜
被引量：
15
2
作者
王孝坤
王丽辉
+1 位作者
邓伟杰
郑立功
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期520-528,共9页
研究了利用圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接检测非球面的方法,以实现非零位补偿法对大口径非球面的测量。分析和研究了该技术的基本原理,并基于齐次坐标变换和最小二乘拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型;分别开发了圆形子孔...
研究了利用圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接检测非球面的方法,以实现非零位补偿法对大口径非球面的测量。分析和研究了该技术的基本原理,并基于齐次坐标变换和最小二乘拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型;分别开发了圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接检测非球面的算法软件;设计和搭建了子孔径拼接干涉检测装置,并分别利用圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接实现了对一口径为350 mm的双曲面的检测。对待测非球面进行了零位补偿检测实验,结果显示,圆形子孔径拼接与全口径补偿测量结果的PV值和RMS值的偏差分别为0.031λ和0.004λ;环形子孔径拼接与全口径补偿测量结果的PV值和RMS值的偏差分别为0.028λ和0.006λ;3种方法测量所得的面形分布都是一致的。所提出的方法提供了除零位补偿检测外的另一种定量测试大口径非球面的手段。
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关键词
光学检测
圆形子孔径拼接干涉
环形子孔径拼接干涉
大口径非球面
最小二乘拟合
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职称材料
以环形子孔径法检测大口径非球面主镜的研究进展
被引量：
4
3
作者
侯溪
伍凡
+2 位作者
杨力
吴时彬
陈强
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第5期705-708,共4页
环形子孔径法是一种无需辅助元件就能实现对大口径、大相对口径非球面检测的“柔性”测试技术。介绍了该技术的工作原理,对两种分别基于测量相位值和Zernike多项式系数的拼接算法进行了仿真分析,并进行了初步的原理性实验验证。结果表...
环形子孔径法是一种无需辅助元件就能实现对大口径、大相对口径非球面检测的“柔性”测试技术。介绍了该技术的工作原理,对两种分别基于测量相位值和Zernike多项式系数的拼接算法进行了仿真分析,并进行了初步的原理性实验验证。结果表明该技术是切实可行的,具有检测大口径非球面镜的潜能。最后,在对现有研究结果综合分析的基础上,提出了应用该技术检测m量级非球面主镜的实验方案。
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关键词
光学测量
干涉计量
大口径非球面
环形子孔径
拼接算法
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职称材料
题名
环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究
被引量：
21
1
作者
王孝坤
张学军
王丽辉
郑立功
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期527-532,共6页
基金
国家杰出青年基金资助项目(No.69925512)
文摘
利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了计算机模拟实验,拼接前后全孔径相位分布残差的PV值和RMS值分别为0.0079λ和0.0027λ,说明该拼接模型和算法是准确可行的,从而提供了除零位补偿外又一种定量测试非球面尤其是大口径非球面的途径。
关键词
环形子孔径拼接
非球面检验
干涉术
Zernike多项式拟合
计算机模拟
Keywords
annular
subaperture
stitching
aspheric surface testing
interferometry
Zernike polynomial fitting
computer simulation
分类号
TQ171.65 [化学工程—玻璃工业]
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
用非零位补偿法检测大口径非球面反射镜
被引量：
15
2
作者
王孝坤
王丽辉
邓伟杰
郑立功
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
中国移动通信集团吉林有限公司长春分公司
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期520-528,共9页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.O8663NJ090)
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新基金重点资助项目(No.O83Y32J080)
文摘
研究了利用圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接检测非球面的方法,以实现非零位补偿法对大口径非球面的测量。分析和研究了该技术的基本原理,并基于齐次坐标变换和最小二乘拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型;分别开发了圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接检测非球面的算法软件;设计和搭建了子孔径拼接干涉检测装置,并分别利用圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接实现了对一口径为350 mm的双曲面的检测。对待测非球面进行了零位补偿检测实验,结果显示,圆形子孔径拼接与全口径补偿测量结果的PV值和RMS值的偏差分别为0.031λ和0.004λ;环形子孔径拼接与全口径补偿测量结果的PV值和RMS值的偏差分别为0.028λ和0.006λ;3种方法测量所得的面形分布都是一致的。所提出的方法提供了除零位补偿检测外的另一种定量测试大口径非球面的手段。
关键词
光学检测
圆形子孔径拼接干涉
环形子孔径拼接干涉
大口径非球面
最小二乘拟合
Keywords
optical testing
Circular
subaperture
stitching
Interferomerty（CSSI）
annular subaperture stitching interferometry（assi）
large aspheric surface
least-squares fitting
分类号
TQ171.65 [化学工程—玻璃工业]
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
以环形子孔径法检测大口径非球面主镜的研究进展
被引量：
4
3
作者
侯溪
伍凡
杨力
吴时彬
陈强
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第5期705-708,共4页
基金
国家863计划项目资助课题
文摘
环形子孔径法是一种无需辅助元件就能实现对大口径、大相对口径非球面检测的“柔性”测试技术。介绍了该技术的工作原理,对两种分别基于测量相位值和Zernike多项式系数的拼接算法进行了仿真分析,并进行了初步的原理性实验验证。结果表明该技术是切实可行的,具有检测大口径非球面镜的潜能。最后,在对现有研究结果综合分析的基础上,提出了应用该技术检测m量级非球面主镜的实验方案。
关键词
光学测量
干涉计量
大口径非球面
环形子孔径
拼接算法
Keywords
Optical measurement
interferometry
Large aspheric mirror
annular
subaperture
stitching
algorithm
分类号
TQ171.65 [化学工程—玻璃工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究
王孝坤
张学军
王丽辉
郑立功
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
21
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
用非零位补偿法检测大口径非球面反射镜
王孝坤
王丽辉
邓伟杰
郑立功
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
15
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
以环形子孔径法检测大口径非球面主镜的研究进展
侯溪
伍凡
杨力
吴时彬
陈强
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
4
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职称材料
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