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热处理对Al掺杂ZnO薄膜晶体结构及光电性能的影响 被引量:7
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作者 刘金铭 赵小如 +5 位作者 赵亮 张安 王丹红 邵继峰 曹萌萌 常晓 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1130-1135,共6页
采用溶胶凝-胶法在普通玻璃衬底上制备了具有c轴择优取向的Al掺杂ZnO透明导电薄膜。实验中将热处理过程分解为预烧、空气退火和真空退火三个部分,研究了各个步骤对于ZAO薄膜晶体结构和光电性能的影响。结果表明,500℃预烧550℃空气退火... 采用溶胶凝-胶法在普通玻璃衬底上制备了具有c轴择优取向的Al掺杂ZnO透明导电薄膜。实验中将热处理过程分解为预烧、空气退火和真空退火三个部分,研究了各个步骤对于ZAO薄膜晶体结构和光电性能的影响。结果表明,500℃预烧550℃空气退火的薄膜,经过550℃,1×10-2Pa真空退火后,其晶体结构和光电性能达到最佳,电阻率最低达到1.77×10-3Ω.cm,可见光范围内的平均透过率约为85%。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 Al掺杂zno(zao) 热处理 晶体结构 光电性能
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纳米ZAO复合粉体的制备及性能表征 被引量:9
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作者 许丽 邵忠宝 +1 位作者 王凰 刘广福 《化学与生物工程》 CAS 2006年第9期15-17,共3页
以Zn(Ac)2.2H2O和Al(NO3)3.9H2O为原料,用溶胶-凝胶法制备了ZnO/Al2O3(ZAO)复合粉体。研究了Al2O3掺杂浓度、锌离子浓度、反应温度、pH值、反应时间和烧结温度等对粉体平均粒径的影响,用正交实验得到最佳制备方案。用激光粒度分析(LPA)... 以Zn(Ac)2.2H2O和Al(NO3)3.9H2O为原料,用溶胶-凝胶法制备了ZnO/Al2O3(ZAO)复合粉体。研究了Al2O3掺杂浓度、锌离子浓度、反应温度、pH值、反应时间和烧结温度等对粉体平均粒径的影响,用正交实验得到最佳制备方案。用激光粒度分析(LPA)、能谱分析(EDAX)、热重-差热分析(TG-DTA)和X-射线衍射分析(XRD)对粉体的性能进行了表征。结果表明:制备的纳米ZAO粉属于六方晶系纤锌矿结构。其X-射线衍射图谱中并没有氧化铝的衍射峰,Al3+取代了Zn2+的位置,形成固熔体。Al2O3掺杂浓度、锌离子浓度、pH值和烧结温度等对粉体平均粒径的影响较大,在最佳条件下,制得的ZAO复合粉体粒径分布均匀、平均粒径约为22 nm。 展开更多
关键词 zno/Al2O3(zao) 纳米 溶胶-凝胶 正交设计
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ZnO:Al绒面透明导电薄膜的制备及分析 被引量:9
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作者 薛俊明 黄宇 +4 位作者 熊强 马铁华 孙建 赵颖 耿新华 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期701-705,共5页
利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂(质量百分比2%)的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜。利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了平面ZAO薄... 利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂(质量百分比2%)的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜。利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了平面ZAO薄膜的结构特性以及衬底温度、溅射功率和腐蚀时间对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析。结果表明:高温、低功率条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在的应用前景。 展开更多
关键词 中频脉冲磁控溅射 zno:Al(zao)薄膜 绒面结构
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纳米掺铝氧化锌(ZAO)粉体的制备研究进展 被引量:4
