期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
激光点阵光刻机控制系统的硬件设计
被引量：
2
1
作者
殷庆纵
刘吉
《机床与液压》
北大核心
2013年第2期109-112,共4页
为了制作大尺寸的激光防伪商标,开发了高速激光点阵光刻机。该光刻机以工业控制计算机为上位机,以ARMLPC2138和单片机STC12C5410AD为下位机,采用直线电机直接驱动X-Y工作台,实现了高速高精度定位。动态曝光的工作方式,克服了传统光刻机...
为了制作大尺寸的激光防伪商标,开发了高速激光点阵光刻机。该光刻机以工业控制计算机为上位机,以ARMLPC2138和单片机STC12C5410AD为下位机,采用直线电机直接驱动X-Y工作台,实现了高速高精度定位。动态曝光的工作方式,克服了传统光刻机工作速度慢的静态曝光工作模式,使光刻工作速度提高了10～12倍,解决了大尺寸防伪商标制作困难的问题,有效提高了全息母板制作的效率。
展开更多
关键词
激光直写
直线电动机
光刻
光栅
arm
LPC2138
单片机
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
激光点阵光刻机控制系统的硬件设计
被引量：
2
1
作者
殷庆纵
刘吉
机构
苏州工业职业技术学院电子工程系
苏州印象镭射有限公司
出处
《机床与液压》
北大核心
2013年第2期109-112,共4页
文摘
为了制作大尺寸的激光防伪商标,开发了高速激光点阵光刻机。该光刻机以工业控制计算机为上位机,以ARMLPC2138和单片机STC12C5410AD为下位机,采用直线电机直接驱动X-Y工作台,实现了高速高精度定位。动态曝光的工作方式,克服了传统光刻机工作速度慢的静态曝光工作模式,使光刻工作速度提高了10～12倍,解决了大尺寸防伪商标制作困难的问题,有效提高了全息母板制作的效率。
关键词
激光直写
直线电动机
光刻
光栅
arm
LPC2138
单片机
Keywords
Laser direct writing
Linear motor
Lithography
Grating
arm lpc2t38
1VICU
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光点阵光刻机控制系统的硬件设计
殷庆纵
刘吉
《机床与液压》
北大核心
2013
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
