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化学溶液分解法制备(Bi_(0.8)Ce_(0.2))_2Ti_2O_7薄膜及性能研究
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作者 荆象阳 秦晓燕 +1 位作者 张晓阳 张寅 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1372-1375,1380,共5页
采用化学溶液分解法(CSD)在p型Si<100>衬底上制备了(Bi0.8Ce0.2)2Ti2O7薄膜,采用X射线衍射技术研究了薄膜的结构和结晶性。研究表明:Ce3+部分取代Bi3+能够显著提高Bi2Ti2O7薄膜的相稳定性。同时还研究了薄膜的电容-电压特性、介... 采用化学溶液分解法(CSD)在p型Si<100>衬底上制备了(Bi0.8Ce0.2)2Ti2O7薄膜,采用X射线衍射技术研究了薄膜的结构和结晶性。研究表明:Ce3+部分取代Bi3+能够显著提高Bi2Ti2O7薄膜的相稳定性。同时还研究了薄膜的电容-电压特性、介电常数、介电损耗。结果表明,该薄膜具有良好的介电特性。 展开更多
关键词 化学溶液分解法 (bi0.8ce0.2)2ti2o7薄膜 相稳定性
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