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作者 肖素萍 陈林 +3 位作者 王献忠 文忠和 向芸 张西玲 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2010年第9期39-41,49,共4页
掺铝氧化锌(ZAO)是一种具有广阔的应用前景和发展潜力的复合氧化物半导体。综述了化学沉淀法、溶胶-凝胶法、水热法、沸腾回流法和络盐法等ZAO纳米粉体常用的制备方法,并对其进行了比较评价。
关键词 掺铝氧化锌(zao) 纳米 制备 进展
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衬底温度对中频磁控溅射ZnO∶Al透明导电薄膜性能的影响 被引量:1
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作者 黄宇 熊强 +4 位作者 薛俊明 马铁华 孙建 赵颖 耿新华 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期891-894,共4页
ZnO:Al(ZAO)薄膜的光学、电学以及结构特性与衬底温度有关,以掺杂质量2%Al的Zn(纯度99.99%)金属材料做靶,采用中频磁控溅射技术研究衬底温度对ZnO透明导电薄膜性能的影响,获得适合太阳电池的高效能薄膜,薄膜厚度700nm左右... ZnO:Al(ZAO)薄膜的光学、电学以及结构特性与衬底温度有关,以掺杂质量2%Al的Zn(纯度99.99%)金属材料做靶,采用中频磁控溅射技术研究衬底温度对ZnO透明导电薄膜性能的影响,获得适合太阳电池的高效能薄膜,薄膜厚度700nm左右,其电阻率为4.6×10^-4Ω·cm,载流子浓度1.98×10^20cm^-3,霍尔迁移率61.9cm^2/(V·s),可见光范围内(波长400~800nm)的平均透过率大于85%. 展开更多
关键词 凝聚态物理学 中频磁控溅射 zno:Al(zao)薄膜 衬底温度 载流子浓度 霍尔迁移率
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络离子浓度对掺铝氧化锌(ZAO)纳米粉体粒径的影响 被引量:4
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作者 颜东亮 陈林 宋杰光 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期704-709,共6页
采用络盐法制备了掺铝氧化锌(ZAO)纳米粉体。通过新复合络盐晶体-(NH4)1.95(Zn0.95Al0.05)(SO4)2.6H2O的合成证实了反应初始溶液中形成了络离子。通过改变(NH4)2SO4的加入量研究了络离子浓度对ZAO粒径的影响。通过XRD、SEM和激光粒度仪... 采用络盐法制备了掺铝氧化锌(ZAO)纳米粉体。通过新复合络盐晶体-(NH4)1.95(Zn0.95Al0.05)(SO4)2.6H2O的合成证实了反应初始溶液中形成了络离子。通过改变(NH4)2SO4的加入量研究了络离子浓度对ZAO粒径的影响。通过XRD、SEM和激光粒度仪对ZAO粉体进行了表征。结果表明:络离子的存在,降低了反应初始溶液中游离金属离子的浓度,使得产物的一次粒径的可调控性增强,有利于纳米级ZAO粉体的制备。 展开更多
关键词 掺铝氧化锌(zao) 络盐法 新复合络盐晶体 (NH4)1.95(Zn0.95Al0.05)(SO4)2.6H2O
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络盐法制备纳米晶掺铝氧化锌粉体
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作者 颜东亮 陈林 +4 位作者 肖素萍 文忠和 王献忠 向芸 张西玲 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期109-111,共3页
通过新复合络盐晶体(NH4)1.95(Zn0.95Al0.05)(SO4)2.6H2O的合成证实了反应初始溶液中形成了络离子。研究了沉淀终点pH值对掺铝氧化锌(ZAO)粒径及产率的影响,以及锌离子总浓度对ZAO粒径的影响。结果表明:制备ZAO纳米晶粉体的最佳沉淀终点... 通过新复合络盐晶体(NH4)1.95(Zn0.95Al0.05)(SO4)2.6H2O的合成证实了反应初始溶液中形成了络离子。研究了沉淀终点pH值对掺铝氧化锌(ZAO)粒径及产率的影响,以及锌离子总浓度对ZAO粒径的影响。结果表明:制备ZAO纳米晶粉体的最佳沉淀终点pH=7,最佳锌离子总浓度为0.3mol/L,所得ZAO粉体的一次晶粒平均尺寸约13nm。 展开更多
关键词 掺铝氧化锌(zao) 纳米 络盐法
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